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[發(fā)明專利]光電測試裝置有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201410492234.2 申請日: 2014-09-23
公開(公告)號: CN104362108B 公開(公告)日: 2017-05-24
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 丹尼爾·吉多蒂;薛海韻;張文奇 申請(專利權(quán))人: 華進(jìn)半導(dǎo)體封裝先導(dǎo)技術(shù)研發(fā)中心有限公司
主分類號: H01L21/66 分類號: H01L21/66
代理公司: 北京品源專利代理有限公司11332 代理人: 路凱,胡彬
地址: 214000 江蘇省無錫市新區(qū)太湖國際科技園菱湖大道20*** 國省代碼: 江蘇;32
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摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 光電 測試 裝置
【說明書】:

技術(shù)領(lǐng)域

發(fā)明實(shí)施例涉及測試技術(shù),尤其涉及一種光電測試裝置。

背景技術(shù)

以晶圓為例,集成電路的制造過程,通常可分為晶圓制作、晶圓測試、封裝及最后測試。在封裝之前,通常需要對晶圓上的器件進(jìn)行性能測試,例如,對晶圓上的探測器、調(diào)制器、光波導(dǎo)、以及光柵等器件進(jìn)行電學(xué)性能和/或光學(xué)性能測試。

現(xiàn)有的光電測試裝置,一般包括支撐結(jié)構(gòu)、樣品承載臺、光學(xué)顯微鏡和光電探頭。支撐結(jié)構(gòu)用于支撐測試裝置中的其他部件;樣品承載臺可固定在支撐結(jié)構(gòu)上,用于放置晶圓等待測器件;光學(xué)顯微鏡固定連接于支撐結(jié)構(gòu)上,用于在探測過程中能夠觀測器件;光電探頭,也可連接于支撐結(jié)構(gòu)上,對晶圓上的器件進(jìn)行各種探測。基于上述光電測試裝置,需在測試完位于晶圓表面的一個器件的性能之后,移動待測試晶圓或測試裝置,測試位于晶圓表面的其他位置的器件的性能。

現(xiàn)有的光電測試裝置的缺陷在于,在測試過程中,需要不斷的觀察、移動、探測,重復(fù)作業(yè)來探測各個器件。然而,由于器件的尺寸微小,所以定位過程復(fù)雜,且移動導(dǎo)致定位精確度下降,因而測試效率低。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明實(shí)施例提供一種光電測試裝置,以提高測試效率。

本發(fā)明實(shí)施例提供了一種光電測試裝置,包括支撐結(jié)構(gòu)、樣品承載臺、光學(xué)顯微鏡和光電探頭;其中,

所述光學(xué)顯微鏡的數(shù)量為至少兩個,與所述支撐結(jié)構(gòu)連接,用于同時觀測待測試樣品表面的至少兩點(diǎn);

所述光電探頭的數(shù)量為至少兩個,與所述支撐結(jié)構(gòu)連接,用于同時對待測試樣品表面的至少兩點(diǎn)進(jìn)行測試。

本發(fā)明實(shí)施例提供的光電測試裝置,通過至少兩個光學(xué)顯微鏡同時觀測待測試樣品表面的至少兩點(diǎn),并通過至少兩個光電探頭同時對觀測到的點(diǎn)進(jìn)行測試,能夠得到待測試樣品表面的多個測試點(diǎn)對應(yīng)的器件的光學(xué)性能和/或電學(xué)性能,由于對待測試樣品表面的多個測試點(diǎn)同時進(jìn)行觀測并測試,因此能夠提高測試效率。

附圖說明

為了更清楚地說明本發(fā)明,下面將對本發(fā)明中所需要使用的附圖做一簡單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖是本發(fā)明的一些實(shí)施例,對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講,在不付出創(chuàng)造性勞動性的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1a為本發(fā)明實(shí)施例一提供的一種光電測試裝置的側(cè)視圖;

圖1b為圖1a所示的光電測試裝置的正視圖;

圖2為本發(fā)明實(shí)施例二提供的一種光電測試裝置的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖3a為本發(fā)明實(shí)施例三提供的一種光電測試裝置的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖3b為圖3a所示的光電測試裝置中光纖探頭的正視圖;

圖3c為圖3b所示的光纖探頭的側(cè)視圖;

圖3d為圖3b所示的光纖探頭的頂視圖;

圖4為本發(fā)明實(shí)施例四提供的一種光電測試裝置中樣品承載臺的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚,下面將結(jié)合附圖對本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案作進(jìn)一步詳細(xì)描述,顯然,所描述的實(shí)施例是本發(fā)明一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例。可以理解的是,此處所描述的具體實(shí)施例僅用于解釋本發(fā)明,而非對本發(fā)明的限定,基于本發(fā)明中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。另外還需要說明的是,為了便于描述,附圖中僅示出了與本發(fā)明相關(guān)的部分而非全部內(nèi)容。

本發(fā)明實(shí)施例提供一種光電測試裝置,所述測試裝置包括:支撐結(jié)構(gòu)、樣品承載臺、光學(xué)顯微鏡和光電探頭。

所述支撐結(jié)構(gòu)用于支撐所述光電測試裝置中的其他部件,具體可以用于將所述光電測試裝置中的其他部件支撐于測試平臺上。

所述樣品承載臺可固定在支撐結(jié)構(gòu)上,用于放置晶圓等待測試樣品;光學(xué)顯微鏡固定連接于支撐結(jié)構(gòu)上,用于在探測過程中觀測待測試樣品上的器件;光電探頭,也可連接于支撐結(jié)構(gòu)上,對待測試樣品上的器件進(jìn)行光學(xué)性能和/或電學(xué)性能的探測。

在該光電測試裝置中,所述光學(xué)顯微鏡的數(shù)量為至少兩個,與所述支撐結(jié)構(gòu)連接,用于同時觀測待測試樣品表面的至少兩點(diǎn)。

所述光電探頭的數(shù)量為至少兩個,與所述支撐結(jié)構(gòu)連接,用于同時對待測試樣品表面的至少兩點(diǎn)進(jìn)行測試。

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說明:

1、專利原文基于中國國家知識產(chǎn)權(quán)局專利說明書;

2、支持發(fā)明專利 、實(shí)用新型專利、外觀設(shè)計(jì)專利(升級中);

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