[發(fā)明專利]光電測試裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410492234.2
• 申請日: 2014-09-23
• 公開（公告）號: CN104362108B
• 公開（公告）日: 2017-05-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 丹尼爾·吉多蒂;薛海韻;張文奇
• 申請（專利權(quán)）人: 華進(jìn)半導(dǎo)體封裝先導(dǎo)技術(shù)研發(fā)中心有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司11332
• 代理人: 路凱,胡彬

1.一種光電測試裝置，包括支撐結(jié)構(gòu)、樣品承載臺、光學(xué)顯微鏡和光電探頭，其特征在于，還包括：探照源；

所述光學(xué)顯微鏡的數(shù)量為至少兩個(gè)，與所述支撐結(jié)構(gòu)連接，用于同時(shí)觀測待測試樣品表面的至少兩點(diǎn)；

所述光電探頭的數(shù)量為至少兩個(gè)，與所述支撐結(jié)構(gòu)連接，用于同時(shí)對待測試樣品表面的至少兩點(diǎn)進(jìn)行測試；

所述探照源為至少一個(gè)，所述探照源的照射穿透深度大于所述待測試樣品的厚度，用于從所述待測試樣品的一側(cè)表面照射至另一側(cè)表面。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于：

所述光學(xué)顯微鏡包括第一光學(xué)顯微鏡和第二光學(xué)顯微鏡；

所述第一光學(xué)顯微鏡位于待測試樣品的第一表面所屬側(cè)，所述第二光學(xué)顯微鏡位于待測試樣品的第二表面所屬側(cè)，所述第二表面為與所述第一表面相對的表面。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述光電探頭為光纖探頭，所述光纖探頭包括：

光纖；

第一基板，內(nèi)設(shè)至少兩個(gè)光纖槽，每個(gè)光纖槽用于容置固定一根光纖，且各光纖槽用于使各光纖的纖芯位于一條直線，所述相鄰光纖槽的中心間距與待測試樣品表面上的待測試光學(xué)器件的間距一致；

第二基板，用于與所述第一基板配合，固定所述光纖槽內(nèi)的光纖。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的裝置，其特征在于，所述裝置還包括光纖探頭夾持裝置和光纖探頭傳送裝置；

所述光纖探頭夾持裝置包括：

第三基板，由內(nèi)到外設(shè)置有依次連接的真空腔、第一內(nèi)孔和第一外孔，所述第一基板覆蓋所述真空腔，所述第三基板用于在第一外孔與真空源連接時(shí)，通過所述第一內(nèi)孔對所述真空腔抽真空，以真空夾持所述光纖探頭；

光纖探頭傳送裝置，與所述第三基板連接，用于帶動(dòng)所述第三基板在下述至少一個(gè)自由度方向上運(yùn)動(dòng)，所述自由度包括：三個(gè)正交平移方向、偏航軸線轉(zhuǎn)動(dòng)方向、翻滾軸線轉(zhuǎn)動(dòng)方向、和俯仰軸線轉(zhuǎn)動(dòng)方向；還用于支撐所述第三基板。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的裝置，其特征在于，所述光纖探頭夾持裝置還包括：

側(cè)邊止動(dòng)塊，固定在第三基板的第一表面的一側(cè)，所述第三基板的第一表面為所述第三基板與所述第一基板接觸的面，用于在所述第一基板接觸到所述側(cè)邊止動(dòng)塊時(shí)，使所述光纖探頭止動(dòng)；

尾部止動(dòng)塊，位于所述第三基板的第一表面，且與所述側(cè)邊止動(dòng)塊垂直設(shè)置，用于在所述第一基板接觸到所述尾部止動(dòng)塊時(shí)，使所述光纖探頭止動(dòng)。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于，還包括：

第一傳送裝置，與所述第一光學(xué)顯微鏡連接，用于在三個(gè)正交方向平移所述第一光學(xué)顯微鏡；

第二傳送裝置，與所述第二光學(xué)顯微鏡連接，用于在三個(gè)正交方向平移所述第二光學(xué)顯微鏡。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一所述的裝置，其特征在于：

所述光電探頭包括：紅外攝像鏡頭和光纖探頭；

其中，所述紅外攝像鏡頭用于觀測待測試樣品一個(gè)表面上的待測試光學(xué)器件；

所述光纖探頭用于將所述待測試光學(xué)器件的光學(xué)信號耦合之后傳輸至外部的光學(xué)性能分析設(shè)備，以得到所述待測試光學(xué)器件的性能參數(shù)；

所述光電探頭還包括：

電學(xué)探針，用于將待測試電學(xué)器件的測試信號傳輸至電學(xué)性能測試設(shè)備，以得到所述待測電學(xué)器件的性能參數(shù)；

電學(xué)探針夾具，用于夾持所述電學(xué)探針；

電學(xué)探針傳送裝置，與所述電學(xué)探針夾具連接，用于帶動(dòng)所述電學(xué)探針夾具在下述至少一個(gè)自由度方向上運(yùn)動(dòng)，所述自由度包括：三個(gè)正交平移方向、偏航軸線轉(zhuǎn)動(dòng)方向、翻滾軸線轉(zhuǎn)動(dòng)方向、和俯仰軸線轉(zhuǎn)動(dòng)方向，還用于支撐所述電學(xué)探針夾具。

8.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一所述的裝置，其特征在于，所述樣品承載臺包括：

樣品夾具，用于通過真空吸附結(jié)構(gòu)吸附固定所述待測試樣品；

運(yùn)動(dòng)學(xué)底座，與所述樣品夾具連接；

平移和旋轉(zhuǎn)臺，與所述運(yùn)動(dòng)學(xué)底座連接，用于帶動(dòng)所述運(yùn)動(dòng)學(xué)底座在下述至少一個(gè)自由度方向上運(yùn)動(dòng)，所述自由度包括：三個(gè)正交平移方向、偏航軸線轉(zhuǎn)動(dòng)方向、翻滾軸線轉(zhuǎn)動(dòng)方向、和俯仰軸線轉(zhuǎn)動(dòng)方向；平移和旋轉(zhuǎn)臺還用于將所述樣品夾具支撐于樣品平臺上。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的裝置，其特征在于：

所述樣品夾具的中部設(shè)置有貫通孔，所述貫通孔的邊緣承載所述待測試樣品，并露出所述待測試樣品的測試表面；

所述貫通孔邊緣對應(yīng)于待測試樣品的覆蓋區(qū)域，形成有環(huán)形真空腔；

所述環(huán)形真空腔通過所述貫通孔與抽氣孔連通，用于吸附所述待測試樣品。