[發明專利]檢測裝置和檢測方法

有效

• 申請號: 201410490339.4
• 申請日: 2014-09-23
• 公開（公告）號: CN104297423A
• 公開（公告）日: 2015-01-21
• 發明（設計）人: 安午偉;馬亮
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;北京京東方顯示技術有限公司
• 主分類號: G01N33/00
• 分類號: G01N33/00;H01L21/66
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;陳源

技術領域

本發明涉及顯示技術領域，特別涉及一種檢測裝置和檢測方法。

背景技術

顯示面板包括陣列基板以及與陣列基板相對設置的對盒基板，其中，陣列基板和對盒基板均是需要通過一系列的生產工藝才制備出來的。

制備陣列基板或對盒基板用的玻璃基板，在制備陣列基板或對盒基板過程中會在不同的工藝設備之間進行傳輸，在傳輸過程中玻璃基板會與傳送設備發生頻繁的接觸和碰撞，從而很有可能使得玻璃基板產生破損，進而導致制備出的陣列基板或對盒基板無法使用。更嚴重的是，出現破損的玻璃基板在進行加工時，玻璃基板上殘留的玻璃碎屑會使得工藝設備發生堵塞、劃傷損壞，從而造成嚴重的經濟損失。

因此，如何能夠及時有效的檢測出玻璃基板上是否存在損壞，對于顯示面板制造行業尤為重要。

發明內容

本發明提供一種檢測裝置和檢測方法，可以對基板是否存在破損進行有效的判斷。

為實現上述目的，本發明提供了一種檢測裝置，用于對基板破損進行檢測，包括：

密封腔體，所述密封腔體內水平放置有待檢測的所述基板；

氣流輸出單元，所述氣流輸出單元與所述密封腔體連接，所述氣流輸出單元用于向所述基板的上表面輸出檢測氣流；

氣流檢測單元，所述氣流檢測單元位于所述基板的下方，所述氣流檢測單元用于檢測所述基板的下表面是否存在所述檢測氣流；

若所述氣流檢測單元檢測到所述基板的下表面存在所述檢測氣流時，則判斷出所述基板存在破損；若所述氣流檢測單元檢測到所述基板的下表面不存在所述檢測氣流時，則判斷出所述基板不存在破損。

可選地，還包括：運載單元，所述運載單元位于所述氣流檢測單元和所述基板之間；

所述運載單元用于支撐所述基板以及帶動所述基板在所述密封腔體內移動。

可選地，所述運載單元包括：平行設置的若干條滾軸，所述滾軸設置在所述基板的下方，所述滾軸包括：若干個傳送滾輪和連接桿，所述連接桿與所述滾軸中的全部所述傳送滾輪連接；

所述連接桿用于控制所述滾軸中的全部所述傳送滾輪同步運動；

所述滾輪用于帶動所述基板以預定速度進行運動。

可選地，所述運載單元還包括：導向輪，所述導向輪位于所述連接桿的兩端；

所述導向輪用于在所述滾輪帶動所述基板進行運動時控制所述基板的沿垂直于所述連接桿的方向進行水平運動。

可選地，所述氣流輸出單元包括：進氣模塊和若干條輸氣支路，所述進氣模塊設置在所述密封腔體上，所述輸氣支路設置在所述密封腔體內，所述輸氣支路包括：輸送軟管和噴嘴，所述輸送軟管的一端與所述進氣模塊連接，所述輸送軟管的另一端與所述噴嘴連接；

所述進氣模塊用于將檢測氣體通過所述輸氣支路輸出至所述基板的上表面以在所述基板的上表面形成所述檢測氣流。

可選地，所述進氣模塊包括：進氣管路、過濾器和緩沖密閉箱，所述過濾器設置在所述進氣管路和所述緩沖密閉箱之間，所述緩沖密閉箱與所述輸送軟管連接；

所述進氣管路用于將所述檢測氣體運輸至所述緩沖密閉箱內；

所述過濾器用于將對所述檢測氣體中雜質進行過濾；

所述緩沖密閉箱用于存儲所述檢測氣體以及將所述檢測氣體輸送至輸送軟管。

可選地，全部所述噴嘴處于同一水平面且排列成一行。

可選地，所述氣流輸出單元還包括：第一固定板，全部所述噴嘴固定在所述第一固定板上。

可選地，所述氣流檢測單元包括：若干個氣流檢測子單元，所述氣流檢測子單元用于檢測所述基板上對應所述氣流檢測子單元的正上方的區域是否存在檢測氣流；

若所述氣流檢測子單元檢測到所述基板上對應所述氣流檢測子單元的正上方的區域存在所述檢測氣流時，則判斷出所述基板上對應所述氣流檢測子單元的正上方的區域存在破損；若所述氣流檢測子單元檢測到所述基板上對應所述氣流檢測子單元的正上方的區域不存在所述檢測氣流時，則判斷出所述基板上對應所述氣流檢測子單元的正上方的區域不存在破損。

可選地，全部所述氣流檢測子單元在處于同一水平面且排列成一行。

可選地，所述氣流檢測單元還包括：第二固定板，全部所述氣流檢測子單元固定在所述第二固定板上。

可選地，所述氣流檢測子單元為氣流傳感器，所述氣流傳感器用于在檢測到檢測氣流時產生模擬信號；

所述檢測裝置還包括：信號轉換器和報警器，所述信號轉換器與氣流傳感器和所述報警器連接；

所述信號轉換器用于將所述模擬信號轉換成電信號；