[發(fā)明專利]檢測裝置和檢測方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410490339.4
• 申請日: 2014-09-23
• 公開（公告）號: CN104297423A
• 公開（公告）日: 2015-01-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 安午偉;馬亮
• 申請（專利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司;北京京東方顯示技術(shù)有限公司
• 主分類號: G01N33/00
• 分類號: G01N33/00;H01L21/66
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;陳源

1.一種檢測裝置，其特征在于，用于對基板破損進(jìn)行檢測，包括：

密封腔體，所述密封腔體內(nèi)水平放置有待檢測的所述基板；

氣流輸出單元，所述氣流輸出單元與所述密封腔體連接，所述氣流輸出單元用于向所述基板的上表面輸出檢測氣流；

氣流檢測單元，所述氣流檢測單元位于所述基板的下方，所述氣流檢測單元用于檢測所述基板的下表面是否存在所述檢測氣流；

若所述氣流檢測單元檢測到所述基板的下表面存在所述檢測氣流時(shí)，則判斷出所述基板存在破損；若所述氣流檢測單元檢測到所述基板的下表面不存在所述檢測氣流時(shí)，則判斷出所述基板不存在破損。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，還包括：運(yùn)載單元，所述運(yùn)載單元位于所述氣流檢測單元和所述基板之間；

所述運(yùn)載單元用于支撐所述基板以及帶動所述基板在所述密封腔體內(nèi)移動。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的檢測裝置，其特征在于，所述運(yùn)載單元包括：平行設(shè)置的若干條滾軸，所述滾軸設(shè)置在所述基板的下方，所述滾軸包括：若干個傳送滾輪和連接桿，所述連接桿與所述滾軸中的全部所述傳送滾輪連接；

所述連接桿用于控制所述滾軸中的全部所述傳送滾輪同步運(yùn)動；

所述滾輪用于帶動所述基板以預(yù)定速度進(jìn)行運(yùn)動。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的檢測裝置，其特征在于，所述運(yùn)載單元還包括：導(dǎo)向輪，所述導(dǎo)向輪位于所述連接桿的兩端；

所述導(dǎo)向輪用于在所述滾輪帶動所述基板進(jìn)行運(yùn)動時(shí)控制所述基板的沿垂直于所述連接桿的方向進(jìn)行水平運(yùn)動。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，所述氣流輸出單元包括：進(jìn)氣模塊和若干條輸氣支路，所述進(jìn)氣模塊設(shè)置在所述密封腔體上，所述輸氣支路設(shè)置在所述密封腔體內(nèi)，所述輸氣支路包括：輸送軟管和噴嘴，所述輸送軟管的一端與所述進(jìn)氣模塊連接，所述輸送軟管的另一端與所述噴嘴連接；

所述進(jìn)氣模塊用于將檢測氣體通過所述輸氣支路輸出至所述基板的上表面以在所述基板的上表面形成所述檢測氣流。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的檢測裝置，其特征在于，所述進(jìn)氣模塊包括：進(jìn)氣管路、過濾器和緩沖密閉箱，所述過濾器設(shè)置在所述進(jìn)氣管路和所述緩沖密閉箱之間，所述緩沖密閉箱與所述輸送軟管連接；

所述進(jìn)氣管路用于將所述檢測氣體運(yùn)輸至所述緩沖密閉箱內(nèi)；

所述過濾器用于將對所述檢測氣體中雜質(zhì)進(jìn)行過濾；

所述緩沖密閉箱用于存儲所述檢測氣體以及將所述檢測氣體輸送至輸送軟管。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的檢測裝置，其特征在于，全部所述噴嘴處于同一水平面且排列成一行。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的檢測裝置，其特征在于，所述氣流輸出單元還包括：第一固定板，全部所述噴嘴固定在所述第一固定板上。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，所述氣流檢測單元包括：若干個氣流檢測子單元，所述氣流檢測子單元用于檢測所述基板上對應(yīng)所述氣流檢測子單元的正上方的區(qū)域是否存在檢測氣流；

若所述氣流檢測子單元檢測到所述基板上對應(yīng)所述氣流檢測子單元的正上方的區(qū)域存在所述檢測氣流時(shí)，則判斷出所述基板上對應(yīng)所述氣流檢測子單元的正上方的區(qū)域存在破損；若所述氣流檢測子單元檢測到所述基板上對應(yīng)所述氣流檢測子單元的正上方的區(qū)域不存在所述檢測氣流時(shí)，則判斷出所述基板上對應(yīng)所述氣流檢測子單元的正上方的區(qū)域不存在破損。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的檢測裝置，其特征在于，全部所述氣流檢測子單元處于同一水平面且排列成一行。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的檢測裝置，其特征在于，所述氣流檢測單元還包括：第二固定板，全部所述氣流檢測子單元固定在所述第二固定板上。

12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的檢測裝置，其特征在于，所述氣流檢測子單元為氣流傳感器，所述氣流傳感器用于在檢測到檢測氣流時(shí)產(chǎn)生模擬信號；

所述檢測裝置還包括：信號轉(zhuǎn)換器和報(bào)警器，所述信號轉(zhuǎn)換器與氣流傳感器和所述報(bào)警器連接；

所述信號轉(zhuǎn)換器用于將所述模擬信號轉(zhuǎn)換成電信號；

所述報(bào)警器用于在接收所述電信號時(shí)進(jìn)行報(bào)警。