[發明專利]防止光刻膠結晶的方法有效
| 申請號： | 201410486805.1 | 申請日： | 2014-09-22 |
| 公開（公告）號： | CN105446081B | 公開（公告）日： | 2019-11-08 |
| 發明（設計）人： | 覃柳莎 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/16 | 分類號： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京德琦知識產權代理有限公司 11018 | 代理人： | 牛崢;王麗琴 |
| 地址： | 201203 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 防止 光刻 膠結 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種防止光刻膠結晶的方法，其特征在于，包括：
通過噴嘴向晶圓噴灑光刻膠并在晶圓表面形成光刻膠涂層；
對噴嘴中存留的光刻膠進行回吸，以在噴嘴中吸入空氣；
將噴嘴置于光刻膠稀釋溶劑中，并吸取光刻膠稀釋溶劑；
其中，在對噴嘴中存留的光刻膠進行回吸之后，且吸取光刻膠稀釋溶劑之前，還包括排出部分回吸時吸入的空氣的步驟。
2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，排除部分回吸時吸入的空氣后，噴嘴中剩余的空氣隔離噴嘴中存留的光刻膠與吸取的光刻膠稀釋溶劑。
3.根據權利要求2所述的方法，其特征在于，通過噴嘴向晶圓噴灑光刻膠之前，還包括通過噴嘴進行空噴的步驟。
4.根據權利要求1至3任一項所述的方法，其特征在于，所述光刻膠為正性光刻膠或負性光刻膠。
5.根據權利要求4所述的方法，其特征在于，所述光刻膠稀釋溶劑為丙二醇甲醚、丙二醇甲醚醋酸酯或者丙二醇甲醚和丙二醇甲醚醋酸酯混合得到的溶劑。
6.根據權利要求5所述的方法，其特征在于，所述溶劑為丙二醇甲醚和丙二醇甲醚醋酸酯以7∶3的比例混合得到的混合溶劑。
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