[發(fā)明專利]用于檢測(cè)用于電流的柔性連接中斷的配置及其方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410485836.5
• 申請(qǐng)日: 2010-04-26
• 公開（公告）號(hào): CN104360211B
• 公開（公告）日: 2017-11-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 賽義德·賈法·雅法良-特哈妮
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 朗姆研究公司
• 主分類號(hào): G01R31/02
• 分類號(hào): G01R31/02;H01J37/32
• 代理公司: 上海勝康律師事務(wù)所31263
• 代理人: 李獻(xiàn)忠

1.在具有可移動(dòng)的下電極的等離子體處理室中的一種檢測(cè)電路配置，所述檢測(cè)電路配置包括：

柔性連接器，其具有第一柔性連接器端和第二柔性連接器端，所述第一柔性連接器端耦合到所述可移動(dòng)的下電極，所述第二柔性連接器端耦合到所述等離子體處理室的一個(gè)組件內(nèi)襯上，其中所述柔性連接器配置為在所述可移動(dòng)的下電極和所述等離子體處理室的所述組件之間提供低阻抗的電流路徑；和

用于檢測(cè)的裝置，其檢測(cè)通過所述柔性連接器的電流，用于檢測(cè)所述電流的所述裝置包括耦合到夾層檢測(cè)電路回路的檢測(cè)電路，所述夾層檢測(cè)電路回路貼到所述柔性連接器上，所述夾層檢測(cè)電路回路包括導(dǎo)體，所述導(dǎo)體形成一個(gè)主分支和至少兩個(gè)子分支，其中包括所述主分支和所述至少兩個(gè)子分支的所述夾層檢測(cè)電路回路形成單個(gè)電流回路。

2.如權(quán)利要求1所述的檢測(cè)電路配置，其中所述用于檢測(cè)的裝置被預(yù)拉伸以使所述用于檢測(cè)的裝置模擬所述柔性連接器在所述下電極升高和降低時(shí)的狀況。

3.如權(quán)利要求1所述的檢測(cè)電路配置，其中所述用于檢測(cè)的裝置包括成組的無源元件，其中所述成組的無源元件包括成組的電阻、成組的電感器和成組的電容器中的一個(gè)。

4.如權(quán)利要求1所述的檢測(cè)電路配置，其中所述檢測(cè)電路被配置為分析所收集的有關(guān)所述電流的一組參數(shù)，以確定所述電流的變化何時(shí)在預(yù)定義的閾值之外。

5.如權(quán)利要求1所述的檢測(cè)電路配置，其中交流信號(hào)和直流信號(hào)中的至少一個(gè)被提供給所述導(dǎo)體。

6.如權(quán)利要求5所述的檢測(cè)電路配置，其中所述交流信號(hào)和所述直流信號(hào)中的至少一個(gè)是在與通過所述柔性連接器的所述電流相關(guān)的頻率不同的頻率上。