[發(fā)明專利]一種檢測(cè)高純氣體中氣溶膠的方法及裝置

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410485633.6
• 申請(qǐng)日: 2014-09-23
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104198439A
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-12-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 何興道;夏如孝;吳濤;葛洋;李翔
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 南昌航空大學(xué)
• 主分類(lèi)號(hào): G01N21/51
• 分類(lèi)號(hào): G01N21/51
• 代理公司: 南昌市平凡知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 36122
• 代理人: 歐陽(yáng)沁

1.一種檢測(cè)高純氣體中氣溶膠的方法，其特征在于：根據(jù)高純氣體瑞利-米散射頻譜中是否存在米散射峰判斷氣體中是否存在氣溶膠，當(dāng)高純氣體中不存在氣溶膠時(shí)，其散射頻譜中不存在米散射峰,當(dāng)高純氣體中存在氣溶膠時(shí)，其散射頻譜中存在米散射峰；根據(jù)米散射峰的強(qiáng)度判斷氣溶膠的濃度。

2.一種檢測(cè)高純氣體中氣溶膠的裝置，其特征在于：該裝置包括激光器（1）、凸透鏡（2、10）、氣體散射池（3）、光學(xué)準(zhǔn)直及濾波系統(tǒng)（4）、鑒頻裝置（9）、光電探測(cè)器（11）、數(shù)據(jù)采集卡（12）和計(jì)算機(jī)（13）；

激光器（1）輸出的激光經(jīng)凸透鏡（2）聚焦到氣體散射池（3）中，與里面的氣體分子相互作用，產(chǎn)生散射信號(hào),散射光經(jīng)準(zhǔn)直及濾波系統(tǒng)（4）準(zhǔn)直、濾波后進(jìn)入鑒頻裝置（9）中進(jìn)行鑒頻，然后通過(guò)凸透鏡（20）聚焦到光電探測(cè)器（11）中,光電探測(cè)器（11）探測(cè)到的散射信號(hào)由數(shù)據(jù)采集卡（12）進(jìn)行采集，最終在計(jì)算機(jī)（13）中進(jìn)行顯示，測(cè)得高純氣體的瑞利-米散射頻譜。

3.如權(quán)利要求2所述的一種檢測(cè)高純氣體中氣溶膠的裝置，其特征在于：激光器（1）為連續(xù)泵浦激光器或脈沖激光器，輸出激光的線寬小于100MHz。

4.如權(quán)利要求2所述的一種檢測(cè)高純氣體中氣溶膠的裝置，其特征在于：鑒頻裝置（9）為F-P掃描干涉儀或斐索干涉儀，F(xiàn)-P掃描干涉儀的自由光譜范圍小于10GHz，精細(xì)度大于20，斐索干涉儀的分辨率小于或等于100MHz。

5.?如權(quán)利要求2所述的一種檢測(cè)高純氣體中氣溶膠的裝置，其特征在于：光電探測(cè)器（11）為光子計(jì)數(shù)器、光電倍增管或ICCD。