[發(fā)明專利]故障檢測系統(tǒng)以及故障檢測方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410478109.6
• 申請日: 2014-09-18
• 公開（公告）號: CN104465437B
• 公開（公告）日: 2017-07-14
• 發(fā)明（設計）人: 田中雅人
• 申請（專利權）人: 阿自倍爾株式會社
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66
• 代理公司: 上海市華誠律師事務所31210
• 代理人: 肖華

技術領域

本發(fā)明涉及一種能夠對操作者沒有正常操作溫度調節(jié)計等控制器這一故障進行檢測和預測的故障檢測系統(tǒng)以及故障檢測方法。

背景技術

在半導體制造裝置中，EES(設備工程系統(tǒng)(Equipment Engineering System))正向實用階段過渡。EES是用數(shù)據(jù)來對半導體制造裝置是否正常地發(fā)揮功能進行檢查，使裝置的可靠性、生產效率提高的系統(tǒng)。EES的主要目的是以裝置本身為對象的故障檢測(FD：Fault Detection)、故障預測(FP：Fault Prediction)(參照非專利文獻1)。

FD/FP中有裝置控制層次、模塊層次、子系統(tǒng)層次、I/O設備層次這樣的層次化的掌握方法。裝置控制層次的FD/FP是基于由主機或操作人員所指示的處理條件，對裝置的功能是否在裝置規(guī)格的允許范圍內動作進行監(jiān)視/檢測的FD/FP。模塊層次的FD/FP是對由設備或者子系統(tǒng)構成的模塊是否能按指示值執(zhí)行處理進行監(jiān)視/檢測的FD/FP。子系統(tǒng)層次的FD/FP是對由如執(zhí)行反饋控制那樣的多臺設備構成的復合系統(tǒng)是否基于若干參數(shù)設定穩(wěn)定地動作進行監(jiān)視/檢測的FD/FP。I/O設備層次的FD/FP是對構成裝置的傳感器、執(zhí)行器是否按設計值穩(wěn)定地動作進行監(jiān)視/檢測的FD/FP。這樣，I/O設備層次的主體是傳感器及執(zhí)行器。

關于執(zhí)行器的FD/FP，對于用(0，1)位串的數(shù)據(jù)(執(zhí)行器數(shù)據(jù))就可以完成的順序控制性的動作，尤其可以說已處于實用階段。

另一方面，關于傳感器的FD/FP，溫度、壓力、流量等過程量則成為對象數(shù)據(jù)。關于這些數(shù)據(jù)，不能說以msec.層次保存全部數(shù)據(jù)是合理的。因此，提出有對于裝置進行管理的每個處理單位、或者每一定期間對傳感器的數(shù)據(jù)進行代表值化，并對代表值化了的值進行檢查的EES對應的基板處理裝置(參見專利文獻1)等。所謂代表值是指最大值、最小值、平均值等。如果利用這些代表值能夠實現(xiàn)FD/FP的話，則與對所有的數(shù)據(jù)進行監(jiān)視的情形相比，因為可以大幅度地減少通信量、必要存儲量等，所以是高效的。

作為利用了代表值的FD/FP，已知的有因劣化而引起的加熱器線材斷線的FP、因過電流而引起的加熱器線材斷線的FD等。在加熱器劣化的情況下，因為加熱器的電阻值(非過程量)的平均值將慢慢地上升，所以如果將加熱器的電阻值的平均值作為代表值進行檢查的話，就能夠預測因劣化而引起的加熱器線材斷線。又，在因過電流而引起加熱器線材斷線的情況下，因為加熱器的電阻值的最大值突發(fā)性地上升，所以如果將加熱器的電阻值的最大值作為代表值進行檢查的話，就能夠檢測出因過電流而引起的加熱器線材斷線。

現(xiàn)有技術文獻

專利文獻

專利文獻1日本特開2010-219460號公報

非專利文獻

非專利文獻1“關于裝置層次的裝置功能的性能確認的說明書(裝置レベルでの裝置機能の性能確認に関する解説書)”，社團法人電子信息技術產業(yè)協(xié)會，2005年3月23日

發(fā)明內容

發(fā)明要解決的課題

如上所述，如果是非過程量的話，就能夠進行FD/FP的實用化。然而，在過程量的代表值化中，僅物理性狀態(tài)成為處理對象，不能對操作者的狀態(tài)進行處理，因此作為信息來說未必充分。因為EES的裝置內分散配置是為了提高EES整體效率的有效安裝方法，所以要求以伴隨著操作者的操作的裝置控制層次進一步強化FD/FP功能。

本發(fā)明正是為了解決上述問題而做出的，目的在于提供一種能夠強化以裝置控制層次的操作者狀態(tài)為對象的FD/FP功能的故障檢測系統(tǒng)以及故障檢測方法。換言之，本發(fā)明以裝置控制層次提供可以內置也可以外裝的簡易型的FD/FP相關功能。

用于解決課題的手段

本發(fā)明的故障檢測系統(tǒng)的特征在于，具有：操作量計算單元，所述操作量計算單元基于設定值SP和控制量PV計算出操作量MV并輸出；設定值操作單元，所述設定值操作單元用于根據(jù)操作者的操作對所述設定值SP進行設定變更；頻率信息處理單元，所述頻率信息處理單元對示出利用該設定值操作單元進行的設定值SP的變更的頻率的操作頻率信息進行總計并保持；以及重置單元，所述重置單元在從外部接收到重置信號時，將保持在所述頻率信息處理單元中的操作頻率信息重置為零。