[發明專利]在擴散爐內設置碳化硅長托防止石英管變形的方法無效
| 申請號： | 201410466031.6 | 申請日： | 2014-09-12 |
| 公開（公告）號： | CN104233472A | 公開（公告）日： | 2014-12-24 |
| 發明（設計）人： | 商亞峰;滕躍;陶巍;郭慶;關凱月 | 申請（專利權）人： | 吉林華微電子股份有限公司 |
| 主分類號： | C30B31/06 | 分類號： | C30B31/06 |
| 代理公司： | 長春菁華專利商標代理事務所 22210 | 代理人： | 陶尊新 |
| 地址： | 132013*** | 國省代碼： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 擴散 設置 碳化硅 防止 石英管 變形 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種在擴散爐內設置碳化硅長托防止石英管變形的方法，其特征在于，在擴散爐爐膛底部安放碳化硅長托(7)，將石英管(1)貫穿爐體(2)放置，石英管(1)底部與碳化硅長托(7)頂部接觸，用把扣環(3)將石英管(1)兩端固定。
2.根據權利要求1所述的在擴散爐內設置碳化硅長托防止石英管變形的方法，其特征在于，碳化硅長托(7)位于擴散爐爐膛恒溫區。
3.根據權利要求1所述的在擴散爐內設置碳化硅長托防止石英管變形的方法，其特征在于，所述碳化硅長托(7)采用含95％SiC的黑碳化硅制作；所述碳化硅長托(7)的微觀形態為陶瓷。
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