[發(fā)明專利]場效應(yīng)調(diào)控超級電容器的制備方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201410458341.3 | 申請日： | 2014-09-10 |
| 公開（公告）號： | CN104217863B | 公開（公告）日： | 2017-06-13 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 麥立強(qiáng);王佩瑤;雙逸;晏夢雨 | 申請（專利權(quán)）人： | 武漢理工大學(xué) |
| 主分類號： | H01G11/84 | 分類號： | H01G11/84 |
| 代理公司： | 湖北武漢永嘉專利代理有限公司42102 | 代理人： | 崔友明 |
| 地址： | 430070 湖*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 場效應(yīng) 調(diào)控 超級 電容器 制備 方法 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種場效應(yīng)調(diào)控超級電容器的制備方法，其特征在于包括以下步驟：
在襯底上沉積一層介電層材料；將電極材料分散在所述的介電層材料上；在介電層和溝道上涂布抗蝕劑，制備出源極、漏極和電容器的一個(gè)電極；在源極、漏極上涂布光刻膠；用聚二甲基硅氧烷整體封裝，注入電解液，得到場效應(yīng)調(diào)控超級電容器。
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