[發(fā)明專利]在聚合物基板上形成金屬圖案的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410448908.9
• 申請(qǐng)日: 2014-09-04
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN105321800B
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-12-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 羅昱凱;陳世宏;郭昱甫;莊子文
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 啟碁科技股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/02
• 分類號(hào): H01L21/02;H01L21/768
• 代理公司: 北京嘉和天工知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)11269
• 代理人: 嚴(yán)慎,支媛

1.一種在聚合物基板上形成金屬圖案的方法，所述在聚合物基板上形成金屬圖案的方法包括：

提供一聚合物基板；

在所述聚合物基板的表面上形成一混合層，其中所述混合層包括活性載體介質(zhì)與分散于所述活性載體介質(zhì)中的納米粒子；

通過(guò)用激光步驟處理所述混合層融合所述混合層的一部分中的所述納米粒子，以在所述聚合物基板的所述表面上形成導(dǎo)電圖案，其中所述納米粒子通過(guò)在所述激光步驟期間從所述納米粒子產(chǎn)生的熱被融合在一起；

進(jìn)行清洗步驟，以移除未經(jīng)處理的所述混合層的部分，以暴露出所述聚合物基板的所述表面，同時(shí)保留所述導(dǎo)電圖案留在所述聚合物基板的所述表面上；以及

對(duì)留在所述聚合物基板上的所述導(dǎo)電圖案進(jìn)行電鍍處理，以在所述導(dǎo)電圖案上形成金屬圖案。

2.如權(quán)利要求1所述的在聚合物基板上形成金屬圖案的方法，其中所述聚合物基板的材料包括尼龍、聚碳酸酯、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯、聚碳酸酯/丙烯腈-丁二烯-苯乙烯、聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯、聚醚醚酮、聚四氟乙烯或液晶聚合物。

3.如權(quán)利要求1所述的在聚合物基板上形成金屬圖案的方法，其中所述納米粒子的材料包括氧化銅、銅、銀或金。

4.如權(quán)利要求1所述的在聚合物基板上形成金屬圖案的方法，其中所述納米粒子的材料包括氧化銅。

5.如權(quán)利要求4所述的在聚合物基板上形成金屬圖案的方法，其中所述激光步驟是藉由使用功率為0.2～4W且具有20％～80％激光點(diǎn)覆蓋率、波長(zhǎng)為355～1064納米的激光來(lái)進(jìn)行。

6.如權(quán)利要求5所述的在聚合物基板上形成金屬圖案的方法，其中所述導(dǎo)電圖案為銅層。

7.如權(quán)利要求4所述的在聚合物基板上形成金屬圖案的方法，其中所述電鍍處理包括銅電鍍處理且所述金屬圖案包括銅圖案。

8.如權(quán)利要求1所述的在聚合物基板上形成金屬圖案的方法，其中所述納米粒子的平均尺寸小于100納米。

9.如權(quán)利要求1所述的在聚合物基板上形成金屬圖案的方法，其中相對(duì)于所述混合層的總重量，所述混合層中的所述納米粒子的含量為自20重量％至40重量％。

10.如權(quán)利要求1所述的在聚合物基板上形成金屬圖案的方法，其中所述活性載體介質(zhì)的材料包括聚乙烯吡咯烷酮或聚乙烯氧化物。

11.如權(quán)利要求1所述的在聚合物基板上形成金屬圖案的方法，其中形成所述混合層包括藉由噴灑涂布、旋轉(zhuǎn)涂布、浸涂、絲網(wǎng)印刷、移印或涂抹來(lái)形成所述混合層。

12.如權(quán)利要求1所述的在聚合物基板上形成金屬圖案的方法，其中所述導(dǎo)電圖案的位置對(duì)應(yīng)于所述金屬圖案的位置。