[發明專利]一種硅片往復切割工藝

無效

• 申請號: 201410447955.1
• 申請日: 2014-09-04
• 公開（公告）號: CN104191533A
• 公開（公告）日: 2014-12-10
• 發明（設計）人: 杜正興;李靖;華冰
• 申請（專利權）人: 無錫尚品太陽能電力科技有限公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04
• 代理公司: 無錫市大為專利商標事務所(普通合伙) 32104
• 代理人: 殷紅梅

技術領域

本發明涉及一種硅片往復切割工藝，具體涉及一種節能降耗，同時能夠改善硅片表面質量的工藝，屬于硅片切割技術領域。

背景技術

目前單向切割是市場的發展需求，但單向切割成本較高。單向切割工藝產生的線痕會對電池柵線造成影響，首先線痕片深度及寬度超差會使硅片外觀質量降級，其次導致電池柵線粗細不均：傳統的往復切割工藝能夠降低1/2的鋼線用量，單片加工成本可降低約0.14元/片。雖然這種工藝可以大大降低切割成本，但是這種切割工藝對硅片表面質量的影響非常大，尤其是線痕特別突出。為了將線痕控制在合理的范圍，研究硅片的往復切割工藝參數是必要的趨勢。

發明內容

本發明的目的在于針對現有技術中存在的不足，提供一種切割精度高，線痕比例率低的硅棒切片工藝。其通過切割線的往復運動，對切割系統提供更大的行程和線速，達到提高生產效率的目的。

按照本發明提供的技術方案，一種硅片往復切割工藝，步驟為：

（1）固化：選取長度為250-300mm的硅棒，利用固化劑把硅棒粘接在工件板上進行固化，固化時間為6h以上，室溫為23-28℃左右；

（2）配置砂漿：即碳化硅的懸浮液，砂漿調試比例按碳化硅：懸浮液水質量比為0.9-0.95：1之間，單刀用砂漿量為225kg；

（3）切割：采用切割機進行切割，導輪帶動鋼線，鋼線直徑0.11-0.115mm，正轉2min后，再把導輪反轉1min，利用切割后的鋼線再進行一次切割；切割時間9-12h，鋼線使用量為200-240km；操作過程放線與回線的比率在3.5-4.5:1、工作臺速度0.25-0.35mm/min，線速度630-680m/min；

（4）脫膠：硅棒切割結束后使用60-65℃的溫水浸泡8-10分鐘后脫膠；

（5）后處理：脫膠后的硅片進行清洗、甩干，即可。

所述硅棒的規格為156*156mm。所述碳化硅目數為1500-2000。所述固化劑為AB膠，其中AB膠的比例為1:1。

尺寸要求：和普通切片規格一樣（156*156）。

放線量與收線量：在鋼線與硅錠摩擦時，放線量是使用新鋼線在進行摩擦，在摩擦過程中，鋼線的橢圓度，直徑會變細，韌度也隨之發生變化。而收線量是把鋼線與硅錠摩擦過的鋼線反向在進行摩擦。利用鋼線的韌度變化做出2次利用。

砂漿流量：砂漿流量的大小取決鋼線帶砂漿的能力；二次切割的鋼線帶砂能力較差，所以砂漿的變化取決于2次利用的鋼線量。

本發明的有益效果：本發明與現有技術相比，切割效果良好，合格率大幅度提高，極大地提高了機器的工作效率；導輪往復帶動鋼線，即使切割中鋼線帶砂不足，也能保證硅片線痕控制在公差之內；采用連續的供線系統和舊線回收系統相比，有效減少線的破損，還可促使線的張緊以保證切割線的剛性，有利于提高切片精度，同時，最大限度的利用切割線從而降低消耗。

具體實施方式

以下實施例中所述切割機為日本NTC機型。

對比實施例1??單向切割

（1）選取長度為250-300mm之間，規格為156×156的硅棒，利用AB膠（比例為1:1）把硅棒粘接在工件板上，固化時間6h以上，室溫為23-28℃左右。

（2）砂漿調試比例：0.90（碳化硅）:1（懸浮液），單刀用砂漿量250kg。

（3）每分鐘鋼線使用量為500m，切割時間為10小時30分鐘，共用鋼線315km。

（4）硅棒切割結束后使用60-65℃的溫水浸泡8-10分鐘后脫膠；脫膠后的硅片插入花籃進行清洗，甩干，送去檢驗。

檢驗結果確認硅片表片線痕占比例1.5%-2%。

實施例1?往復切割

（1）固化：選取長度為250-300mm之間，規格為156×156的硅棒，利用AB膠（比例為1:1）把硅棒粘接在工件板上，固化時間6h，溫度為25℃。

（2）配置砂漿：砂漿調試比例在0.90（碳化硅）:1（懸浮液），單刀用砂漿量減少10%。

（3）切割：采用切割機進行切割，導輪帶動鋼線，鋼線直徑0.11mm，正轉2min后，再把導輪反轉1min，利用切割后的鋼線再進行一次切割；切割時間9-12h，鋼線使用量為200-240km；操作過程放線與回線的比率3.5:1、工作臺速度0.25mm/min，線速度630m/min；

（4）脫膠：硅棒切割結束后使用60℃的溫水浸泡8-10分鐘后脫膠；

（5）脫膠后的硅片進行清洗、甩干，即可。