[發明專利]晶圓級包封模具設計

有效

• 申請號: 201410445275.6
• 申請日: 2014-09-03
• 公開（公告）號: CN105291344B
• 公開（公告）日: 2018-01-26
• 發明（設計）人: 余振華;劉重希;黃暉閔;黃致凡;鄭明達;陳孟澤;張博平;黃見翎
• 申請（專利權）人: 臺灣積體電路制造股份有限公司
• 主分類號: B29C45/02
• 分類號: B29C45/02;B29C45/14;B29C45/26;B29C45/34;H01L21/56
• 代理公司: 北京德恒律治知識產權代理有限公司11409
• 代理人: 章社杲,孫征

技術領域

本發明總體涉及集成電路封裝，更具體地，涉及晶圓級封裝。

背景技術

在集成電路的封裝中，通常通過倒裝芯片接合將諸如器件管芯和封裝襯底的封裝部件堆疊在一起。為了保護堆疊的封裝部件，在器件管芯周圍分布模塑料。

傳統的模塑方法包括壓縮模塑和傳遞模塑。壓縮模塑可用于包覆模塑。由于壓縮模塑不能用于填充堆疊的管芯之間的間隙，因此需要在與壓縮模塑不同的步驟中分布底部填充物。另一方面，傳遞模塑可以用于將模塑底部填充物填充到堆疊的封裝部件之間的間隙內和堆疊的封裝部件上方的間隙。因此，傳遞模塑可以用于在同一步驟中分布底部填充物和模塑料。然而，由于模塑料的不均勻分布，在包括圓形晶圓的封裝件上不能使用傳遞模塑。

發明內容

根據本發明的一個方面，提供了一種裝置，包括：包封模具和模塑導向套件。包封模具包括：頂部和環形邊，環形邊具有環形形狀，其中，該環形邊位于頂部的邊緣的下面并且連接至頂部的邊緣，并且環形邊包括注入端口和排氣端口。模塑導向套件，被配置為插入注入端口內，其中，模塑導向套件包括具有彎曲的前邊緣的前側壁。

優選地，環形邊包括面向由環形邊圍繞的內部空間的內邊緣，環形邊具有第一半徑，并且模塑導向套件的前側壁的彎曲的前邊緣具有基本上等于第一半徑的第二半徑。

優選地，模塑導向套件被配置為在模塑導向套件位于注入端口中時，使彎曲的前邊緣與環形邊的內邊緣對準。

優選地，模塑導向套件的前側壁是傾斜的側壁。

優選地，模塑導向套件的前側壁是垂直的側壁。

優選地，包封模具還包括：位于包封模具的頂部和環形邊的連接處的突起件，并且突起件與包封模具中的將注入端口連接至排氣端口的直徑未對準。

優選地，模塑導向套件被配置為密閉注入端口。

優選地，該裝置還包括：排氣阻擋件，被配置為當排氣阻擋件處于下推位置處時阻擋排氣端口，其中，排氣阻擋件包括面向包封模具的內部空間的彎曲的邊緣。

根據本發明的另一方面，提供了一種裝置，包括：包封模具和模塑導向套件。包封模具包括具有環形形狀的環形邊，其中，環形邊包括：注入端口和排氣端口，注入端口和排氣端口與環形邊的直徑對準，其中，注入端口和排氣端口將由環形邊圍繞的內部空間連接至環形邊外部的空間。模塑導向套件，被配置為插入注入端口內，模塑導向套件包括：溝道，連接至內部空間；和前側壁，面向內部空間，前側壁是彎曲的。

優選地，該裝置還包括：排氣阻擋件，被配置為阻擋排氣端口，其中，排氣阻擋件包括面向內部空間的彎曲的內側壁。

優選地，排氣阻擋件的內側壁與環形邊的內邊緣對準，排氣阻擋件的內側壁與環形邊的內邊緣具有基本上相同的半徑。

優選地，環形邊的內邊緣中位于排氣端口相對兩側的部分是彎曲的。

優選地，溝道包括淺部和比淺部深的深部，深部連接至淺部。

優選地，包封模具還包括：頂部，具有連接至頂部的圓形邊緣的環形邊；以及突起件，位于包封模具的頂部與包封模具的環形邊的連接處，其中，突起件未與將注入端口連接至排氣端口的直徑對準。

根據本發明的又一方面，提供了一種方法，包括：在包封模具的內表面上放置離型膜，其中，包封模具包括：頂部和環形邊，該環形邊具有環形形狀，該環形邊位于頂部的邊緣的下面并且連接至頂部的邊緣，并且環形邊包括注入端口和排氣端口；將包封模具和離型膜放置在封裝結構上方，其中，環形邊圍繞封裝結構；以及將模塑導向套件插入注入端口內，其中，模塑導向套件包括：溝道，連接至由環形邊圍繞的內部空間；和前側壁，面向內部空間，其中，前側壁具有與包封模具的環形邊的內邊緣對準的彎曲的前邊緣。

優選地，該方法還包括：通過溝道將模塑材料注入內部空間內。

優選地，封裝結構包括：載具；以及多個器件管芯，位于載具上方，其中，將多個器件管芯被布置為多個行和列，同時多個帶將多個行和列分隔開，并且在放置包封模具之后，注入端口和排氣端口與其中的一個帶對準。

優選地，該方法還包括：將壓力傳感器附著至包封模具的頂部的底面，其中，壓力傳感器不直接位于封裝結構的頂部器件管芯的任一個的上方。

優選地，包封模具包括：位于頂部與環形邊的連接處的突起件，突起件未與將注入端口連接至排氣端口的線對準。

優選地，該方法還包括：下推排氣阻擋件以阻擋排氣端口，其中，排氣阻擋件包括彎曲的內側壁。

附圖說明