[發明專利]用于光刻設備的光源切換裝置

在審

• 申請號: 201410428718.0
• 申請日: 2014-08-28
• 公開（公告）號: CN105372940A
• 公開（公告）日: 2016-03-02
• 發明（設計）人: 王福亮;徐榮偉
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅

1.一種光源切換裝置，其特征在于，包括：

至少兩個光源，所述光源被切換依次提供照明的光束；

分束器，用于將所述光束分為實際照明光束和探測光束；

光功率探測器，用于探測所述探測光束以獲得正提供照明的所述光源的光功率信息；

控制器，用于根據所述光功率信息控制驅動器，所述驅動器用于驅動光源切換單元；

當所述光功率信息滿足預定的閾值時，所述光源切換單元就切換另一個所述光源來提供照明。

2.如權利要求1所述的光源切換裝置，其特征在于，所述光源為多個，所述光源切換單元為一轉盤，所述多個光源散布或均布在所述轉盤的圓周面上，所述轉盤轉動切換所述多個光源進入工作位置。

3.如權利要求1所述的光源切換裝置，其特征在于，所述光源為2個，所述光源切換單元包括一驅動機構帶動一連桿繞轉軸轉動，切換所述2個光源進入工作位置。

4.如權利要求3所述的光源切換裝置，其特征在于，所述驅動機構為氣動、液動或磁力驅動活塞。

5.如權利要求3所述的光源切換裝置，其特征在于，所述連桿為T型連桿。

6.如權利要求1所述的光源切換裝置，其特征在于，所述實際照明光束為強光束，所述探測光束為弱光束。

7.如權利要求1-6中任一所述的光源切換裝置，其特征在于，還包括調解調平傳感器，用于接收所述實際照明光束，當所述光功率信息滿足預定的閾值，并且所述調焦調平傳感器在設定時間段接收到所述實際照明光束的平均信號強度滿足預先設定的閾值，當所述控制器接收到2個所述滿足預先設定的閾值的信號后，控制所述驅動器驅動所述光源切換單元，所述光源切換單元切換其他所述光源來提供照明。

8.如權利要求1-6中任一所述的光源切換裝置，其特征在于，當所述光源切換裝置中的所有所述光源的所述光功率信息滿足預定的閾值時，所述控制器發出信號，提示更換全部所述光源。

9.如權利要求7所述的光源切換裝置，其特征在于，當所述光源切換裝置中的所有所述光源的所述光功率信息滿足預定的閾值并且所述實際照明光束的平均信號強度滿足預先設定的閾值時，所述控制器發出信號，提示更換全部所述光源。