[發明專利]用于光刻設備的光源切換裝置

在審

• 申請號: 201410428718.0
• 申請日: 2014-08-28
• 公開（公告）號: CN105372940A
• 公開（公告）日: 2016-03-02
• 發明（設計）人: 王福亮;徐榮偉
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅

技術領域

本發明涉及一種集成電路裝備制造領域,尤其涉及一種用于光刻設備的光源切換裝置。

背景技術

隨著集成電路產業的迅猛發展，集成電路的應用領域日益廣泛，需求量也日益增加，這對光刻設備的產率提出了越來越高的要求，影響產率的重要因素之一是光刻設備的的平均無故障工作時間。然而光刻設備中不少分系統為滿足對光源光譜連續性、光功率穩定性的苛刻要求而不得不用采用壽命較短的諸如鹵素燈之類的光源，這導致不得不頻繁地更換光源，在較大程度上減少了這些分系統的平均無故障工作時間，進而減少了整個光刻設備的的平均無故障工作時間，從而降低了產率。

發明內容

為了克服現有技術中存在的缺陷，本發明提供了光源切換裝置，可以實現光源的瞬時自動切換，無需停機，不影響光刻設備正常工作。

為了實現上述發明目的，本發明公開一種光源切換裝置，其特征在于，包括：至少兩個光源，所述光源被切換依次提供照明的光束；分束器，用于將所述光束分為實際照明光束和探測光束；光功率探測器，用于探測所述探測光束以獲得正提供照明的所述光源的光功率信息；控制器，用于根據所述光功率信息控制驅動器，所述驅動器用于驅動光源切換單元；當所述光功率信息滿足預定的閾值時，所述光源切換單元就切換另一個所述光源來提供照明。

更進一步地，所述光源為多個，所述光源切換單元為一轉盤，所述多個光源散布或均布在所述轉盤的圓周面上，所述轉盤轉動切換所述多個光源進入工作位置。

更進一步地，所述光源為2個，所述光源切換單元包括一驅動機構帶動一連桿繞轉軸轉動，切換所述2個光源進入工作位置。

更進一步地，所述驅動機構為氣動、液動或磁力驅動活塞。

更進一步地，所述連桿為T型連桿。

更進一步地，所述實際照明光束為強光束，所述探測光束為弱光束。

更進一步地，還包括調解調平傳感器，用于接收所述實際照明光束，當所述光功率信息滿足預定的閾值，并且所述調焦調平傳感器在設定時間段接收到所述實際照明光束的平均信號強度滿足預先設定的閾值，當所述控制器接收到2個所述滿足預先設定的閾值的信號后，控制所述驅動器驅動所述光源切換單元，所述光源切換單元切換其他所述光源來提供照明。

更進一步地，當所述光源切換裝置中的所有所述光源的所述光功率信息滿足預定的閾值時，所述控制器發出信號，提示更換全部所述光源。

更進一步地，當所述光源切換裝置中的所有所述光源的所述光功率信息滿足預定的閾值并且所述實際照明光束的平均信號強度滿足預先設定的閾值時，所述控制器發出信號，提示更換全部所述光源。

本發明與現有技術相比，可以實現光源的瞬時自動切換，無需停機，不影響光刻設備正常工作，從而增加了平均無故障工作時間，提高了產率。

附圖說明

關于本發明的優點與精神可以通過以下的發明詳述及所附圖式得到進一步的了解。

圖1是本發明所涉及的光源切換裝置的工作原理圖；

圖2是本發明所涉及的光源切換裝置的結構示意圖；

圖3是本發明所涉及的光源切換裝置的結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖詳細說明本發明的具體實施例。

現有技術的光刻設備為了滿足對光源光譜連續性、光功率穩定性的苛刻要求而不得不用采用壽命較短的諸如鹵素燈之類的光源，當光源的壽命結束時必須停機更換，這將減少光刻設備的平均無故障工作時間、降低產率。

為了克服現有技術中存在的缺陷，本發明提供了光源切換裝置，包括安裝有至少兩個光源的光源切換單元、分束器、驅動器、控制器、光功率探測器，光源切換單元與驅動器相連接，驅動器和光功率探測器均與控制器相連接，光源切換單元中處于工作位置的光源發出的全部或部分光經分束器(BS)后分為兩束，較強的一束為分系統提供照明，較弱的一束照射到光功率探測器上，光功率探測器將光功率信息傳遞給控制器，如果目前的光功率小于設定的閾值，光源切換裝置的控制系統開啟下一個新光源進行預熱，待該被測物體測量完畢后，光源切換裝置的控制系統發出指令至驅動器，驅動器驅動光源切換單元將下一個新光源切換到工作位置，當光源切換單元上所有光源的亮度均低于所設定的閾值時，控制器發出信號，提示更換全部光源。該光源切換裝置可以實現光源的瞬時切換，無需停機，不影響光刻設備正常工作。