[發(fā)明專利]電子元器件的電氣特性測定裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410427803.5
• 申請日: 2014-08-27
• 公開（公告）號: CN104459503A
• 公開（公告）日: 2015-03-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 吉田健治;赤穗貞廣
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社村田制作所
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26;G01R1/04;G01R1/06
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 金紅蓮

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及電子元器件的電氣特性測定裝置，例如涉及通過使測定端子與電阻、熱敏電阻、電容器、線圈等的貼片型電子元器件的電極相抵接來測定電氣特性的電氣特性測定裝置。

背景技術(shù)

作為測定貼片元器件的電氣特性來分選出合格品的現(xiàn)有的電氣特性測定裝置的一個示例，例如已有具有如下特征的貼片元器件的電氣特性測定裝置：具備從測定臺與半導(dǎo)體芯片的背面電極相接觸的多個下側(cè)探針、以及與貼片元器件的表面電極相接觸的可上下移動的多個上側(cè)探針，下側(cè)探針及上側(cè)探針與測定器相連接，在下側(cè)探針和上側(cè)探針之間夾設(shè)貼片元器件并通電，從而測定貼片元器件的電氣特性(例如參照專利文獻(xiàn)1)。在該電氣特性測定裝置中，為了進(jìn)行測定而具有可在上下方向上驅(qū)動上側(cè)探針的升降機(jī)構(gòu)，以及對測定臺上的貼片元器件進(jìn)行交換的搬運機(jī)構(gòu)。

在該電氣特性測定裝置中，首先利用搬運機(jī)構(gòu)將貼片元器件放置在測定臺上的規(guī)定位置，該測定臺設(shè)置有多個小孔且由絕緣物構(gòu)成。此時，背面電極成為如下形狀：被從設(shè)置于測定臺的小孔突出規(guī)定高度的4個下側(cè)探針的前端所支撐。接著，利用升降機(jī)構(gòu)部使上側(cè)探針下降且以規(guī)定的壓力與表面電極相接觸。此時，通過按壓使下側(cè)探針的前端和背面電極相接觸。由此，在被上側(cè)探針和下側(cè)探針夾住的狀態(tài)下對貼片元器件的電氣特性進(jìn)行測定。若完成測定，則利用升降機(jī)構(gòu)部使上側(cè)探針上升以使其與表面電極分離，并利用搬運機(jī)構(gòu)將完成測定的貼片元器件收納于收納托盤，將下一個貼片元器件放置在測定臺上。然后，依次重復(fù)該動作。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本專利特開2003－185701號公報(圖1、圖2)

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明所要解決的技術(shù)問題

然而，在該現(xiàn)有的電氣特性測定裝置中，將貼片元器件配置于測定臺的機(jī)構(gòu)(此處，僅稱為“搬運機(jī)構(gòu)”)、和為了測定該貼片元器件的電氣特性而使上側(cè)探針下降和上升以與貼片元器件的表面電極相抵接和分離的升降機(jī)構(gòu)分別構(gòu)成為單獨的機(jī)構(gòu)。因此，在用搬運機(jī)構(gòu)將貼片元器件配置在測定臺上之后，需要使上側(cè)探針升降。即，由于分別實施貼片元器件的搬運機(jī)構(gòu)和上側(cè)探針的升降，會導(dǎo)致測定貼片元器件的電氣特性所需的時間變長這樣的問題。

另外，在該現(xiàn)有的電氣特性測定裝置中，由于必須使上側(cè)探針和下側(cè)探針分別直接接觸電子元器件的表面電極和背面電極，否則無法測定，因此若產(chǎn)生貼片元器件的尺寸誤差、外部電極的電極間距及電極寬度的偏差，則在用搬運裝置將貼片元器件配置于測定臺的情況下、以及依次交換測定臺上的貼片元器件的情況下，可能會發(fā)生位置偏移，從而導(dǎo)致較難充分地確保上側(cè)探針及下側(cè)探針與貼片元器件的電極之間的接觸精度。因此，上側(cè)探針和貼片元器件、下側(cè)探針和貼片元器件之間會發(fā)生接觸不良，可能導(dǎo)致測定精度的可靠性降低。

因而，本發(fā)明的主要目的在于提供一種電子元器件的電氣特性測定裝置，能夠力圖縮短測定所需的時間，且能夠提高測定精度的可靠性。

解決技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案

第一發(fā)明所涉及的本發(fā)明的電子元器件的電氣特性測定裝置對貼片型的電子元器件的電氣特性進(jìn)行測定，在該貼片型的電子元器件的相互相對的一個主面?zhèn)群土硪粋€主面?zhèn)鹊闹辽僖徊糠稚戏謩e形成有一方外部電極和另一方外部電極，該電子元器件的電氣特性測定裝置的特征在于，包含：

第1測定端子，該第1測定端子與一方外部電極電連接，且與測定電氣特性的測定器相連接；

第2測定端子，該第2測定端子能與另一方外部電極相抵接，且與測定器相連接；

保持單元，該保持單元保持所述電子元器件，并且能與第1測定端子電連接；

搬運單元，該搬運單元將保持單元搬運到使由保持單元所保持的電子元器件與第2測定端子相對的位置；

移動單元，該移動單元使保持單元向著第2測定端子相對地移動，以使得電子元器件的另一方外部電極與第2測定端子相抵接；以及

中繼構(gòu)件，該中繼構(gòu)件能與由移動單元來移動的保持單元聯(lián)動地在保持單元的移動方向上移動，且使第1測定端子和保持單元電連接。