[發明專利]電子元器件的電氣特性測定裝置

在審

• 申請號: 201410427803.5
• 申請日: 2014-08-27
• 公開（公告）號: CN104459503A
• 公開（公告）日: 2015-03-25
• 發明（設計）人: 吉田健治;赤穗貞廣
• 申請（專利權）人: 株式會社村田制作所
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26;G01R1/04;G01R1/06
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 金紅蓮

1.一種電子元器件的電氣特性測定裝置，

該電子元器件的電氣特性測定裝置對貼片型的電子元器件的電氣特性進行測定，在該貼片型的電子元器件的相互相對的一個主面側和另一個主面側的至少一部分上分別形成有一方外部電極和另一方外部電極，該電子元器件的電氣特性測定裝置的特征在于，包含：

第1測定端子，該第1測定端子與所述一方外部電極電連接，且與測定所述電氣特性的測定器相連接；

第2測定端子，該第2測定端子能與所述另一方外部電極相抵接，且與所述測定器相連接；

保持單元，該保持單元保持所述電子元器件，并且能與所述第1測定端子電連接；

搬運單元，該搬運單元將所述保持單元搬運到使由所述保持單元所保持的所述電子元器件與所述第2測定端子相對的位置；

移動單元，該移動單元使所述保持單元向著所述第2測定端子相對地移動，以使得所述電子元器件的所述另一方外部電極與所述第2測定端子相抵接；以及

中繼構件，該中繼構件能與由所述移動單元來移動的保持單元聯動地在所述保持單元的移動方向上移動，且使所述第1測定端子和所述保持單元電連接。

2.如權利要求1所述的電子元器件的電氣特性測定裝置，其特征在于，

所述保持單元還包含向所述移動單元的移動方向施力的緩沖機構，

所述第1測定端子還包含向與所述保持單元的移動方向相反的方向施力的其它緩沖機構。

3.如權利要求1或2所述的電子元器件的電氣特性測定裝置，其特征在于，

所述保持單元包含吸附噴頭部，該吸附噴頭部能夠吸附并保持所述電子元器件的一個主面，所述第1測定單元包含多個探針，

用所述搬運單元將所述吸附噴頭部搬運到與所述第2測定端子相對的位置，用所述移動單元使所述電子元器件移動以使得所述電子元器件的所述另一方外部電極與所述第2測定端子相抵接，多個所述探針和所述中繼構件相抵接，在該狀態下，測定所述電子元器件的電氣特性。

4.如權利要求1至3中任一項所述的電子元器件的電氣特性測定裝置，其特征在于，

在所述第2測定端子的表面設置有薄膜狀的各向異性導電橡膠。

5.如權利要求1至4中任一項所述的電子元器件的電氣特性測定裝置，其特征在于，

構成為利用4端子測定法來測定所述電子元器件的電氣特性。