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[發明專利]氧化鈦薄膜的制備方法及氧化鈦薄膜無效

專利信息
申請號: 201410425891.5 申請日: 2014-08-26
公開(公告)號: CN104192901A 公開(公告)日: 2014-12-10
發明(設計)人: 卜艷茹;蔣緒川;余艾冰 申請(專利權)人: 卜艷茹
主分類號: C01G23/053 分類號: C01G23/053
代理公司: 西安智邦專利商標代理有限公司 61211 代理人: 姚敏杰
地址: 256600 山東省濱*** 國省代碼: 山東;37
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 氧化 薄膜 制備 方法
【權利要求書】:

1.一種氧化鈦薄膜的制備方法,其特征在于:所述方法包括以下步驟:

1)氧化鈦前驅物的制備:

1.1)將二乙醇胺逐滴加入到攪拌中的乙醇中,40℃下密封攪拌約10-20分鐘至混合均勻,得到溶液A;

1.2)將鈦酸丁酯逐滴加入到步驟1.1)所得到的溶液A中,繼續在40℃下密封攪拌100-150分鐘,得到溶液B;

1.3)向步驟1.2)所得到的溶液B中緩慢滴加去離子水,密封攪拌30-40分鐘,得到淺黃色透明前驅物溶液C;

1.4)向步驟1.3)中所得到的淺黃色透明前驅物溶液C中加入重量白分比是0-6.0%的聚乙烯吡咯烷酮,密封攪拌至溶解完全,靜止陳化5至20小時,得到溶液D;所述溶液D是氧化鈦前驅物;所述聚乙烯吡咯烷酮的分子量Mw是55000道爾頓;

2)涂膜及后處理:

2.1)將基片依次用丙酮、乙醇以及去離子水分別在超聲作用下清洗5分鐘;

2.2)將步驟1)所制備得到的氧化鈦前驅物采用旋轉、印刷或提拉方法于步驟2.1)中所處理得到的基片進行表面涂膜,得到涂膜樣品;

2.3)將步驟2.2)所得到的涂膜樣品于100℃下烘干,15-30分鐘;

2.4)將步驟2.3)中進行烘干后的樣品于550℃下管式爐或馬弗爐中進行熱處理兩小時后取出,冷卻到室溫,得氧化鈦薄膜。

2.根據權利要求1所述的氧化鈦薄膜的制備方法,其特征在于:所述步驟1.1)中,二乙醇胺與乙醇的摩爾比是1:31.2。

3.根據權利要求2所述的氧化鈦薄膜的制備方法,其特征在于:所述步驟1.2)中,鈦酸丁酯與二乙醇胺的摩爾比是1:1.62。

4.根據權利要求3所述的氧化鈦薄膜的制備方法,其特征在于:所述步驟1.3)中,鈦酸丁酯與去離子水的摩爾比是1:1.26。

5.一種基于如權利要求4所述的氧化鈦薄膜的制備方法制備得到的氧化鈦薄膜。

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