[發明專利]封裝結構的制法有效
| 申請號: | 201410421722.4 | 申請日: | 2014-08-25 |
| 公開(公告)號: | CN105405775B | 公開(公告)日: | 2018-11-27 |
| 發明(設計)人: | 陳彥亨;詹慕萱;紀杰元 | 申請(專利權)人: | 矽品精密工業股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/56 | 分類號: | H01L21/56;H01L21/60 |
| 代理公司: | 北京戈程知識產權代理有限公司 11314 | 代理人: | 程偉;王錦陽 |
| 地址: | 中國臺*** | 國省代碼: | 中國臺灣;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 封裝 結構 制法 | ||
1.一種封裝結構的制法,包括:
提供一包覆至少一電子元件的封裝層,其中,該封裝層具有相對的第一表面及第二表面,該電子元件具有相對的作用面與非作用面,且該電子元件嵌埋于該封裝層中;
形成一金屬定型層于該封裝層的第一表面上,且該金屬定型層具有至少一開口,以令該封裝層的部分第一表面外露于該開口;
以激光方式形成連通該封裝層的第一及第二表面的至少一通孔,且該金屬定型層吸收激光的熱效應,其中,該通孔形成于對應該開口處;以及
形成導電體于該通孔中。
2.如權利要求1所述的封裝結構的制法,其特征為,該封裝層以模封制程或壓合制程形成者。
3.如權利要求1所述的封裝結構的制法,其特征為,該電子元件的作用面齊平該封裝層的第一表面。
4.如權利要求1所述的封裝結構的制法,其特征為,于形成該金屬定型層之前,形成導電層于該封裝層的第二表面上。
5.如權利要求4所述的封裝結構的制法,其特征為,于形成該導電體之后,于該導電層上制作線路構造,以令該線路構造電性連接該導電體。
6.如權利要求4所述的封裝結構的制法,其特征為,該導電層為金屬層。
7.如權利要求1所述的封裝結構的制法,其特征為,該制法還包括移除該金屬定型層,以制作線路構造于該封裝層的第一表面上,以令該線路構造電性連接該導電體及/或該電子元件。
8.如權利要求7所述的封裝結構的制法,其特征為,該線路構造包含至少一線路重布層。
9.如權利要求1所述的封裝結構的制法,其特征為,于形成該導電體之后,還包括利用該金屬定型層制作線路構造。
10.如權利要求9所述的封裝結構的制法,其特征為,該線路構造包含至少一線路重布層。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





