[發明專利]適合影像轉移曝光機的菲林與工件密著方法

有效

• 申請號: 201410419325.3
• 申請日: 2014-08-22
• 公開（公告）號: CN104216236A
• 公開（公告）日: 2014-12-17
• 發明（設計）人: 代毓平;代童慶
• 申請（專利權）人: 深圳市大川光電設備有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京聯瑞聯豐知識產權代理事務所(普通合伙) 11411
• 代理人: 王丹鳳

技術領域

本發明涉及曝光機使用技術領域，尤其涉及一種適合影像轉移曝光機的菲林與工件密著方法。

背景技術

在批量生產印制電路板過程中，是經過紫外線曝光，使所需的電路圖形通過菲林轉移到工件上，如果菲林和工件間有間隙或氣泡，就會引起圖形失真，造成曝光不良，為此數十年來，行業內都是采用抽真空形成負壓，使玻璃受壓或變形來達到菲林和工件的貼合，但始終存在如下的問題：1、抽真空的時間過長，使生產效率變低；2、由于貼有菲林的玻璃易碎，所以真空度不能過高，這就使得變形應力較大的工件與菲林不能形成良好的貼合，另外，必需用不同的墊片(對不同的工件)去填平真空腔的其余部分，以避免玻璃被抽爆，費時費工，不適應自動化生產；3、由于工件的上下兩面同時與高剛性的平臺和玻璃接觸，玻璃本身(與工件接觸面)和鋁合金平臺的不平和凹陷就會造成貼合不良，也很難通過調節真空度來改善貼合的均勻度。

發明內容

本發明要解決的技術問題是提供一種適合影像轉移曝光機的菲林與工件密著方法，該適合影像轉移曝光機的菲林與工件密著方法是通過對所述平臺的充氣，使在其多孔材料介質層表面產生均勻的氣浮壓力，以迫使工件與菲林進行緊密貼合。

可以在吹氣條件下使得影像轉移曝光機中的菲林和工件緊密貼合，避免將玻璃板壓碎，吹氣時間短，吹氣的氣壓可以無限增大，生產效率高，自動化程度高。

為解決抽真空密著存在的上述技術問題，本發明提供的適合影像轉移曝光機的菲林與工件密著方法包括提供菲林，玻璃板、可與菲林下表面相互貼合在一起的工件，在工件下表面設置多孔材料介質層，在所述多孔材料介質層的下部設置有與所述多孔材料介質層緊密貼合的平臺，所述平臺與空氣泵相連，在玻璃板上部設置有第一驅動裝置，在所述平臺下部設置有調整所述工件與菲林之間距離和平行度的第二驅動裝置，所述菲林貼附在該玻璃板下表面，所述的多孔材料介質層上開設有若干分布均勻貫穿于上下兩端面的細微小孔，通過菲林與工件密著方法將空氣泵產生的過濾空氣通過平臺并經過所述細微小孔送到工件的下表面，在工件的下表面形成使得工件與菲林緊密貼合的均勻的氣浮壓力，所述菲林與工件密著方法包括貼好菲林，機械手將所述工件放置在于所述多孔材料介質層上部，所述平臺先移動到玻璃板下方的位置，檢測工件與菲林的位置是否初步對準，通過第一驅動裝置驅動所述玻璃板進行X、Y軸移動及圓周轉動，同時所述第二驅動裝置驅動所述平臺的上下移動，調整所述工件與所述菲林的位置，實現所述菲林與所述工件的準確對位，然后所述空氣泵工作，通過對所述平臺的充氣使其在所述多孔材料介質層表面形成均勻的氣浮壓力，迫使所述工件與菲林緊密貼合，貼合到位后進行紫外線曝光，使所述菲林上的影像轉移到所述工件上，然后所述空氣泵抽氣，將所述工件吸附回平臺再移走。

優選地，所述菲林與工件密著方法包括以下步驟：

S1：將所述菲林貼好在所述玻璃板下表面，機械手將所述工件放置在所述多孔材料介質層上部，所述平臺先移動到玻璃板下方的位置，CCD攝像頭檢測工件與菲林的位置是否初步對準；

S2：CCD攝像頭對所述工件的四個定位孔與菲林上的靶標進行對位標定，通過第一驅動裝置驅動所述玻璃板進行X、Y軸移動及圓周轉動，同時所述第二驅動裝置驅動所述平臺的上下移動，調整所述工件與所述菲林的間距，實現所述菲林與所述工件的準確對位；

S3：所述空氣泵吹氣，通過所述平臺與所述多孔材料介質層的細微小孔對所述工件進行吹氣，所產生的均勻氣浮壓力使所述工件與菲林緊密貼合，檢測所述工件與所述菲林是否貼合到位，如果貼合到位，紫外光開始曝光，將所述菲林上面的影像轉移到所述工件上；

S4：所述空氣泵吸氣，使所述工件與所述菲林分離，將所述工件吸附回所述平臺表面再移走。

優選地，所述步驟S2的實現步驟包括：

S201：所述第二驅動裝置帶動所述平臺移動，使所述工件移動到所述菲林的下部；

S202：第一驅動裝置驅動所述玻璃板進行X、Y軸移動及圓周轉動；

S203：所述第二驅動裝置驅動所述平臺的上下移動，調整所述工件與所述菲林的間距，實現所述菲林與所述工件的準確對位；

優選地，所述第二驅動裝置包括四個可單獨升降并用于調整所述工件與平臺之間距離與平行度的電缸及三個激光位移傳感器，各所述升降的電缸設置于所述平臺下部。

優選地，所述多孔材料介質層為陶瓷或鋁金屬材料組成，空氣能從其分布均勻的細微氣孔進行氣浮和吸附。

優選地，所述第一驅動裝置采用伺服控制，所述玻璃板可相對第一驅動裝置沿X、Y軸移動及圓周轉動。