[發明專利]適合影像轉移曝光機的菲林與工件密著方法

有效

• 申請號: 201410419325.3
• 申請日: 2014-08-22
• 公開（公告）號: CN104216236A
• 公開（公告）日: 2014-12-17
• 發明（設計）人: 代毓平;代童慶
• 申請（專利權）人: 深圳市大川光電設備有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京聯瑞聯豐知識產權代理事務所(普通合伙) 11411
• 代理人: 王丹鳳

1.適合影像轉移曝光機的菲林與工件密著方法，其特征在于：提供菲林，玻璃板、可與菲林下表面相互貼合在一起的工件，在工件下表面設置多孔材料介質層，在多孔材料介質層的下部設置有與所述多孔材料介質層緊密貼合的平臺，所述平臺與空氣泵相連，在玻璃板上部設置有第一驅動裝置，在所述平臺下部設置有調整所述工件與菲林之間距離和平行度的第二驅動裝置，所述菲林貼附在該玻璃板下表面，所述的多孔材料介質層上開設有若干分布均勻貫穿于上下兩端面的細微小孔，通過菲林與工件密著方法將空氣泵產生的過濾空氣通過平臺并經過所述細微小孔送到工件的下表面，在工件的下表面形成使得工件與菲林緊密貼合的均勻的氣浮壓力，所述菲林與工件密著方法包括貼好菲林，機械手將所述工件放置在于所述多孔材料介質層上部，所述平臺先移動到玻璃板下方的位置，檢測工件與菲林的位置是否初步對準，通過第一驅動裝置驅動所述玻璃板進行X、Y軸移動及圓周轉動，同時所述第二驅動裝置驅動所述平臺的上下移動，調整所述工件與所述菲林的間距，實現所述菲林與所述工件的準確對位，然后所述空氣泵工作，通過對所述平臺的充氣使其在所述多孔材料介質層表面形成均勻的氣浮壓力，迫使所述工件與菲林緊密貼合，貼合到位后進行紫外線曝光，使所述菲林上的影像轉移到所述工件上，然后所述空氣泵收氣，將所述工件移走。

2.根據權利要求1所述的適合影像轉移曝光機的菲林與工件密著方法，其特征在于：所述多孔材料介質層為陶瓷或鋁金屬材料組成，空氣能從其分布均勻的細微小孔進行氣浮和吸附。

3.根據權利要求1所述的適合影像轉移曝光機的菲林與工件密著方法，其特征在于：所述平臺的下端面開設有一進氣口，其上端面開設有若干與所述細微小孔相對應的氣孔，所述進氣口與各所述氣孔連通，所述進氣口與所述空氣泵相連。

4.根據權利要求1所述的適合影像轉移曝光機的菲林與工件密著方法，其特征在于：所述空氣泵對所述工件的吹氣壓力可無限增大。

5.根據權利要求1所述的適合影像轉移曝光機的菲林與工件密著方法，其特征在于：所述菲林與工件密著方法包括以下步驟：

S1：將所述菲林貼好在所述玻璃板下表面，機械手將所述工件放置在所述多孔材料介質層上部，所述平臺先移動到玻璃板下方的位置，CCD攝像頭檢測工件與菲林的位置是否初步對準；

S2：CCD攝像頭對所述工件的四個定位孔與菲林上的靶標進行對位標定，通過第一驅動裝置驅動所述玻璃板進行X、Y軸移動及圓周轉動，同時所述第二驅動裝置驅動所述平臺的上下移動，調整所述工件與所述菲林的間距，實現所述菲林與所述工件的準確對位；

S3：所述空氣泵吹氣，通過所述平臺與所述多孔材料介質層的細微小孔對所述工件進行吹氣，所產生的連綿氣浮壓力使所述工件與菲林緊密貼合，檢測所述工件與所述菲林是否貼合到位，如果貼合到位，紫外線開始曝光，將所述菲林上面的影像轉移到所述工件上；

S4：所述空氣泵吸氣，使所述工件與所述菲林分離，將所述工件吸附回所述平臺表面再移走。

6.根據權利要求5所述的適合影像轉移曝光機的菲林與工件密著方法，其特征在于：所述步驟S2的實現步驟包括：

S201：所述第二驅動裝置帶動所述平臺移動，使所述工件移動到所述菲林的下部；

S202：第一驅動裝置驅動所述玻璃板進行X、Y軸移動及圓周轉動；

S203：所述第二驅動裝置驅動所述平臺的上下移動，調整所述工件與所述菲林的間距，實現所述菲林與所述工件的準確對位。

7.根據權利要求6所述的適合影像轉移曝光機的菲林與工件密著方法，其特征在于：所述第二驅動裝置包括四個可單獨升降并用于調整所述工件與平臺之間距離與平行度的電缸及三個激光位移傳感器，各所述升降的電缸設置于所述平臺下部。

8.根據權利要求5所述的適合影像轉移曝光機的菲林與工件密著方法，其特征在于：所述第一驅動裝置采用伺服控制，所述玻璃板可相對第一驅動裝置沿X、Y軸移動及圓周轉動。

9.根據權利要求8所述的適合影像轉移曝光機的菲林與工件密著方法，其特征在于：所述第一驅動裝置包括裝置本體、容置于所述裝置本體內的控制組件、裝設于所述裝置本體上的X軸絲桿、與所述X軸絲桿裝配在一起的X軸絲桿座、裝設于所述X軸絲桿座上的Y軸絲桿、與所述Y軸絲桿裝配在一起Y軸絲桿座、裝設于所述Y軸絲桿座上用于驅動所述玻璃板做圓周轉動的第三伺服電機，用于驅動所述第一絲桿轉動的第一伺服電機、用于驅動所述第二絲桿轉動的第二伺服電機、所述玻璃板與所述第三伺服電機裝配在一起。