[發(fā)明專利]熱處理爐

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410419111.6
• 申請(qǐng)日: 2014-08-22
• 公開（公告）號(hào): CN104422277B
• 公開（公告）日: 2017-11-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 青木道郎;中島健太;橋本孝彥
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 日本礙子株式會(huì)社;NGK凱倫泰克株式會(huì)社
• 主分類號(hào): F27B9/14
• 分類號(hào): F27B9/14;F27B9/30
• 代理公司: 北京旭知行專利代理事務(wù)所(普通合伙)11432
• 代理人: 王軼,李偉

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種熱處理爐。

背景技術(shù)

在現(xiàn)有技術(shù)中，作為對(duì)被處理物進(jìn)行熱處理的熱處理爐已知的是，具備用于進(jìn)行熱處理的爐體、和向爐體搬運(yùn)被處理物或者從爐體搬運(yùn)被處理物的搬運(yùn)路的熱處理爐。例如專利文獻(xiàn)1中記載了如下一種加熱裝置，該加熱裝飾具備對(duì)被加熱物進(jìn)行加熱的加熱主體部、和向加熱主體部搬運(yùn)被處理物或者從加熱主體部搬運(yùn)被加熱物的搬運(yùn)路的加熱裝置。在該加熱裝置中，在搬運(yùn)路設(shè)置有向其上部遠(yuǎn)離加熱主體部的方向傾斜且在內(nèi)部形成有空洞的外氣流入阻止部。通過(guò)設(shè)置該外氣流入阻止部，溫度比外氣的溫度高的加熱主體部?jī)?nèi)的氣體沿著外氣流入阻止部的隔壁迅速流動(dòng)，從而能夠抑制外氣的流入。另外，還具有抑制氣體向外氣流出的效果。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本國(guó)特開2008-128544號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明要解決的問(wèn)題

但是，專利文獻(xiàn)1中記載的外氣流入阻止部的主要目的是阻止外氣的流入，抑制氣氛氣體向外部流出的效果不明顯。另外，抑制外氣流入的效果也有待進(jìn)一步提高。

本發(fā)明是鑒于上述實(shí)際情況而作出的，其主要目的在于充分抑制外氣流入爐體或氣氛氣體向外部流出的現(xiàn)象。

解決課題的方法

本發(fā)明的熱處理爐是一種熱處理爐，其為對(duì)載置于承燒板(setter)的被處理物進(jìn)行熱處理的熱處理爐，其具備：

爐體，在其內(nèi)部對(duì)所述被處理物進(jìn)行熱處理；

第一搬運(yùn)路，其用于在外部和所述爐體之間搬運(yùn)載置有所述被處理物的所述承燒板；

氣體供應(yīng)單元，其向所述爐體內(nèi)部供應(yīng)作為氣氛氣體的惰性氣體；

加熱單元，其用于使所述爐體內(nèi)部的氣氛溫度高于外氣的溫度；

上方空間形成部，其設(shè)置在所述第一搬運(yùn)路的鉛垂上側(cè)，并形成有在鉛垂下側(cè)形成開口且與該第一搬運(yùn)路內(nèi)連通的上方空間；

下方空間形成部，其設(shè)置在所述第一搬運(yùn)路的鉛垂下側(cè)，并形成有在鉛垂上側(cè)形成開口且與該第一搬運(yùn)路內(nèi)連通的下方空間；及

下方空間吸引單元，其用于吸引所述下方空間。

在本發(fā)明的熱處理爐中，向爐體供應(yīng)惰性氣體，爐體的氣氛氣體被加熱成比外氣高的溫度。因此，從爐體向第一搬運(yùn)路流出的氣氛氣體存在的情況下，該氣氛氣體容易滯留在設(shè)置于第一搬運(yùn)路的鉛垂上側(cè)的上方空間。據(jù)此，抑制氣氛氣體穿過(guò)第一搬運(yùn)路向外部流出。另外，通過(guò)氣氛氣體的滯留，上方空間容易形成高于爐體內(nèi)部的壓力的高壓狀態(tài)。據(jù)此，欲將從爐體內(nèi)部流出的氣氛氣體推回爐體內(nèi)部的力發(fā)揮作用，從而抑制氣氛氣體的流出。進(jìn)一步地，通過(guò)對(duì)設(shè)置在第一搬運(yùn)路的鉛垂下側(cè)的下方空間進(jìn)行吸引，能夠形成從上方空間經(jīng)由第一搬運(yùn)路而流向下方空間的氣體流動(dòng)。因此，該流動(dòng)作為氣簾(air curtain)而發(fā)揮作用，由此在外部和爐體內(nèi)部之間的第一搬運(yùn)路能夠抑制氣體的流入流出。通過(guò)以上，能夠充分抑制外氣流入爐體或氣氛氣體向外部流出。此處，第一搬運(yùn)路，既可以用于將承燒板從外部搬入爐體，也可以用于將承燒板從爐體搬出至外部。另外，所述氣體供應(yīng)單元也可以兼做所述加熱單元。例如，所述氣體供應(yīng)單元也可以設(shè)置成供應(yīng)比外氣溫度高的惰性氣體的單元。進(jìn)一步地，所述下方空間吸引單元及所述氣體供應(yīng)單元以保持所述上方空間的壓力高于所述爐體內(nèi)部的壓力的方式，設(shè)置成分別進(jìn)行對(duì)所述下方空間的吸引及所述惰性氣體的供應(yīng)也可。這樣的話，欲將從爐體內(nèi)部流出的氣氛氣體推回爐體內(nèi)部的力就變得容易發(fā)揮作用。

本發(fā)明的熱處理爐也可以具備第二搬運(yùn)路，其用于在所述第一搬運(yùn)路和所述爐體之間搬運(yùn)載置有所述被處理物的所述承燒板的搬運(yùn)路，其搬運(yùn)方向的長(zhǎng)度L為100mm以上且1000mm以下。通過(guò)將第二搬運(yùn)路的搬運(yùn)方向長(zhǎng)度L設(shè)定為100mm以上，能夠更好地抑制爐體的氣氛氣體的流出。

在本發(fā)明的熱處理爐中，也可以具備用于在外部和所述第一搬運(yùn)路之間搬運(yùn)載置有所述被處理物的所述承燒板的第三搬運(yùn)路，其中，將所述承燒板在所述第三搬運(yùn)路上搬運(yùn)時(shí)的、所述承燒板在該第三搬運(yùn)路內(nèi)的鉛垂上方向上的間隙的大小設(shè)定為間隙高度H時(shí)，該間隙高度H的最小值Hmin超過(guò)0mm且在50mm以下。該最小值Hmin設(shè)定得越小，氣體越不容易穿過(guò)第三搬運(yùn)路，因此能更好地抑制外氣流入爐體或氣氛氣體向流出外部。