[發明專利]熱處理爐

有效

• 申請號: 201410419111.6
• 申請日: 2014-08-22
• 公開（公告）號: CN104422277B
• 公開（公告）日: 2017-11-28
• 發明（設計）人: 青木道郎;中島健太;橋本孝彥
• 申請（專利權）人: 日本礙子株式會社;NGK凱倫泰克株式會社
• 主分類號: F27B9/14
• 分類號: F27B9/14;F27B9/30
• 代理公司: 北京旭知行專利代理事務所(普通合伙)11432
• 代理人: 王軼,李偉

1.一種熱處理爐，其為對載置于承燒板的被處理物進行熱處理的熱處理爐，其特征在于，

所述熱處理爐具備：

爐體，在其內部對所述被處理物進行熱處理；

第一搬運路，其用于在外部和所述爐體之間搬運載置有所述被處理物的所述承燒板；

氣體供應單元，其向所述爐體內部供應作為氣氛氣體的惰性氣體；

加熱單元，其用于使所述爐體內部的氣氛溫度高于外氣的溫度；

上方空間形成部，其設置在所述第一搬運路的鉛垂上側，并形成有僅在鉛垂下側形成開口且與該第一搬運路內連通的上方空間；

下方空間形成部，其設置在所述第一搬運路的鉛垂下側，并形成有在鉛垂上側形成開口且與該第一搬運路內連通的下方空間；及

下方空間吸引單元，其用于吸引所述下方空間。

2.根據權利要求1所述的熱處理爐，其特征在于，

所述熱處理爐具備第二搬運路，其為用于在所述第一搬運路和所述爐體之間搬運載置有所述被處理物的所述承燒板的搬運路，其搬運方向的長度L為100mm以上且1000mm以下。

3.根據權利要求1或2所述的熱處理爐，其特征在于，

所述熱處理爐具備第三搬運路，所述第三搬運路用于在外部和所述第一搬運路之間搬運載置有所述被處理物的所述承燒板，其中，

將所述承燒板在所述第三搬運路上搬運時的、所述承燒板在該第三搬運路內的鉛垂上方向上的間隙的大小設定為間隙高度H時，該間隙高度H的最小值Hmin超過0mm且在50mm以下。

4.根據權利要求1或2所述的熱處理爐，其特征在于，

將與所述承燒板的搬運方向垂直且與水平方向平行的方向作為左右方向，將所述承燒板在所述第一搬運路上搬運時的、從該第一搬運路的左端至所述承燒板的所述左右方向的間隙的大小為左間隙寬度W_L，并且將所述承燒板在所述第一搬運路上搬運時的、從該第一搬運路的右端至所述承燒板的所述左右方向的間隙的大小為右間隙寬度W_R時，所述左間隙寬度W_L及所述右間隙寬度W_R均為10mm以上且150mm以下的范圍。

5.根據權利要求1或2所述的熱處理爐，其特征在于，

所述熱處理爐具備：

第二搬運路，其用于在所述第一搬運路和所述爐體之間搬運載置有所述被處理物的所述承燒板；

第二搬運單元，其具有配置在所述第二搬運路的多個第二搬運輥子，且通過該第二搬運輥子將所述承燒板向規定的搬運方向搬運；及

流通抑制構件，其用于抑制氣體在所述搬運方向上相鄰的所述第二搬運輥子之間的間隙以鉛垂方向流通。

6.根據權利要求1或2所述的熱處理爐，其特征在于，

所述熱處理爐具備：

第二搬運路，其用于在所述第一搬運路和所述爐體之間搬運載置有所述被處理物的所述承燒板；

第一搬運單元，其具有配置在所述第一搬運路的多個第一搬運輥子，且通過該第一搬運輥子將所述承燒板向規定的搬運方向搬運；及

第二搬運單元，其具有配置在所述第二搬運路的多個第二搬運輥子，并且通過該第二搬運輥子將所述承燒板向所述搬運方向搬運，其中，所述多個第二搬運輥子之間的間隔比所述第一搬運輥子之間的間隔小。

7.根據權利要求1或2所述的熱處理爐，其特征在于，

所述熱處理爐具備：

第三搬運路，其用于在外部和所述第一搬運路之間搬運載置有所述被處理物的所述承燒板；

第三搬運單元，其具有配置在所述第三搬運路的多個第三搬運輥子，且通過該第三搬運輥子將所述承燒板向規定的搬運方向搬運；及

流通抑制構件，其用于抑制氣體在所述搬運方向上相鄰的所述第三搬運輥子之間的間隙以鉛垂方向流通。

8.根據權利要求1或2所述的熱處理爐，其特征在于，

所述熱處理爐具備：

第三搬運路，其用于在外部和所述第一搬運路之間搬運載置有所述被處理物的所述承燒板；

第一搬運單元，其具有配置在所述第一搬運路的多個第一搬運輥子，且通過該第一搬運輥子將所述承燒板向規定的搬運方向搬運；及

第三搬運單元，其具有配置在所述第三搬運路的多個第三搬運輥子，并且通過該第三搬運輥子將所述承燒板向所述搬運方向搬運，其中，多個所述第三搬運輥子之間的間隔比所述第一搬運輥子之間的間隔小。