[發明專利]一種用于放置硅片的環形花籃

有效

• 申請號: 201410414512.2
• 申請日: 2014-08-21
• 公開（公告）號: CN104241176B
• 公開（公告）日: 2017-02-01
• 發明（設計）人: 陳小力;王進昌
• 申請（專利權）人: 浙江輝弘光電能源有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 杭州華鼎知識產權代理事務所(普通合伙)33217
• 代理人: 胡根良

技術領域

本發明涉及一種用于放置硅片的環形花籃。

背景技術

目前用于放置硅片的花籃為方形，在清洗硅片時，由于方形的花籃存在很多死角，很難清洗干凈，而且工作效率低；由于花籃為方形，在后續的干燥時，不能通過旋轉的形式將硅片上的水分甩出。

發明內容

本發明提供了一種硅片清洗裝置，旨在解決現有的方形花籃存在較多的死角，造成清洗硅片不干凈的問題。

為了解決以上技術問題，本發明通過以下技術方案實現：一種用于放置硅片的環形花籃，包括同軸的內圓管和外圓管，所述內圓管的外側壁上設有外卡槽，所述外圓管的內側壁上設有與外卡槽一一對應且與外卡槽配合放置硅片的內卡槽，所述內圓管底部和外圓管的底部之間固連有桿；所述內圓管上開設有用于連通外卡槽與內圓管內部且與外卡槽一一對應的內通槽，每個外卡槽頂部均與內圓管的上端相通，每個外卡槽的底部均不與內圓管底端相通；所述外圓管上開設有用于連通內卡槽與外圓管外部且與內卡槽一一對應的外通槽，每個內卡槽頂部均與外圓管的上端相通，每個內卡槽的底部均不與外圓管的底端相通。

進一步，所述桿有三個且均布在內圓管和外圓管之間；多于三個時，浪費材料；少于三個時，內圓管和外圓管連接時的牢固性較差。

與現有技術相比本發明的優點是：本發明中的花籃為環形，不存在死角，便于沖洗清干凈，提高了清洗時的工作效率，也有利于后序通過旋轉甩出硅片上的部分水分，便于干燥。

附圖說明

下面結合附圖對本發明作進一步說明：

圖1為本發明的結構示意圖；

圖2為本發明的俯視圖。

具體實施方式

參閱圖1和圖2，一種用于放置硅片的環形花籃，包括同軸的內圓管1和外圓管2，所述內圓管1的外側壁上設有外卡槽11，所述外圓管2的內側壁上設有與外卡槽11一一對應且與外卡槽11配合放置硅片的內卡槽21，所述內圓管1底部和外圓管2的底部之間固連有桿3；所述內圓管1上開設有用于連通外卡槽11與內圓管1內部且與外卡槽11一一對應的內通槽12，每個外卡槽11頂部均與內圓管1的上端相通，每個外卡槽11的底部均不與內圓管1底端相通；所述外圓管2上開設有用于連通內卡槽21與外圓管2外部且與內卡槽21一一對應的外通槽22，每個內卡槽21頂部均與外圓管2的上端相通，每個內卡槽21的底部均不與外圓管2的底端相通；所述桿3有三個且均布在內圓管1和外圓管2之間。

放置硅片時，每組一一對應的外卡槽11和內卡槽21之間均放置一個硅片。

本發明中的花籃為環形，不存在死角，便于沖洗清干凈，提高了清洗時的工作效率，也有利于后序通過旋轉甩出硅片上的部分水分，便于干燥。

以上所述僅為本發明的具體實施例，但本發明的技術特征并不局限于此，任何本領域的技術人員在本發明的領域內，所作的變化或修飾皆涵蓋在本發明的專利范圍之中。