[發(fā)明專利]一種用于放置硅片的環(huán)形花籃

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410414512.2
• 申請(qǐng)日: 2014-08-21
• 公開（公告）號(hào): CN104241176B
• 公開（公告）日: 2017-02-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳小力;王進(jìn)昌
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 浙江輝弘光電能源有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/673
• 分類號(hào): H01L21/673
• 代理公司: 杭州華鼎知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)33217
• 代理人: 胡根良

1.一種用于放置硅片的環(huán)形花籃，其特征是：包括同軸的內(nèi)圓管(1)和外圓管(2)，所述內(nèi)圓管(1)的外側(cè)壁上設(shè)有外卡槽(11)，所述外圓管(2)的內(nèi)側(cè)壁上設(shè)有與外卡槽(11)一一對(duì)應(yīng)且與外卡槽(11)配合放置硅片的內(nèi)卡槽(21)，所述內(nèi)圓管(1)底部和外圓管(2)的底部之間固連有桿(3)；所述內(nèi)圓管(1)上開設(shè)有用于連通外卡槽(11)與內(nèi)圓管(1)內(nèi)部且與外卡槽(11)一一對(duì)應(yīng)的內(nèi)通槽(12)，每個(gè)外卡槽(11)頂部均與內(nèi)圓管(1)的上端相通，每個(gè)外卡槽(11)的底部均不與內(nèi)圓管(1)底端相通；所述外圓管(2)上開設(shè)有用于連通內(nèi)卡槽(21)與外圓管(2)外部且與內(nèi)卡槽(21)一一對(duì)應(yīng)的外通槽(22)，每個(gè)內(nèi)卡槽(21)頂部均與外圓管(2)的上端相通，每個(gè)內(nèi)卡槽(21)的底部均不與外圓管(2)的底端相通。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于放置硅片的環(huán)形花籃，其特征是：所述桿(3)有三個(gè)且均布在內(nèi)圓管(1)和外圓管(2)之間。