[發明專利]測試設備與相關方法

在審

• 申請號: 201410411864.2
• 申請日: 2010-09-02
• 公開（公告）號: CN104181449A
• 公開（公告）日: 2014-12-03
• 發明（設計）人: 邁克勒·瓦佐勒
• 申請（專利權）人: 應用材料公司
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26;G01R31/28;H01L31/18;H01L21/677
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 徐偉

本申請是PCT國際申請號為PCT/EP2010/062831、國際申請日為2010年9月2日、中國國家申請號為201080039570.1、題為“測試設備與相關方法”的申請的分案申請。

技術領域

本發明關于一種用于電子裝置制造廠的測試設備與其相關方法，以對所制造的裝置進行電氣控制或測試。

特別是，本發明的測試設備用于進行太陽能電池的基板或晶圓的電氣控制，以檢查其中所產生的電氣圖案中的可能缺陷。

背景技術

用于測試電子裝置(例如太陽能電池的基板或晶圓)的測試設備已為公知，其一般定位于產生這些電子裝置的廠房的生產線末端。在本文與下文中是特別指基板或晶圓，其由太陽能電池的半導體材料所制成，但并不排除本發明的設備也可用于測試其它類型的電子裝置，例如電子卡、PCB(印刷電路板)等。

這些公知測試設備包含兩床針部，其配置為彼此相對，在其間配置有至少一個待測試基板。基板在其兩側具有多個電接觸區域，其連接至基板本身中所生成的電氣圖案。

這兩床針部在至少第一位置與第二位置之間可相互移動，其中，在該第一位置中可使待測試基板插置在兩床之間而實質上類似三明治，且在該第二位置中其配置為可使針部接觸基板兩側的對應接觸區域。

在此方式中，以及通過與這些接觸區域相應的張力及/或電流測量而進行的有效電氣測試下，配置在第二位置中的這兩床針部可對基板的兩側產生機械抗衡動作，使基板在測試期間保持于穩定且鎖固的位置。

上述公知設備的一項缺點在于，在基板或晶圓由硅或其它半導體材料制成的例子中，機械抗衡動作(其實質上并未緩沖)會在基板的脆性結構中造成不希望得到的非故意性破壞或破裂。

全背式接觸類型的基板或晶圓也已為公知，其中所有的接觸區域都配置在基板的一側上，例如在后側。在此例中，測試設備提供了單床式針部的存在，其可相對于基板而相互移動，以使基板定位為每一個針部都與一個對應的接觸區域接觸。

此解決方式雖然可在測試期間避免不想要的基板的破壞，但無法使基板在測試期間永遠保持在穩定且鎖固的位置中。這會導致一或多個針部無法與基板的對應接觸面積穩定接觸，因而對實際上非缺陷的基板產生負測試結果。

本發明的一個目的在于產生一種測試設備，其可在測試期間使待測試基板或晶圓或其它電子裝置保持穩定處于所需位置中，避免不希望的基板損壞或破壞。

本發明的另一目的在于使基板或其它電子裝置的測試方法更臻完美，其可在測試期間使待測試基板或晶圓或其它電子裝置保持穩定處于所需位置中，避免不希望的基板損壞或破壞。

申請人已經設計、測試及具體實現本發明，以克服現有技術的缺失，并達成前述及其它目的與優勢。

發明內容

本發明的特征在于其獨立權利要求，而從屬權利要求則描述了本發明的其它特征或主要發明構想的變化例。以下概述了本公開的一些方面、示例和實施例。給出附圖標記僅僅是為了解說之用，但是應理解它們不應在任何意義上被解釋為限于在附圖中描繪的個別實施例。

根據上述構想，一種測試設備可用于例如太陽能電池的基板制造廠、或其它電子裝置制造廠，以對其制造的裝置進行電氣控制或測試。該測試設備包含支撐座，其實質上為平坦的，且可于其一個表面上直接或間接支撐至少一個待電氣測試的基板或其它裝置。

該支撐座包含多個貫通孔洞，各貫通孔洞適于插置對應的測試探針以使各探針連接至該基板的對應測試區。

根據本發明的一個特征，該測試設備包含吸引構件，其與該支撐座聯結，且可經由壓降對該基板的一側產生托持動作，以與由測試探針施加于測試區上的推擠動作相抗衡。

在此方式中，可于測試期間使基板穩固地保持在預定位置，以對測試探針的推擠產生適當且有效的抗衡動作，其作用在基板上連接有探針的同一側；這避免了高機械應力的產生，因而可使可能的基板破壞減少或降至最低。

根據本發明的變化例，吸引構件配置成與支撐座的貫通孔洞配合運作；這使得產生于基板上的拖持動作可依探針所產生的實際擠壓而產生最佳分布。

根據本發明另一變化例，各基板可操作地與支撐套件聯結，所述支撐套件用于在不同生產步驟期間移動及傳送基板。支撐套件具有多個貫通開口，各開口可與支撐座的至少一個對應貫通孔洞配合運作，以供對應的測試探針通過。

根據另一變化例，各套件包含吸引管，其可操作地與吸引構件聯結，以托持基板至支撐套件，并因而托持至支撐座。

本發明也關于一種用于測試太陽能電池基板與其它電子裝置的方法。