[發明專利]用于制造金屬膜的方法

在審

• 申請號: 201410403199.2
• 申請日: 2014-08-15
• 公開（公告）號: CN104419896A
• 公開（公告）日: 2015-03-18
• 發明（設計）人: 原崇志;小池洋史;水谷和揮
• 申請（專利權）人: 愛信精機株式會社
• 主分類號: C23C14/14
• 分類號: C23C14/14
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 顧晉偉;彭鯤鵬

相關申請的交叉引用

本申請基于2013年8月19日提交的日本專利申請2013-169788并要求其優先權，通過引用將其全部內容并入到本文中。

技術領域

本公開內容主要涉及用于制造金屬膜的方法。

背景技術

組裝在車輛上的用于智能進入系統的門把手包括門把手本體和天線。門把手本體由非導電性樹脂基材制成。使天線安裝于門把手本體并且接收從智能鑰匙發送的信號。門把手本體(基材)的外表面形成有具有金屬光澤的膜(在下文中稱為金屬膜)以改進門把手的設計性。

用于智能進入系統的門把手需要準確地接收從智能鑰匙發送的信號。另外，為了在乘坐者觸摸預定位置時打開或關閉車輛的門，用于智能進入系統的門把手需要準確地檢測由人體對用于智能進入系統的門把手的預定位置的觸摸而引起的電容上的改變。為了準確地接收從智能鑰匙發送的電波(radio?wave)，形成在用于智能進入系統的門把手的外表面上的金屬膜需要包括高的電波穿透性。此外，為了防止當乘坐者觸摸用于智能進入系統的門把手的預定位置之外的位置時的不正確操作，形成在用于智能進入系統的門把手的外表面上的金屬膜需要包括高電絕緣性。

一種已知的金屬膜公開在JP2011-163903A(在下文中稱為專利文獻1)中。在專利文獻1中公開的金屬膜配置成通過如下方式使其包括電波穿透性：在基材表面上形成化學鍍鎳膜之后通過焙燒處理(或經過焙燒處理之后)在膜中形成裂紋。

另一已知的金屬膜公開在JP2009-286082A(在下文中稱為專利文獻2)中。在專利文獻2中公開的金屬膜配置成通過在膜中形成裂紋使其包括電波穿透性和電絕緣性。在通過濺射在非導電性聚碳酸酯樹脂基材表面上形成鋁膜和鉻膜之后，通過受熱的聚碳酸酯的體積膨脹來形成裂紋。

因為在專利文獻1中公開的金屬膜對應于化學鍍鎳膜，所以該膜需要許多步驟以形成膜，例如催化劑處理、促進劑處理、活化劑處理和化學鍍鎳處理，導致了差的生產性。另外，因為在處理之間需要對膜進行清洗，所以需要用于污水處理的設備，導致了高的設備成本。

根據專利文獻1和專利文獻2，通過加熱而基于基材的熱膨脹與膜的熱膨脹之間的差在膜中形成裂紋。因為裂紋由于膨脹的結果而形成，所以裂紋的方向性不能控制。因此，裂紋可能呈現為不期望的線并且可能損害門把手的外觀的設計性。

因而存在制造不易受上述缺點影響的金屬膜的方法的需求。

發明內容

根據本公開內容的一方面，一種用于制造在非導電性基材表面上形成的金屬膜的方法包括沉積工序和裂紋形成工序；該沉積工序為使形成為粒子或蒸發的金屬從多個靶(所述靶由固體金屬制成)中的至少之一釋放，以及通過使所釋放的金屬從多個方向碰撞所述基材表面而在基材表面上沉積金屬薄膜；該裂紋形成工序為通過對金屬薄膜施加熱應力而在金屬薄膜中形成裂紋。

附圖說明

根據參照附圖的以下詳細描述，本公開內容的前述特征和特性以及附加的特征和特性將變得更明顯，其中：

圖1為作為根據本文所公開的實施方案的沉積裝置的一個實例的濺射裝置的示意圖；

圖2A為說明根據實施方案的從靶釋放的金屬粒子沿特定方向朝著基材行進的狀態的示意側視圖；

圖2B為說明根據實施方案的金屬粒子沉積在基材表面上的狀態的示意側視圖；

圖2C為說明根據實施方案的金屬粒子沉積在基材表面上的狀態的示意俯視圖；

圖3為形成有線型裂紋的金屬薄膜的示意圖；

圖4為說明金屬粒子從多個方向碰撞基材以沉積在基材表面上的狀態的圖；

圖5為說明在基材相對于靶旋轉的情況下靶與基材之間的位置關系變化的平面圖；

圖6為說明在多個靶位于不同位置的情況下多個靶與基材之間的位置關系的平面圖；

圖7為說明從多個靶濺射的金屬粒子碰撞基材的狀態的圖；

圖8為說明根據第二比較例的安裝在臺上的各個測試面板與靶之間的各位置關系的圖；

圖9為形成在測試面板表面上的金屬膜的顯微照片，顯微照片以與根據第二比較例的臺上的測試面板的位置相同的順序放置；

圖10A為使用第一實施例中描述的方法形成的金屬膜的顯微照片；

圖10B為使用第二實施例中描述的方法形成的金屬膜的顯微照片；

圖10C為使用第三實施例中描述的方法形成的金屬膜的顯微照片；

圖10D為使用第四實施例中描述的方法形成的金屬膜的顯微照片；