[發(fā)明專利]片盒定位裝置以及半導(dǎo)體加工設(shè)備

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410398681.1
• 申請(qǐng)日: 2014-08-13
• 公開（公告）號(hào): CN105336650A
• 公開（公告）日: 2016-02-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 余志龍;賈強(qiáng);李冬冬
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/673
• 分類號(hào): H01L21/673;H01L21/68
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;張?zhí)焓?/td>

1.一種片盒定位裝置，其特征在于，包括：

限位門，與所述片盒的側(cè)框可旋轉(zhuǎn)地連接，通過旋轉(zhuǎn)所述限位門，而使其位于阻擋或非阻擋所述片盒中的晶片移動(dòng)的第一位置或第二位置；

定位機(jī)構(gòu)，用于將所述限位門鎖定在所述第一位置或第二位置，以及在需要取放片時(shí)，解除對(duì)所述限位門的鎖定；所述定位機(jī)構(gòu)包括：弧形導(dǎo)軌，設(shè)置在所述片盒的頂板上，且沿所述限位門的旋轉(zhuǎn)圓周方向延伸；

滑動(dòng)件，位于所述弧形導(dǎo)軌內(nèi)，且與所述限位門固定連接，并且所述滑動(dòng)件在所述限位門旋轉(zhuǎn)時(shí)，沿所述弧形導(dǎo)軌滑動(dòng)；

鎖定件，用于在所述限位門旋轉(zhuǎn)至所述第一位置或第二位置時(shí)，將所述滑動(dòng)件鎖定在所述片盒的頂板上，以及在需要取放片時(shí)，解除對(duì)所述滑動(dòng)件的鎖定。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的片盒定位裝置，其特征在于，所述弧形導(dǎo)軌包括設(shè)置在所述片盒的頂板上表面，且貫穿其厚度的通槽；并且，在所述頂板上表面上分別設(shè)置有第一定位孔和第二定位孔，二者的內(nèi)徑大于所述通槽的寬度，且二者各自的軸線均與所述通槽在豎直方向上的中心線重合。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的片盒定位裝置，其特征在于，所述滑動(dòng)件包括滑動(dòng)軸，所述滑動(dòng)軸位于所述通槽內(nèi)，且與所述限位門固定連接，并且在所述限位門旋轉(zhuǎn)至所述第一位置或第二位置時(shí)，所述滑動(dòng)軸滑動(dòng)至所述第一定位孔或第二定位孔內(nèi)；所述滑動(dòng)軸的上端高于所述頂板上表面，且所述滑動(dòng)軸的高于所述頂板上表面的部分設(shè)置有外螺紋；

所述鎖定件包括具有內(nèi)螺紋孔的旋鈕，所述內(nèi)螺紋孔與所述滑動(dòng)軸的外螺紋螺紋配合；通過將所述旋鈕旋入或旋出所述第一定位孔或第二定位孔內(nèi)，而限制或解除限制所述滑動(dòng)軸的滑動(dòng)。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的片盒定位裝置，其特征在于，在所述第一定位孔和第二定位孔各自的孔壁的中部位置處還設(shè)置有彼此相對(duì)的兩個(gè)第一凸部；

所述滑動(dòng)件包括滑動(dòng)軸，所述滑動(dòng)軸位于所述通槽內(nèi)，所述滑動(dòng)軸的下端與所述限位門可沿豎直方向伸縮、且可自轉(zhuǎn)的連接，并且所述滑動(dòng)軸在所述限位門旋轉(zhuǎn)至所述第一位置或第二位置時(shí)，滑動(dòng)至所述第一定位孔或第二定位孔內(nèi)；并且，在所述滑動(dòng)軸的外周壁上設(shè)置有彼此相對(duì)的兩個(gè)第二凸部；

所述鎖定件包括固定在所述滑動(dòng)軸頂部的旋鈕，所述旋鈕的外徑分別與所述第一定位孔和第二定位孔的直徑相適配；當(dāng)所述限位門位于第一位置或第二位置時(shí)，通過旋轉(zhuǎn)所述旋鈕而使其處于第一角度，此時(shí)所述旋鈕自所述頂板上表面伸出，且所述第二凸部與所述第一凸部彼此交錯(cuò)；通過按壓所述旋鈕而使其位于所述第一定位孔和第二定位孔內(nèi)，同時(shí)使所述第二凸部位于所述第一凸部下方，之后旋轉(zhuǎn)所述旋鈕而使其處于第二角度，此時(shí)所述第二凸部與所述第一凸部彼此重疊。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的片盒定位裝置，其特征在于，所述滑動(dòng)件還包括連接部件和壓縮彈簧，其中

所述連接部件與所述限位門可自轉(zhuǎn)的連接；

所述壓縮彈簧的下端與所述連接部件固定連接，所述壓縮彈簧的上端與所述滑動(dòng)軸的下端固定連接；所述滑動(dòng)軸在所述旋鈕處于第一角度時(shí)，在所述壓縮彈簧的彈力作用下豎直向上移動(dòng)，從而帶動(dòng)所述旋鈕自所述頂板上表面伸出。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-5任意一項(xiàng)所述的片盒定位裝置，其特征在于，還包括驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，用于在所述定位機(jī)構(gòu)解除對(duì)所述限位門的鎖定時(shí)，驅(qū)動(dòng)所述限位門自所述第一位置旋轉(zhuǎn)至第二位置。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的片盒定位裝置，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括：

固定軸，固定在所述片盒的底板或頂板上，且位于所述限位門與所述片盒的側(cè)框的對(duì)接處；

扭簧，套制在所述固定軸上，且所述扭簧的其中一個(gè)扭臂與所述片盒的側(cè)框固定連接；所述扭簧的其中另一個(gè)扭臂與所述限位門固定連接，用以在所述限位門離開所述第二位置時(shí)，向所述限位門施加驅(qū)動(dòng)其旋轉(zhuǎn)至所述第二位置的扭轉(zhuǎn)彈力。