[發(fā)明專(zhuān)利]片盒定位裝置以及半導(dǎo)體加工設(shè)備

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410398681.1
• 申請(qǐng)日: 2014-08-13
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN105336650A
• 公開(kāi)（公告）日: 2016-02-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 余志龍;賈強(qiáng);李冬冬
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/673
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/673;H01L21/68
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;張?zhí)焓?/td>

本發(fā)明提供一種片盒定位裝置以及半導(dǎo)體加工設(shè)備，其包括：限位門(mén)，與片盒的側(cè)框可旋轉(zhuǎn)地連接，通過(guò)旋轉(zhuǎn)限位門(mén)，而使其位于阻擋或非阻擋片盒中的晶片移動(dòng)的第一位置或第二位置；定位機(jī)構(gòu)，用于將限位門(mén)鎖定在第一位置或第二位置，以及在需要取放片時(shí)，解除對(duì)限位門(mén)的鎖定。本發(fā)明提供的片盒定位裝置，其可以根據(jù)具體需要隨時(shí)開(kāi)啟或關(guān)閉限位門(mén)，從而可以阻擋晶片相對(duì)于片盒移動(dòng)，以避免發(fā)生晶片位置偏移或掉落，進(jìn)而可以保證機(jī)械手能夠正常取片。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及微電子加工技術(shù)領(lǐng)域，具體地，涉及一種片盒定位裝置以及半導(dǎo)體加工設(shè)備。

背景技術(shù)

從片盒(Cassette)中取出晶片是眾多半導(dǎo)體加工設(shè)備自動(dòng)化傳輸過(guò)程的第一步，所以取片的效率和可靠性便成為實(shí)現(xiàn)晶片高度自動(dòng)化生產(chǎn)的重要必要條件之一。

圖1為半導(dǎo)體加工設(shè)備的原理框圖。如圖1所示，半導(dǎo)體加工設(shè)備包括裝載腔室13、傳輸腔室2和反應(yīng)腔室3。其中，裝載腔室13用于承載放置有多個(gè)晶片的片盒1；在傳輸腔室2內(nèi)設(shè)置有機(jī)械手4，用于自裝載腔室13中的片盒1內(nèi)取出或放入晶片6，以及將晶片6移入或移出反應(yīng)腔室3。

片盒1的具體結(jié)構(gòu)如圖2所示，片盒1由頂板、底板、側(cè)框和后支柱組成一側(cè)具有開(kāi)口(位于與后支柱相對(duì)的一側(cè))的開(kāi)放式框架結(jié)構(gòu)，并且這些部件的內(nèi)側(cè)表面對(duì)應(yīng)地設(shè)置有沿豎直方向間隔設(shè)置的多層槽口，用以支撐晶片6。

由于在搬運(yùn)片盒1的過(guò)程中，片盒1難免會(huì)出現(xiàn)傾斜、振動(dòng)情況，這使得晶片6容易自片盒1的開(kāi)口朝外偏移，甚至掉落，從而造成機(jī)械手因晶片6的位置偏移或掉落而無(wú)法正常取片，進(jìn)而降低了后續(xù)的傳輸和工藝效率。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問(wèn)題之一，提出了一種片盒定位裝置以及半導(dǎo)體加工設(shè)備，其可以阻擋晶片相對(duì)于片盒移動(dòng)，從而可以避免發(fā)生晶片位置偏移或掉落。

為實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的目的而提供一種片盒定位裝置，包括：限位門(mén)，與所述片盒的側(cè)框可旋轉(zhuǎn)地連接，通過(guò)旋轉(zhuǎn)所述限位門(mén)，而使其位于阻擋或非阻擋所述片盒中的晶片移動(dòng)的第一位置或第二位置；定位機(jī)構(gòu)，用于將所述限位門(mén)鎖定在所述第一位置或第二位置，以及在需要取放片時(shí)，解除對(duì)所述限位門(mén)的鎖定。

其中，所述定位機(jī)構(gòu)包括：弧形導(dǎo)軌，設(shè)置在所述片盒的頂板上，且沿所述限位門(mén)的旋轉(zhuǎn)圓周方向延伸；滑動(dòng)件，位于所述弧形導(dǎo)軌內(nèi)，且與所述限位門(mén)固定連接，并且所述滑動(dòng)件在所述限位門(mén)旋轉(zhuǎn)時(shí)，沿所述弧形導(dǎo)軌滑動(dòng)；鎖定件，用于在所述限位門(mén)旋轉(zhuǎn)至所述第一位置或第二位置時(shí)，將所述滑動(dòng)件鎖定在所述片盒的頂板上，以及在需要取放片時(shí)，解除對(duì)所述滑動(dòng)件的鎖定。

優(yōu)選的，所述弧形導(dǎo)軌包括設(shè)置在所述片盒的頂板上表面，且貫穿其厚度的通槽；并且，在所述頂板上表面上分別設(shè)置有第一定位孔和第二定位孔，二者的內(nèi)徑大于所述通槽的寬度，且二者各自的軸線(xiàn)均與所述通槽在豎直方向上的中心線(xiàn)重合。

優(yōu)選的，所述滑動(dòng)件包括滑動(dòng)軸，所述滑動(dòng)軸位于所述通槽內(nèi)，且與所述限位門(mén)固定連接，并且在所述限位門(mén)旋轉(zhuǎn)至所述第一位置或第二位置時(shí)，所述滑動(dòng)軸滑動(dòng)至所述第一定位孔或第二定位孔內(nèi)；所述滑動(dòng)軸的上端高于所述頂板上表面，且所述滑動(dòng)軸的高于所述頂板上表面的部分設(shè)置有外螺紋；所述鎖定件包括具有內(nèi)螺紋孔的旋鈕，所述內(nèi)螺紋孔與所述滑動(dòng)軸的外螺紋螺紋配合；通過(guò)將所述旋鈕旋入或旋出所述第一定位孔或第二定位孔內(nèi)，而限制或解除限制所述滑動(dòng)軸的滑動(dòng)。