[發(fā)明專利]Cu合金靶用材料、Cu合金靶、Cu合金膜及觸摸面板

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410397798.8
• 申請日: 2014-08-13
• 公開（公告）號: CN104375694B
• 公開（公告）日: 2018-11-20
• 發(fā)明（設計）人: 神谷尚秀;多湖雄一郎;尾崎公造;坂口一哉;南和希
• 申請（專利權）人: 大同特殊鋼株式會社
• 主分類號: G06F3/041
• 分類號: G06F3/041
• 代理公司: 北京林達劉知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;李茂家

本發(fā)明涉及Cu合金靶用材料、Cu合金靶、Cu合金膜及觸摸面板。涉及具備以下的特征的Cu合金靶用材料：(1)前述Cu合金靶用材料含有0.1～10.0at％的Zn，進而含有總含量為0.1～6.0at％的選自由Mg、Cr、Ca、Ti、Al、Sn、Ni和B組成的組中的至少一種元素，剩余部分由Cu和不可避免的雜質組成；以及(2)前述Cu合金靶用材料被用于靶，該靶用于將觸摸面板的傳感器電極和/或布線中使用的Cu合金膜形成于基板上。

技術領域

本發(fā)明涉及Cu合金靶用材料、Cu合金靶、Cu合金膜和觸摸面板，更具體而言，涉及用于制造電阻率低、與樹脂基板的附著性優(yōu)異的Cu合金膜的 Cu合金靶用材料和Cu合金靶、以及使用這種Cu合金靶制造的Cu合金膜和觸摸面板。

背景技術

通過配置于畫面顯示裝置的前面的傳感器而能夠在圖像顯示畫面內輸入的觸摸面板，由于使用方便性良好，除了銀行的ATM、售票機、導向系統(tǒng)、PDA、復印機的操作圖像等之外，近年還廣泛用于各種畫面裝置，甚至是便攜式電話、平板電腦(tablet PC)。作為其方式，可列舉出電阻膜方式、靜電電容方式、光學式、超聲波表面彈性波方式、壓電方式等。它們之中，靜電電容方式由于能夠實現(xiàn)多點觸摸、響應性優(yōu)異、低成本性等而被用于便攜式電話、平板電腦等。

靜電電容方式的觸摸面板傳感器形成介由玻璃基板、薄膜基板、有機膜、 SiO₂膜等兩種透明導電膜(傳感器)正交的結構。尤其是，聚對苯二甲酸乙二酯(PET)等樹脂系薄膜基板在操作的容易程度方面優(yōu)異。通過使手指靠近，作為傳感器的導電膜之間的靜電電容變化，所觸摸的部位被檢測到。對于透明導電膜而言，電阻率的高低、和與底層的基板的附著成為問題。

現(xiàn)狀的透明導電膜由于電阻率大，因此難以實現(xiàn)畫面大型化。這是由于，以相同的電阻率將畫面大型化時，檢測到源自透明導電膜的靜電電容的變化的時間延長。

另外，對于通過透明電極形成的傳感器，由于除了透明電極層之外，還需要重復密合層、導電層、保護層的成膜和蝕刻，成膜裝置的限制和工時的復雜化成為問題，因此成本升高，另外對制造廠商也帶來大的限制。

進而，氧化銦錫(ITO)由于價格昂貴而要求廉價的材料系。

因此，可以兼具傳感器和導電層的作用的合金膜得到關注。其替代透明導電膜，通過將合金膜成膜，使圖像顯示裝置前面的部分形成肉眼看不到程度的線寬(網(wǎng)狀圖案)，同時承擔作為替代透明電極的傳感器和導電層的作用。若為與基板的附著性優(yōu)異的合金，則也無需密合層，能夠通過合金一層的成膜和蝕刻來制造，因此可以大幅縮短制造工序。

作為網(wǎng)狀的金屬，可列舉出Ag、Al、Cu系的金屬和合金。對于Ag而言，材料成本高成為問題，Al電阻率高于Ag、Cu。另外，難以通過熱處理實現(xiàn)反射率的降低。進而，關于Cu，與基板的附著性成為問題。另外，對于Cu 合金而言，通過添加元素某種程度上能夠實現(xiàn)附著性的提高，但是若向Cu 添加合金元素則電阻率大幅增大。

專利文獻1～5中提出了附著性優(yōu)異的Cu合金。但是，它們?yōu)閷τ诓ＡЩ濉TO等氧化物、Si等半導體、陶瓷的附著性，完全沒有記載對于樹脂系薄膜(PET等)的附著性。

專利文獻6中，作為觸摸面板用布線膜，提出了與透明電極的附著性高的Cu合金。但是，沒有記載Cu合金一層化所需要的對樹脂系薄膜(PET等)的直接成膜。另外，專利文獻6中，優(yōu)選電阻率為11.0μΩ·cm以下，但是為了用作傳感器電極而細線化至10μm以下的寬度，因此必須達成進一步低的電阻率。需要兼具低電阻率和對樹脂系薄膜(PET等)的附著性的成分。

另外，非專利文獻1中雖然進行了對玻璃基板的附著性高的Cu合金的研究，但是此處沒有記載與樹脂系薄膜(PET等)的附著性。

進而，為了抑制由于進入到觸摸面板的畫面的自然光、電燈等的光的反射所導致的閃爍，需要使傳感器電極在制造工序內氧化而消除金屬光澤，降低光的反射率，但是沒有關于經(jīng)過氧化時的金屬光澤的記載。