[發明專利]利用兩步法制備表面微納圖形的方法有效
| 申請號： | 201410397449.6 | 申請日： | 2014-08-13 |
| 公開（公告）號： | CN104174999A | 公開（公告）日： | 2014-12-03 |
| 發明（設計）人： | 劉佳琛;邵天敏 | 申請（專利權）人： | 清華大學 |
| 主分類號： | B23K26/36 | 分類號： | B23K26/36 |
| 代理公司： | 北京紀凱知識產權代理有限公司 11245 | 代理人： | 關暢;王春霞 |
| 地址： | 100084 北京市海淀區北京*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 利用 步法 制備 表面 圖形 方法 | ||
1.利用兩步法制備表面微納圖形的方法，包括如下步驟：
(1)在待加工材料表面的加工區域涂覆光敏聚合材料；
(2)根據在待加工材料表面制備的微納圖形設計聚焦元件的形狀，利用飛秒激光多光子聚合加工裝置對所述光敏聚合材料進行多光子聚合加工，即在待加工材料表面的加工區域得到所述聚焦元件；
所述飛秒激光多光子聚合加工裝置包括飛秒激光器；
(3)利用表面微納圖形的激光加工裝置對所述聚焦元件進行激光照射，即在待加工材料表面得到微納圖形；
所述表面微納圖形的激光加工裝置包括脈沖激光器。
2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于：步驟(1)中，所述光敏聚合材料為光敏聚合物、有機陶瓷或半導體材料。
3.根據權利要求1或2所述的方法，其特征在于：步驟(2)中，以球體或圓柱體為加工基本單位形成所述聚焦元件；
所述球體和所述圓柱體的直徑均小于5μm。
4.根據權利要求1-3中任一項所述的方法，其特征在于：步驟(2)中，控制所述飛秒激光器的條件如下：
激光波長為775nm～1550nm；
脈沖寬度為10fs～200fs；
重復頻率為20MHz～100MHz；
功率為1mW～100mW。
5.根據權利要求1-4中任一項所述的方法，其特征在于：步驟(3)中，控制所述脈沖激光器的條件如下：
波長為266nm～1064nm；
脈寬為納秒級、皮秒級或飛秒級；
可觸發單脈沖模式，單脈沖能量密度為0.1J/cm2～5J/cm2。
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