[發(fā)明專利]磁阻傳感器及其制造方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410396052.5
• 申請日: 2014-08-13
• 公開（公告）號(hào): CN105301539A
• 公開（公告）日: 2016-02-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳光鏡;李佳謀;湯泰郎;李干銘;楊名聲
• 申請（專利權(quán)）人: 宇能電科技股份有限公司
• 主分類號(hào): G01R35/00
• 分類號(hào): G01R35/00
• 代理公司: 北京遠(yuǎn)大卓悅知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11369
• 代理人: 史霞

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種測試磁傳感器用的測試組件及磁傳感器的測試方法，尤其涉及具有測試接口與可拆卸式的磁場產(chǎn)生器的測試組件及利用此測試組件測試磁傳感器的測試方法。

背景技術(shù)

磁傳感器可感測外部磁場的變化。磁傳感器可用來偵測旋轉(zhuǎn)、角度、開/關(guān)狀態(tài)、位置、對象的存在與否、對象的遠(yuǎn)近等。目前有許多類型的技術(shù)被應(yīng)用于磁傳感器如霍爾傳感器、磁阻傳感器、磁感應(yīng)傳感器、質(zhì)子進(jìn)動(dòng)裝置、光學(xué)泵、核子進(jìn)動(dòng)裝置及SQUID(超導(dǎo)量子干涉裝置)。以磁阻技術(shù)作為實(shí)例，根據(jù)所用的磁阻材料的不同，依照作動(dòng)的原理及敏感度可將磁傳感器分類為異向性磁阻傳感器、巨磁阻傳感器及穿隧式磁阻傳感器。

許多此類磁阻傳感器是以半導(dǎo)體制程制作成半導(dǎo)體組件的形式，因此欲完成此類磁阻傳感器至少涉及了下列步驟：從基板開始的制造流程、晶圓級(jí)測試、芯片切割、封裝成獨(dú)立的芯片及封裝級(jí)測試。晶圓級(jí)測試及封裝級(jí)測試通常汲及了利用具有測試接口的測試機(jī)臺(tái)測試組件的功能，此處所謂的組件例如是形成在晶圓中的記憶胞與磁傳感器或已封裝的集成電路(IC)。對于磁傳感器而言，其晶圓級(jí)測試及封裝級(jí)測試都需要產(chǎn)生外部磁場以測試磁傳感器的效能如針對不同軸向的敏感度與準(zhǔn)確性。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種測試磁傳感器用的便宜且具有適應(yīng)性的測試組件。此測試組件能與不同種類的測試機(jī)臺(tái)匹配且能量測兩維感測效能或三維感測效能。

本發(fā)明提供一種測試磁傳感器用的測試組件，其包括測試接口與可拆卸式的磁場產(chǎn)生器。測試接口包括一基板及多個(gè)測試終端。基板具有第一側(cè)及與第一側(cè)相對的第二側(cè)。多個(gè)測試終端是配置于基板的第一側(cè)上。可拆卸式的磁場產(chǎn)生器是以可拆卸的方式配置于基板的第二側(cè)。可拆卸式的磁場產(chǎn)生器包括線圈支撐件及卷繞線圈支撐件的至少一線圈。

本發(fā)明更提供一種測試磁傳感器的測試方法。此方法包括將測試組件帶向磁傳感器的步驟。測試組件包括測試接口與可拆卸式的磁場產(chǎn)生器。測試接口包括一基板及多個(gè)測試終端。基板包括第一側(cè)及與第一側(cè)相對的第二側(cè)。多個(gè)測試終端是配置于基板的第一側(cè)上。可拆卸式的磁場產(chǎn)生器是以可拆卸的方式配置于基板的第二側(cè)。可拆卸式的磁場產(chǎn)生器包括線圈支撐件及卷繞線圈支撐件的至少一線圈。此方法更包括：使磁傳感器與測試終端的末端耦合的步驟；經(jīng)由供給電流至該至少一線圈以將磁場施加至該磁傳感器的步驟；及借由該測試終端自該磁傳感器獲得回應(yīng)訊號(hào)的步驟。

在本發(fā)明的一實(shí)施例中，該至少一線圈是用來產(chǎn)生垂直于該基板的一磁場及或沿著平行于該基板的第一方向的一磁場及/或沿著平行于該基板的第二方向的一磁場，其中第一方向是垂直于該第二方向。

在本發(fā)明的一實(shí)施例中，該測試組件是用來被安裝于一晶圓級(jí)測試機(jī)臺(tái)或一封裝級(jí)測試機(jī)臺(tái)。

在本發(fā)明的一實(shí)施例中，該測試組件的該線圈支撐件是由鐵、鐵氧體(ferrite)材料、坡莫合金(permalloy)、絕緣材料或上述者的任意組合所制成。

附圖說明

圖1所示為本發(fā)明一實(shí)施例的測試磁傳感器用的測試組件。

圖2所示為本發(fā)明一實(shí)施例的圖1的測試組件的可拆卸式的磁場產(chǎn)生器的三維概圖。

圖3(A)為磁場產(chǎn)生器的簡單上視圖，說明圖1與2的磁場產(chǎn)生器的線圈與其所產(chǎn)生的磁場之間的關(guān)系。

圖3(B)為磁場產(chǎn)生器的簡單上視圖，說明根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的磁場產(chǎn)生器的線圈與其所產(chǎn)生的磁場之間的關(guān)系。

圖3(C)為磁場產(chǎn)生器的簡單上視圖，說明根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例的磁場產(chǎn)生器的線圈與其所產(chǎn)生的磁場之間的關(guān)系。

圖3(D)為磁場產(chǎn)生器的簡單上視圖，說明根據(jù)本發(fā)明更另一實(shí)施例的磁場產(chǎn)生器的線圈與其所產(chǎn)生的磁場之間的關(guān)系。

圖4顯示根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例的測試磁傳感器用的測試組件。

圖5為磁場產(chǎn)生器的簡單上視圖，說明圖4的磁場產(chǎn)生器的線圈與其所產(chǎn)生的磁場之間的關(guān)系。

圖6顯示根據(jù)本發(fā)明更另一實(shí)施例的測試磁傳感器用的測試組件。

圖7(A)與7(B)顯示圖6的測試組件的磁場產(chǎn)生器所產(chǎn)生的磁場。

圖8顯示根據(jù)本發(fā)明更另一實(shí)施例的測試磁傳感器用的測試組件。

圖9顯示根據(jù)本發(fā)明更另一實(shí)施例的測試磁傳感器用的測試組件。

圖10的流程圖顯示根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的利用本發(fā)明的測試組件測試磁傳感器的測試方法。

符號(hào)說明

100晶圓支撐件

200基板

210測試終端

300固定板