[發(fā)明專利]磁阻傳感器及其制造方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201410396052.5 | 申請日： | 2014-08-13 |
| 公開（公告）號： | CN105301539A | 公開（公告）日： | 2016-02-03 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 陳光鏡;李佳謀;湯泰郎;李干銘;楊名聲 | 申請（專利權(quán)）人： | 宇能電科技股份有限公司 |
| 主分類號： | G01R35/00 | 分類號： | G01R35/00 |
| 代理公司： | 北京遠(yuǎn)大卓悅知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11369 | 代理人： | 史霞 |
| 地址： | 中國臺灣新竹縣*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 磁阻 傳感器 及其 制造 方法 | ||
1.一種測試磁傳感器用的測試組件，包括：
一測試接口，包括一基板及多個測試終端，該基板包括一第一側(cè)及與該第一側(cè)相對的一第二側(cè)，該多個測試終端是配置于該基板的該第一側(cè)上；及
一可拆卸式的磁場產(chǎn)生器，是以可拆卸的方式配置于該基板的第二側(cè)，包括一線圈支撐件及卷繞該線圈支撐件的至少一線圈。
2.如權(quán)利要求1所述的測試磁傳感器用的測試組件，其中該測試組件是用來被安裝于一測試機(jī)臺中，該測試機(jī)臺包括一晶圓支撐件以支撐包括待測試的多個磁傳感器的一晶圓。
3.如權(quán)利要求1所述的測試磁傳感器用的測試組件，其中該測試組件是用來被安裝于一測試機(jī)臺中，該測試機(jī)臺是用來測試包括待測試的多個磁傳感器的一經(jīng)封裝的集成電路(IC)。
4.如權(quán)利要求2或3所述的測試磁傳感器用的測試組件，其中該多個測試終端的多個末端是用來接觸該晶圓或該經(jīng)封裝的集成電路(IC)。
5.如權(quán)利要求1所述的測試磁傳感器用的測試組件，更包括：一固定件，用來固定該測試接口與該可拆卸式的磁場產(chǎn)生器。
6.如權(quán)利要求1所述的測試磁傳感器用的測試組件，其中該線圈支撐件包括垂直于該基板的四個垂直部且該至少一線圈包括分別卷繞該四個垂直部的四個線圈。
7.如權(quán)利要求6所述的測試磁傳感器用的測試組件，其中該四個線圈中的兩者是用來產(chǎn)生沿著平行于該基板的第一方向的一磁場且該四個線圈中的另外兩者是用來產(chǎn)生沿著平行于該基板的第二方向的一磁場，該第一方向是垂直于該第二方向。
8.如權(quán)利要求1所述的測試磁傳感器用的測試組件，其中該線圈支撐件包括垂直于該基板的兩個垂直部且該至少一線圈包括分別卷繞該兩個垂直部的兩個線圈。
9.如權(quán)利要求1所述的測試磁傳感器用的測試組件，其中該線圈支撐件包括平行于該基板的至少兩個腳且該至少一線圈包括分別卷繞該至少兩個腳的至少兩個線圈。
10.如權(quán)利要求1所述的測試磁傳感器用的測試組件，其中該線圈支撐件是垂直于該基板且該至少一線圈包括用來產(chǎn)生垂直于該基板的一磁場的一線圈。
11.如權(quán)利要求1所述的測試磁傳感器用的測試組件，其中該線圈支撐件不垂直于該基板且該至少一線圈包括單一線圈用來產(chǎn)生：
垂直于該基板的一磁場；
沿著平行于該基板的第一方向的一磁場；及
沿著平行于該基板的第二方向的一磁場，
其中該第一方向是垂直于該第二方向。
12.如權(quán)利要求1所述的測試磁傳感器用的測試組件，其中該線圈支撐件是垂直于該基板但該線圈支撐件的中心是偏離該基板的中心，且該至少一線圈包括單一線圈用來產(chǎn)生：
垂直于該基板的一磁場；
沿著平行于該基板的第一方向的一磁場；及
沿著平行于該基板的第二方向的一磁場，
其中該第一方向是垂直于該第二方向。
13.一種測試磁傳感器的測試方法，包括：
將一測試組件帶向該磁傳感器，該測試組件包括：
一測試接口，包括一基板及多個測試終端，該基板包括一第一側(cè)及與該第一側(cè)相對的一第二側(cè)，該多個測試終端是配置于該基板的該第一側(cè)上；及
一可拆卸式的磁場產(chǎn)生器，是以可拆卸的方式配置于該基板的第二側(cè)，包括一線圈支撐件及卷繞該線圈支撐件的至少一線圈；
使該磁傳感器與該多個測試終端的末端耦合；
經(jīng)由供給電流至該至少一線圈以將一磁場施加至該磁傳感器；及
借由該多個測試終端自該磁傳感器獲得回應(yīng)訊號。
14.如權(quán)利要求13所述的測試磁傳感器的測試方法，其中該磁傳感器是形成于一晶圓或一經(jīng)封裝的集成電路中。
15.如權(quán)利要求13所述的測試磁傳感器的測試方法，其中該線圈支撐件包括垂直于該基板的四個垂直部且該至少一線圈包括分別卷繞該四個垂直部的四個線圈。
16.如權(quán)利要求15所述的測試磁傳感器的測試方法，其中該四個線圈中的兩者是用來產(chǎn)生沿著平行于該基板的第一方向的一磁場而該四個線圈中的另外兩者是用來產(chǎn)生沿著平行于該基板的第二方向的一磁場，該第一方向是垂直于該第二方向。
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