[發(fā)明專利]氣路界面顯示方法和系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410393050.0
• 申請日: 2014-08-12
• 公開（公告）號: CN105446275B
• 公開（公告）日: 2018-05-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李蘭曉
• 申請（專利權(quán)）人: 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
• 主分類號: G05B19/418
• 分類號: G05B19/418;H01L21/67
• 代理公司: 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 44224
• 代理人: 李芙蓉

本發(fā)明公開了一種氣路界面顯示方法和系統(tǒng)，其中方法包括如下步驟：步驟S100，根據(jù)上位機(jī)所能配備的氣體種類總數(shù)和下位機(jī)所需氣體種類數(shù)，計算步長參數(shù)，并在氣路界面中第一路氣體管路的位置顯示所需氣體種類中第一種氣體的氣體管路信息；步驟S200，檢測步長參數(shù)，當(dāng)步長參數(shù)大于或等于預(yù)設(shè)值時，控制氣路界面中氣體管路的位置以步長參數(shù)為間隔，均勻顯示所需氣體種類中其他氣體的氣體管路信息。其通過在下位機(jī)工藝腔室的通道增加下位機(jī)通道，并讀取下位機(jī)通道顯示的所需氣體種類數(shù)，減少了上位機(jī)存儲并讀取XML配置文件的空間和時間的浪費(fèi)，有效解決了現(xiàn)有的氣路界面邊緣處的提示信息不能很好地起到提示作用的問題。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域，特別是涉及一種氣路界面顯示方法和系統(tǒng)。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體制造設(shè)備中，執(zhí)行工藝時，通常用到很多不同種類的工藝氣體。工藝氣體進(jìn)入工藝腔室，在上電極的作用下形成等離子體用于進(jìn)行刻蝕、PVD(Physical VaporDeposition，物理氣相沉積)、CVD(Chemical Vapor Deposition，化學(xué)氣相沉積)等工藝，因此，氣路系統(tǒng)是工藝腔室的一個重要輔助系統(tǒng)，通常氣路系統(tǒng)包括擺閥、干泵、分子泵、氣路管道和MFC(Mass Flow Controller，氣體流量控制器)等裝置。通過對半導(dǎo)體制造設(shè)備設(shè)置特定的控制軟件，實現(xiàn)對半導(dǎo)體制造設(shè)備配備的氣體名稱、氣體流量、閥門狀態(tài)等信息的實時顯示，不同工藝需求的半導(dǎo)體制造設(shè)備，氣體的配備不同，其區(qū)別主要包括：氣體個數(shù)、氣體種類、是否為特性氣體等。

目前，氣體管路界面顯示如圖1所示(以16路氣體為例)，當(dāng)半導(dǎo)體制造設(shè)備配備的氣體種類發(fā)生變化時，如半導(dǎo)體制造設(shè)備只需配置前6路氣體時，需要手動修改XML配置文件，以實現(xiàn)對半導(dǎo)體制造設(shè)備所需配備的氣體的名稱、是否存在Purge閥、是否已連接等屬性進(jìn)行修改，并通過解析該配置文件獲取相關(guān)信息，將氣體管路信息通過界面顯示出來(如圖2所示)。由于當(dāng)半導(dǎo)體制造設(shè)備需要配備的氣體種類發(fā)生改變時，需要修改XML配置文件并通過讀取該配置文件獲取相關(guān)信息，才能將氣體管路信息顯示出來，因此，耗時較長，在時間和空間上造成了一定的浪費(fèi)；并且，當(dāng)半導(dǎo)體制造設(shè)備需要配備的氣體種類較少時，界面邊緣處的提示信息很難起到提示作用。

發(fā)明內(nèi)容

基于此，有必要針對現(xiàn)有氣路系統(tǒng)顯示半導(dǎo)體制造設(shè)備配置的氣體相關(guān)信息耗時較長的問題，提供一種氣路界面顯示方法和系統(tǒng)。

為實現(xiàn)本發(fā)明目的提供的一種氣路界面顯示方法，包括如下步驟：

步驟S100，根據(jù)上位機(jī)所能配備的氣體種類總數(shù)和下位機(jī)所需氣體種類數(shù)，計算步長參數(shù)，并在氣路界面中第一路氣體管路的位置顯示所需氣體種類中第一種氣體的氣體管路信息；

步驟S200，檢測所述步長參數(shù)，當(dāng)所述步長參數(shù)大于或等于預(yù)設(shè)值時，控制所述氣路界面中氣體管路的位置以所述步長參數(shù)為間隔，均勻顯示所述所需氣體種類中其他氣體的所述氣體管路信息。

其中，所述預(yù)設(shè)值的取值為2。

其中，所述步驟S200包括如下步驟：

步驟S210，檢測所述步長參數(shù)；

步驟S220，當(dāng)所述步長參數(shù)大于或等于所述預(yù)設(shè)值時，控制所述氣路界面中第1加所述步長參數(shù)路氣體管路的位置顯示所述所需氣體種類中第二種氣體的所述氣體管路信息；

步驟S230，將N的值增大所述步長參數(shù)，將M的值增大1；其中，N為整數(shù)，且初始值為1與所述步長參數(shù)之和；M為整數(shù)，初始值為2；

步驟S240，控制所述氣路界面中所述第N路氣體管路的位置顯示所述所需氣體種類中第M種氣體的所述氣體管路信息。

其中，所述步驟S200還包括如下步驟：

步驟S250，檢測所述氣路界面是否顯示全部所述所需氣體種類的所述氣體管路信息；