[發明專利]氣路界面顯示方法和系統

有效

• 申請號: 201410393050.0
• 申請日: 2014-08-12
• 公開（公告）號: CN105446275B
• 公開（公告）日: 2018-05-25
• 發明（設計）人: 李蘭曉
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: G05B19/418
• 分類號: G05B19/418;H01L21/67
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 李芙蓉

1.一種氣路界面顯示方法，其特征在于，包括如下步驟：

步驟S100，根據上位機所能配備的氣體種類總數和下位機所需氣體種類數，計算步長參數，并在氣路界面中第一路氣體管路的位置顯示所需氣體種類中第一種氣體的氣體管路信息；

步驟S200，檢測所述步長參數，當所述步長參數大于或等于預設值時，控制所述氣路界面中氣體管路的位置以所述步長參數為間隔，均勻顯示所述所需氣體種類中其他氣體的所述氣體管路信息。

2.根據權利要求1所述的氣路界面顯示方法，其特征在于，所述預設值的取值為2。

3.根據權利要求2所述的氣路界面顯示方法，其特征在于，所述步驟S200包括如下步驟：

步驟S210，檢測所述步長參數；

步驟S220，當所述步長參數大于或等于所述預設值時，控制所述氣路界面中第1加所述步長參數路氣體管路的位置顯示所述所需氣體種類中第二種氣體的所述氣體管路信息；

步驟S230，將N的值增大所述步長參數，將M的值增大1；其中，N為整數，且初始值為1與所述步長參數之和；M為整數，初始值為2；

步驟S240，控制所述氣路界面中所述第N路氣體管路的位置顯示所述所需氣體種類中第M種氣體的所述氣體管路信息。

4.根據權利要求3所述的氣路界面顯示方法，其特征在于，所述步驟S200還包括如下步驟：

步驟S250，檢測所述氣路界面是否顯示全部所述所需氣體種類的所述氣體管路信息；

步驟S260，當所述氣路界面未顯示全部所述所需氣體種類的所述氣體管路信息時，返回執行所述步驟S230，直至所述氣路界面顯示全部所述所需氣體種類的所述氣體管路信息。

5.根據權利要求1至4任一項所述的氣路界面顯示方法，其特征在于，所述步驟S100包括如下步驟：

讀取所述上位機所能配備的所述氣體種類總數和所述所需氣體種類數；

根據：計算所述步長參數。

6.根據權利要求5所述的氣路界面顯示方法，其特征在于，還包括如下步驟：

檢測所述步長參數，當所述步長參數小于所述預設值時，控制所述氣路界面中所述氣體管路的位置依次顯示所述所需氣體種類中各氣體的所述氣體管路信息。

7.一種氣路界面顯示系統，其特征在于，包括下位機通道、計算控制模塊和檢測處理模塊，其中：

所述下位機通道，設置在下位機工藝腔室的通道中，用于標識工藝腔室的所需氣體種類數；

所述計算控制模塊，用于根據上位機所能配備的氣體種類總數和下位機所需氣體種類數，計算步長參數，并在氣路界面中第一路氣體管路的位置顯示所需氣體種類中第一種氣體的氣體管路信息；

所述檢測處理模塊，用于檢測所述步長參數，當所述步長參數大于或等于預設值時，控制所述氣路界面中氣體管路的位置以所述步長參數為間隔，均勻顯示所述所需氣體種類中其他氣體的所述氣體管路信息。

8.根據權利要求7所述的氣路界面顯示系統，其特征在于，所述檢測處理模塊包括第一檢測單元、第一控制單元、第一設置單元和第二控制單元，其中：

所述第一檢測單元，用于檢測所述步長參數；

所述第一控制單元，用于當所述步長參數大于或等于所述預設值時，控制所述氣路界面中第1加所述步長參數路氣體管路的位置顯示所述所需氣體種類中第二種氣體的所述氣體管路信息；

所述第一設置單元，用于將N的值增大所述步長參數，將M的值增大1；其中，N為整數，且初始值為1與所述步長參數之和；M為整數，初始值為2；

所述第二控制單元，用于控制所述氣路界面中所述第N路氣體管路的位置顯示所述所需氣體種類中第M種氣體的所述氣體管路信息。