[發(fā)明專利]一種高真空微量氣體自動進樣系統(tǒng)及其使用方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410391612.8
• 申請日: 2014-08-11
• 公開（公告）號: CN104142364B
• 公開（公告）日: 2016-11-30
• 發(fā)明（設計）人: 李立武;國連杰;夏燕青;妥進才
• 申請（專利權）人: 中國科學院地質與地球物理研究所蘭州油氣資源研究中心
• 主分類號: G01N27/62
• 分類號: G01N27/62
• 代理公司: 蘭州中科華西專利代理有限公司 62002
• 代理人: 李艷華

1.一種高真空微量氣體自動進樣系統(tǒng)，其特征在于：該系統(tǒng)包括自動控制裝置、真空主管線（18）及儲樣罐Ⅰ（8）、儲樣罐Ⅱ（9）、金屬漏孔（3）；所述真空主管線（18）上設有進樣口（1），其前端伸入高真空密封的氣體裝置（7）中，其末端通過所述金屬漏孔（3）與高真空質譜儀相連，并與所述儲樣罐Ⅰ（8）、所述儲樣罐Ⅱ（9）相連；所述進樣口（1）與所述儲樣罐Ⅰ（8）之間的所述真空主管線（18）上設有真空支管Ⅰ（19）；所述儲樣罐Ⅰ（8）與所述儲樣罐Ⅱ（9）之間的所述真空主管線（18）上設有真空支管Ⅱ（20）；所述真空支管Ⅰ（19）的末端與所述真空支管Ⅱ（20）相接，該真空支管Ⅱ（20）的末端連有分子泵（5）；所述分子泵（5）連有機械泵（6）；所述進樣口（1）與所述真空支管Ⅰ（19）之間的所述真空主管線（18）上設有氣動高真空閥Ⅵ（15）；所述真空支管Ⅰ（19）上設有氣動高真空閥Ⅲ（12）；所述真空支管Ⅰ（19）與所述儲樣罐Ⅰ（8）之間的所述真空主管線（18）上依次設有氣動高真空閥Ⅴ（14）、氣動高真空閥Ⅱ（11）；所述真空支管Ⅱ（20）上設有氣動高真空閥Ⅳ（13）；所述儲樣罐Ⅰ（8）通過氣動高真空閥Ⅶ（16）與所述真空主管線（18）相接；所述儲樣罐Ⅱ（9）通過氣動高真空閥Ⅷ（17）與所述真空主管線（18）相接；所述儲樣罐Ⅱ（9）與所述金屬漏孔（3）之間的所述真空主管線（18）上設有氣動高真空閥Ⅰ（10）；所述自動控制裝置包括設有RS232接口（24）的計算機（21）、空氣壓縮機（22）、繼電器板（23）、電源（26）；所述RS232接口（24）與所述繼電器板（23）相連，該繼電器板（23）分別連有SV1~SV8共計8個電磁閥（25）；所述8個電磁閥（25）分別與所述空氣壓縮機（22）和所述電源（26）相連；所述8個電磁閥（25）分別與所述氣動高真空閥Ⅰ（10）、氣動高真空閥Ⅱ（11）、氣動高真空閥Ⅲ（12）、氣動高真空閥Ⅳ（13）、氣動高真空閥Ⅴ（14）、氣動高真空閥Ⅵ（15）、氣動高真空閥Ⅶ（16）、氣動高真空閥Ⅷ（17）一一對應相連。

2.如權利要求1所述的一種高真空微量氣體自動進樣系統(tǒng)，其特征在于：所述分子泵（5）與所述機械泵（6）之間設有低真空計（4）。

3.如權利要求1所述的一種高真空微量氣體自動進樣系統(tǒng)，其特征在于：所述分子泵（5）無負載時入口壓強小于1×10^-6Pa。

4.如權利要求1所述的一種高真空微量氣體自動進樣系統(tǒng)，其特征在于：與所述氣動高真空閥Ⅷ（17）相對的所述真空主管線（18）的另一側設有薄膜真空計（2）。

5.如權利要求1所述的一種高真空微量氣體自動進樣系統(tǒng)，其特征在于：所述金屬漏孔（3）包括凹法蘭（31）和凸法蘭（32）；所述凹法蘭（31）與所述凸法蘭（32）之間設有帶孔金屬墊片。