[發明專利]一種折射率連續可調的透明膜層材料的制備方法

在審

• 申請號: 201410390311.3
• 申請日: 2014-08-11
• 公開（公告）號: CN104195530A
• 公開（公告）日: 2014-12-10
• 發明（設計）人: 王廣才;趙廣澍;張曉丹;趙穎
• 申請（專利權）人: 南開大學
• 主分類號: C23C18/00
• 分類號: C23C18/00
• 代理公司: 天津佳盟知識產權代理有限公司 12002
• 代理人: 侯力

1.一種折射率連續可調透明膜層材料的制備方法，其特征在于：通過制備兩種高、低折射率的前驅液，控制兩種高、低折射率鍍膜前驅液的混合比例，獲得不同折射率的膜層，并通過改變混合比例可調節膜層的折射率值，包括如下步驟：

1）將正硅酸乙酯、氨水、無水乙醇和去離子水按照體積比為3：1-4：150-250：1-6混合，然后在磁力攪拌機上連續攪拌至少10個小時，獲得含Si低分子、粘度值為1.2-3.0mPa·s的低折射率前驅液A；

2）將鈦酸丁酯、乙酰丙酮、無水乙醇和去離子按照體積比為1：0.5-1.5：20-60：0.5-1.5混合，然后在磁力攪拌機上連續攪拌至少5個小時，得到含Ti低分子、粘度值為1.3-2.0mPa·s的高折射率前驅液B；

3）將前驅液A和前驅液B按照體積比為0-10：1混合，在磁力攪拌機上連續攪拌至少5個小時，得到粘度值為1.4~6.0mPa·s、折射率為1.2-2.3的鍍膜前驅液C；

4）采用鍍膜法在玻璃、硅片、塑料、陶瓷或金屬襯底上，利用鍍膜前驅液C制備折射率為1.2-2.3、厚度為10-500納米的透明膜層，退火后即可制得目標物透明膜層材料。

2.根據權利要求1所述折射率連續可調透明膜層材料的制備方法，其特征在于：所述襯底材料為玻璃、塑料或其它所有需要沉積光學薄膜的器件表面。

3.根據權利要求1所述折射率連續可調透明膜層材料的制備方法，其特征在于：所述鍍膜法為提拉法、勻膠法、輥涂法、超聲噴霧法或空氣噴霧法；襯底溫度在采用提拉法、勻膠法或輥涂法時為0-150℃，在采用超聲噴霧法或空氣噴霧法時為0-500℃且襯底溫度均不得高于襯底材料的熔點。

4.根據權利要求1所述折射率連續可調透明膜層材料的制備方法，其特征在于：所述透明膜層的退火方法為馬佛爐中退火法、真空退火法或非易燃氣體保護退火法，退火溫度為室溫-650℃且低于襯底熔化溫度，退火時間為5-60分鐘。