[發(fā)明專利]ITO導(dǎo)電玻璃及其制備方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410387915.2
• 申請(qǐng)日: 2014-08-07
• 公開（公告）號(hào): CN104166285A
• 公開（公告）日: 2014-11-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉玉華;方鳳軍;陳立;譚偉;杜曉峰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 宜昌南玻顯示器件有限公司
• 主分類號(hào): G02F1/135
• 分類號(hào): G02F1/135
• 代理公司: 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 44224
• 代理人: 生啟

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種用于LCD的無(wú)色高透ITO導(dǎo)電玻璃及其制備方法。

背景技術(shù)

ITO導(dǎo)電玻璃是在鈉鈣基片或硅硼基基片玻璃的基礎(chǔ)上，利用磁控濺射的方法依次沉積二氧化硅(SiO₂)和氧化銦錫(通稱ITO)薄膜加工制作成的。

ITO是一種具有良好透明導(dǎo)電性能的金屬化合物，具有禁帶寬、可見光譜區(qū)光透射率高和電阻率低等特性，ITO導(dǎo)電玻璃廣泛地應(yīng)用于平板顯示器件、太陽(yáng)能電池、特殊功能窗口涂層及其他光電器件領(lǐng)域，是目前LCD、PDP、OLED、觸摸屏等各類平板顯示器件廣泛采用的透明導(dǎo)電電極材料。作為平板顯示器件的關(guān)鍵基礎(chǔ)材料，ITO導(dǎo)電玻璃其隨著平板顯示器件的不斷更新和升級(jí)而具有更加廣闊的市場(chǎng)空間。

LCD用ITO導(dǎo)電玻璃多采用在玻璃上鍍SiO₂+ITO兩層膜結(jié)構(gòu)，最高透過(guò)率達(dá)不到90％，且ITO導(dǎo)電玻璃的透過(guò)率隨ITO膜層厚度變化而呈現(xiàn)周期性變化，在個(gè)別ITO膜層厚度時(shí)透過(guò)率低至77％左右，影響LCD的視覺效果。

發(fā)明內(nèi)容

基于此，有必要提供一種在使用時(shí)視覺效果較好的ITO導(dǎo)電玻璃及其制備方法。

一種ITO導(dǎo)電玻璃，用于LCD，包括依次層疊的玻璃、第一低折射率層、第一高折射率層、第二低折射率層、第二高折射率層、第三低折射率層以及ITO層；

所述第一低折射率層的材料為SiO₂或MgF₂；

所述第一高折射率層的材料為Nb₂O₅、TiO₂、ZrO₂或Si₃N₄；

所述第二低折射率層的材料為SiO₂或MgF₂；

所述第二高折射率層的材料為Nb₂O₅、TiO₂、ZrO₂或Si₃N₄；

所述第三低折射率層的材料為SiO₂或MgF₂；

所述第一低折射率層的厚度為

所述第一高折射率層的厚度為

在一個(gè)實(shí)施例中，所述第一低折射率層的厚度為

在一個(gè)實(shí)施例中，所述第一高折射率層的厚度為

在一個(gè)實(shí)施例中，所述第二低折射率層的厚度為

在一個(gè)實(shí)施例中，所述第二高折射率層的厚度為

在一個(gè)實(shí)施例中，所述第三低折射率層的厚度為

在一個(gè)實(shí)施例中，所述ITO導(dǎo)電玻璃的面電阻為5歐姆～7歐姆、10歐姆～15歐姆、12歐姆～17歐姆、14歐姆～20歐姆、17歐姆～25歐姆、20歐姆～30歐姆、30歐姆～45歐姆、35歐姆～50歐姆、40歐姆～60歐姆、60歐姆～80歐姆、80歐姆～120歐姆、100歐姆～150歐姆、125歐姆～200歐姆等。

在一個(gè)實(shí)施例中，所述ITO層的厚度為

一種ITO導(dǎo)電玻璃的制備方法，包括如下步驟：

提供玻璃，清洗后干燥；

在清洗后的所述玻璃表面依次磁控濺射沉積第一低折射率層、第一高折射率層、第二低折射率層、第二高折射率層、第三低折射率層和ITO層，得到所述ITO導(dǎo)電玻璃，其中，所述第一低折射率層的材料為SiO₂或MgF₂，所述第一高折射率層的材料為Nb₂O₅、TiO₂、ZrO₂或Si₃N₄，所述第二低折射率層的材料為SiO₂或MgF₂，所述第二高折射率層的材料為Nb₂O₅、TiO₂、ZrO₂或Si₃N₄，所述第三低折射率層的材料為SiO₂或MgF₂，所述第一低折射率層的厚度為所述第一高折射率層的厚度為