[發明專利]ITO導電玻璃及其制備方法

在審

• 申請號: 201410387915.2
• 申請日: 2014-08-07
• 公開（公告）號: CN104166285A
• 公開（公告）日: 2014-11-26
• 發明（設計）人: 劉玉華;方鳳軍;陳立;譚偉;杜曉峰
• 申請（專利權）人: 宜昌南玻顯示器件有限公司
• 主分類號: G02F1/135
• 分類號: G02F1/135
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 生啟

1.一種ITO導電玻璃，用于LCD，其特征在于，包括依次層疊的玻璃、第一低折射率層、第一高折射率層、第二低折射率層、第二高折射率層、第三低折射率層以及ITO層；

所述第一低折射率層的材料為SiO₂或MgF₂；

所述第一高折射率層的材料為Nb₂O₅、TiO₂、ZrO₂或Si₃N₄；

所述第二低折射率層的材料為SiO₂或MgF₂；

所述第二高折射率層的材料為Nb₂O₅、TiO₂、ZrO₂或Si₃N₄；

所述第三低折射率層的材料為SiO₂或MgF₂；

所述第一低折射率層的厚度為

所述第一高折射率層的厚度為

2.根據權利要求1所述的ITO導電玻璃，其特征在于，所述第一低折射率層的厚度為

3.根據權利要求1所述的ITO導電玻璃，其特征在于，所述第一高折射率層的厚度為

4.根據權利要求1所述的ITO導電玻璃，其特征在于，所述第二低折射率層的厚度為

5.根據權利要求1所述的ITO導電玻璃，其特征在于，所述第二高折射率層的厚度為

6.根據權利要求1所述的ITO導電玻璃，其特征在于，所述第三低折射率層的厚度為

7.根據權利要求1所述的ITO導電玻璃，其特征在于，所述ITO導電玻璃的面電阻為5歐姆～7歐姆、10歐姆～15歐姆、12歐姆～17歐姆、14歐姆～20歐姆、17歐姆～25歐姆、20歐姆～30歐姆、30歐姆～45歐姆、35歐姆～50歐姆、40歐姆～60歐姆、60歐姆～80歐姆、80歐姆～120歐姆、100歐姆～150歐姆或125歐姆～200歐姆。

8.根據權利要求1～7中任一項所述的ITO導電玻璃，其特征在于，所述ITO層的厚度為

9.一種ITO導電玻璃的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：

提供玻璃，清洗后干燥；

在清洗后的所述玻璃表面依次磁控濺射沉積第一低折射率層、第一高折射率層、第二低折射率層、第二高折射率層、第三低折射率層和ITO層，得到所述ITO導電玻璃，其中，所述第一低折射率層的材料為SiO₂或MgF₂，所述第一高折射率層的材料為Nb₂O₅、TiO₂、ZrO₂或Si₃N₄，所述第二低折射率層的材料為SiO₂或MgF₂，所述第二高折射率層的材料為Nb₂O₅、TiO₂、ZrO₂或Si₃N₄，所述第三低折射率層的材料為SiO₂或MgF₂，所述第一低折射率層的厚度為所述第一高折射率層的厚度為

10.根據權利要求9所述的ITO導電玻璃的制備方法，其特征在于，所述ITO導電玻璃的面電阻為5歐姆～7歐姆、10歐姆～15歐姆、12歐姆～17歐姆、14歐姆～20歐姆、17歐姆～25歐姆、20歐姆～30歐姆、30歐姆～45歐姆、35歐姆～50歐姆、40歐姆～60歐姆、60歐姆～80歐姆、80歐姆～120歐姆、100歐姆～150歐姆或125歐姆～200歐姆。