[發明專利]一種阻隔膜層、具其的光電器件及光電器件的制作方法在審
| 申請號: | 201410381466.0 | 申請日: | 2014-08-05 |
| 公開(公告)號: | CN104157705A | 公開(公告)日: | 2014-11-19 |
| 發明(設計)人: | 盧永春;喬勇;程鴻飛;先建波 | 申請(專利權)人: | 京東方科技集團股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L31/02 | 分類號: | H01L31/02;H01L31/18;H01L51/52;H01L51/56 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 阻隔 光電 器件 制作方法 | ||
技術領域
本發明涉及電子器件領域,尤其涉及一種阻隔膜層、具其的光電器件及光電器件的制作方法。
背景技術
光電器件主要是指利用半導體光敏特性工作的光電導器件或利用半導體光生伏特效應工作的光電池和半導體發光器件。如光導管、光電池、發光二極管、光電晶體管、熱敏電阻等,其廣泛應用于各領域。
光電器件中大部分需采用阻隔膜層以阻擋光電器件與空氣和水蒸氣的接觸,提高器件的壽命。
以有機發光顯示器件為例,其可應用于顯示領域,用于形成有機發光顯示器。有機發光顯示器件壽命降低的主要因素有三方面:首先,有機發光器件中電極多采用如Al、Mg、Ca等的金屬材料,一般比較活潑,易在空氣中或其他含有氧的氣氛中受到侵蝕;其次,氧氣與發光層發生氧化作用所生成的羥基化合物是有效的淬滅劑,會顯著降低有機發光顯示器件的發光量子效率;再次,有機發光器件工作時產生的熱量會進一步加劇器件中的發光材料、電極材料等在空氣中的老化。
因此,現有一般利用氮化硅等形成阻隔膜層對有機發光器件進行封裝,隔絕空氣和水蒸氣,就可以大大延長器件壽命,但現有的阻隔膜層對光電器件的封裝效果一般。
發明內容
本發明的實施例提供一種阻隔膜層、具其的光電器件及光電器件的制作方法,解決了現有的阻隔膜層封裝效果不佳的問題。
為達到上述目的,本發明的實施例采用如下技術方案:
本發明實施例提供了一種阻隔膜層,形成所述阻隔膜層的材料包括拓撲絕緣體,所述阻隔膜層在圖案化的基底表面形成。
本發明實施例提供了一種光電器件,包括襯底以及形成在所述襯底第一表面上的功能層,還包括形成在所述襯底第一表面上的至少一層阻隔膜層,其中,所述阻隔膜層為本發明實施例提供的任一所述的阻隔膜層。
本發明實施例提供了一種光電器件的制作方法,包括:
利用拓撲絕緣體形成阻隔膜層圖案;
在襯底的第一表面上形成多層結構,所述多層結構包括功能層及由阻隔膜層圖案形成的阻隔膜層。
本發明的實施例提供一種阻隔膜層、具其的光電器件及光電器件的制作方法,形成阻隔膜層的材料包括拓撲絕緣體,阻隔膜層不僅阻隔水汽和氧氣的阻隔效果好,且有利于其他器件的散熱和防靜電的作用。
附圖說明
為了更清楚地說明本發明實施例或現有技術中的技術方案,下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖僅僅是本發明的一些實施例,對于本領域普通技術人員來講,在不付出創造性勞動的前提下,還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。
圖1為本發明實施例提供的一種光電器件示意圖;
圖2為本發明實施例提供的另一種光電器件示意圖;
圖3為本發明實施例提供的另一種光電器件示意圖;
圖4為本發明實施例提供的一種光電器件的制作方法示意圖;
圖5為本發明實施例提供的一種利用拓撲絕緣體形成阻隔膜層圖案的示意圖;
圖6為本發明實施例提供的一種在襯底的第一表面上形成多層結構示意圖;
圖7為本發明實施例提供的另一種在襯底的第一表面上形成多層結構示意圖;
圖8為本發明實施例提供的另一種光電器件的制作方法示意圖;
圖9為本發明實施例提供的一種具體的光電器件的制作方法示意圖。
附圖標記:
11-襯底;12-功能層;13-密封膠;14-第一阻隔膜層;15-第二阻隔膜層;16-第三阻隔膜層;17-絕緣層。
具體實施方式
下面將結合本發明實施例中的附圖,對本發明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例僅僅是本發明一部分實施例,而不是全部的實施例。基于本發明中的實施例,本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本發明保護的范圍。
本發明實施例提供了一種阻隔膜層,其中,形成阻隔膜層的材料包括拓撲絕緣體,阻隔膜層在圖案化的基底表面形成的。
形成阻隔膜層的材料包括拓撲絕緣體,即阻隔膜層可以僅由拓撲絕緣體形成,還可以是由拓撲絕緣體以及聚合物等形成的混合材料形成。本發明實施例以阻隔膜層由拓撲絕緣體形成為例進行詳細說明。
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H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射,或微粒輻射敏感的,并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的,或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導體器件;專門適用于制造或處理這些半導體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的,例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的,一個或多個電光源,如場致發光光源在結構上相連的,并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的





