[發(fā)明專利]一種振膜的生產(chǎn)方法

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• 申請?zhí)枺?/td>: 201410381315.5
• 申請日: 2014-08-05
• 公開（公告）號: CN105323698A
• 公開（公告）日: 2016-02-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉澤宇;李志遠(yuǎn);袁媛
• 申請（專利權(quán)）人: 美特科技（蘇州）有限公司
• 主分類號: H04R31/00
• 分類號: H04R31/00
• 代理公司: 蘇州創(chuàng)元專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 32103
• 代理人: 孫仿衛(wèi);陸彩霞

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及揚聲器領(lǐng)域，特別是一種振膜及其生產(chǎn)方法。

背景技術(shù)

振膜即振動的膜片，它的名字體現(xiàn)了其工作狀態(tài)：振動，以及其某些物理特征：薄。其作為振動系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于麥克風(fēng)及揚聲器。隨著小型電子裝置的發(fā)展，振膜的設(shè)計也趨向微型化。雖然現(xiàn)有的制造振膜的方法制得了具有比較滿意的參數(shù)的振膜，但在靈敏度、強度、重量等方面仍需進(jìn)一步改進(jìn)和加強。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是提供一種能夠是實現(xiàn)微型化生產(chǎn)及具有高靈敏度的一種振膜及其生產(chǎn)方法。

為達(dá)到上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是：一種振膜的生產(chǎn)方法，其包括以下步驟：

1）在石墨烯薄膜上附著至少兩個振膜環(huán)，所述振膜環(huán)的一端面被所述平面石墨烯薄膜覆蓋；

2）沿著所述振膜環(huán)的外緣裁切所述石墨烯薄膜，得到至少兩個振膜，所述振膜由所述振膜環(huán)組成的振膜邊緣，裁切后的所述石墨烯薄膜組成振膜薄膜。

優(yōu)選地，步驟1）中所述石墨烯薄膜根據(jù)所述振膜環(huán)的形狀沖切成至少兩個部分相連的石墨烯薄膜單元，通過載具將所述振膜環(huán)固定附著到對應(yīng)的所述石墨烯薄膜單元之上。

優(yōu)選地，步驟1）中根據(jù)所述振膜環(huán)的形狀制作至少兩個部分相連的銅質(zhì)的基底單元，采用化學(xué)氣相沉積法在其表面生長得到至少兩個部分相連的石墨烯薄膜單元，轉(zhuǎn)移生長而成的部分相連的石墨烯薄膜單元并通過載具將所述振膜環(huán)固定附著到對應(yīng)的所述石墨烯薄膜單元之上。

優(yōu)選地，步驟1）中所述石墨烯薄膜可通過多次PVD（物理氣相沉積）、CVD（化學(xué)氣相沉積）的方法實現(xiàn)石墨烯薄膜與真空鍍膜的疊加組合，從而實現(xiàn)對石墨烯薄膜的改性。

優(yōu)選地，所述振膜環(huán)與所述石墨烯薄膜的連接方式為膠水粘合。

優(yōu)選地，步驟1中的振膜環(huán)為銅環(huán)，因為石墨烯具有自我修復(fù)的能力，當(dāng)振膜環(huán)為銅環(huán)等其他可用于生長石墨烯的金屬時，亦可透過化學(xué)氣相沉積法(CVD)制程讓銅環(huán)表面生長石墨烯，然后借助石墨烯自我修復(fù)能力（碳原子具有結(jié)合傾向）讓石墨烯薄膜單元連接在一起。

進(jìn)一步優(yōu)選地，所述步驟1）包括以下步驟：

a）在板狀的銅基材的一個表面上采用化學(xué)氣相沉積法附上石墨烯薄膜；

b）在銅基材的另一個表面上附上一層感光膜，根據(jù)振膜的形狀以及需要的振膜環(huán)的寬度制作菲林片，將菲林片附在感光膜上方，并曝光；

c）去掉菲林片并洗去感光膜未感光的部分，將銅基材放入蝕刻液中，腐蝕掉不需要的銅基材部分；

d）去掉剩下的感光膜，得到附著在石墨烯薄膜上的銅環(huán)。

由于上述技術(shù)方案運用，本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有下列優(yōu)點：

由于本發(fā)明采用金屬環(huán)與石墨烯薄膜制成振膜，能夠提高振膜的靈敏度、強度，同時，將采用曝光、顯影等加工工藝，能夠滿足微型化生產(chǎn)的需求。

附圖說明

附圖1為實施例一石墨烯薄膜示意圖；

附圖2為實施例一裁切前的振膜示意圖；

附圖3為本發(fā)明所制造的振膜示意圖；

附圖4為實施例二裁切前的振膜示意圖

附圖5為實施例三中菲林片圖案示意圖；

附圖6為實施例三蝕刻后的石墨烯薄膜與銅環(huán)示意圖。

以上附圖中：1、振膜環(huán)；2、振膜薄膜；3、石墨烯薄膜單元；4、銅環(huán)；5、菲林片；6、石墨烯薄膜。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖所示的實施例對本發(fā)明作進(jìn)一步描述：

實施例一：參見附圖1-3所示，一種振膜的生產(chǎn)方法，其包括以下步驟：

a）石墨烯薄膜根據(jù)振膜環(huán)1的形狀沖切成至少兩個部分相連的石墨烯薄膜單元3（如附圖1所示）；

b）通過載具將振膜環(huán)1固定附著到對應(yīng)的石墨烯薄膜單元3之上（如附圖2所示）；

c）沿著振膜環(huán)1的外緣裁切石墨烯薄膜，得到至少兩個振膜，振膜包括振膜環(huán)1組成的振膜邊緣，裁切后的石墨烯薄膜組成振膜薄膜2（如附圖3所示）。