[發(fā)明專利]一種振膜的生產(chǎn)方法

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• 申請?zhí)枺?/td>: 201410381315.5
• 申請日: 2014-08-05
• 公開（公告）號: CN105323698A
• 公開（公告）日: 2016-02-10
• 發(fā)明（設計）人: 劉澤宇;李志遠;袁媛
• 申請（專利權）人: 美特科技（蘇州）有限公司
• 主分類號: H04R31/00
• 分類號: H04R31/00
• 代理公司: 蘇州創(chuàng)元專利商標事務所有限公司 32103
• 代理人: 孫仿衛(wèi);陸彩霞

1.一種振膜的生產(chǎn)方法，其包括以下步驟：

1）在石墨烯薄膜上附著至少兩個振膜環(huán)，所述振膜環(huán)的一端面被所述平面石墨烯薄膜覆蓋；

2）沿著所述振膜環(huán)的外緣裁切所述石墨烯薄膜，得到至少兩個振膜，所述振膜由所述振膜環(huán)組成的振膜邊緣，裁切后的所述石墨烯薄膜組成振膜薄膜。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種振膜的生產(chǎn)方法，其特征在于：步驟1）中所述石墨烯薄膜根據(jù)所述振膜環(huán)的形狀沖切成至少兩個部分相連的石墨烯薄膜單元，通過載具將所述振膜環(huán)固定附著到對應的所述石墨烯薄膜單元之上。

3.根據(jù)權利要求1所述的一種振膜的生產(chǎn)方法，其特征在于：步驟1）中根據(jù)所述振膜環(huán)的形狀制作至少兩個部分相連的銅質(zhì)的基底單元，采用化學氣相沉積法在其表面生長得到至少兩個部分相連的石墨烯薄膜單元，轉(zhuǎn)移生長而成的部分相連的石墨烯薄膜單元并通過載具將所述振膜環(huán)固定附著到對應的所述石墨烯薄膜單元之上。

4.根據(jù)權力要求1所述的一種振膜的生產(chǎn)方法，其特征在于：所述石墨烯薄膜可通過多次PVD或者CVD的方法實現(xiàn)石墨烯薄膜與真空鍍膜的疊加組合。

5.根據(jù)權利要求1所述的一種振膜的生產(chǎn)方法，其特征在于：所述振膜環(huán)與所述石墨烯薄膜的連接方式為化學氣相沉積法或膠水粘合。

6.根據(jù)權利要求1所述的一種振膜的生產(chǎn)方法，其特征在于：步驟1中的振膜環(huán)為銅環(huán)。

7.根據(jù)權利要求6所述的一種振膜的生產(chǎn)方法，其特征在于：所述步驟1）包括以下步驟：

a）在板狀的銅基材的一個表面上采用化學氣相沉積法附上石墨烯薄膜；

b）在銅基材的另一個表面上附上一層感光膜，根據(jù)振膜的形狀以及需要的振膜環(huán)的寬度制作菲林片，將菲林片附在感光膜上方，并曝光；

c）去掉菲林片并洗去感光膜未感光的部分，將銅基材放入蝕刻液中，腐蝕掉不需要的銅基材部分；

d）去掉剩下的感光膜，得到附著在石墨烯薄膜上的銅環(huán)。