[發(fā)明專利]靜態(tài)存儲(chǔ)器的在線失效分析方法及在線電子束檢測(cè)設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410377359.0
• 申請(qǐng)日: 2014-08-01
• 公開（公告）號(hào): CN104103542B
• 公開（公告）日: 2019-07-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 倪棋梁;陳宏璘;龍吟;郭明升
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/66
• 分類號(hào): H01L21/66
• 代理公司: 上海天辰知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 31275
• 代理人: 吳世華;林彥之

1.一種靜態(tài)存儲(chǔ)器的在線失效分析方法，其特征在于，利用在線電子束檢測(cè)設(shè)備對(duì)所述靜態(tài)存儲(chǔ)器進(jìn)行在線失效分析，所述在線電子束檢測(cè)設(shè)備具有一腔體，其包括：

將不同類型的探針安裝到在線電子束檢測(cè)設(shè)備的腔體中；

在晶圓上的靜態(tài)存儲(chǔ)器上制備出接觸孔后，將所述晶圓置于在線電子束檢測(cè)設(shè)備的腔體中；

利用在線電子束檢測(cè)設(shè)備對(duì)所述接觸孔進(jìn)行掃描并獲得所述靜態(tài)存儲(chǔ)器中所述接觸孔的圖像信息；

根據(jù)所述接觸孔的圖像信息找出產(chǎn)生缺陷的接觸孔；

根據(jù)所述產(chǎn)生缺陷的接觸孔的類型來(lái)選擇與之相對(duì)應(yīng)的所述探針；

所述在線電子束檢測(cè)設(shè)備控制所選擇的探針與相應(yīng)的所述產(chǎn)生缺陷的接觸孔相接觸，并進(jìn)行電性能檢測(cè)；

根據(jù)所述產(chǎn)生缺陷的接觸孔在所述靜態(tài)存儲(chǔ)器單元中的功能，所述在線電子束檢測(cè)設(shè)備將所述探針進(jìn)行組合來(lái)檢測(cè)所述功能并進(jìn)行失效分析；

檢測(cè)到所述功能失效，則所述產(chǎn)生缺陷的接觸孔是導(dǎo)致所述靜態(tài)存儲(chǔ)器失效的原因。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靜態(tài)存儲(chǔ)器的在線失效分析方法，其特征在于，所述在線電子束檢測(cè)設(shè)備具有探針讀取模塊，所述在線失效分析方法包括：

將不同類型的探針安裝到在線電子束檢測(cè)設(shè)備的腔體中；

在晶圓的靜態(tài)存儲(chǔ)器上制備出接觸孔后，將所述晶圓置于在線電子束檢測(cè)設(shè)備的腔體中；

利用在線電子束檢測(cè)設(shè)備對(duì)所述接觸孔進(jìn)行掃描并獲得所述靜態(tài)存儲(chǔ)器中所述接觸孔的圖像信息；

所述在線電子束檢測(cè)設(shè)備將所述將接觸孔的圖像信息存儲(chǔ)到所述探針讀取模塊中；

根據(jù)所述接觸孔的圖像信息找出產(chǎn)生缺陷的接觸孔；

所述探針讀取模塊根據(jù)所述產(chǎn)生缺陷的接觸孔的類型來(lái)選擇與之相對(duì)應(yīng)的所述探針；

所述探針讀取模塊控制所選擇的探針與相應(yīng)的所述產(chǎn)生缺陷的接觸孔相接觸，并進(jìn)行電性能檢測(cè)；

根據(jù)所述產(chǎn)生缺陷的接觸孔在所述靜態(tài)存儲(chǔ)器單元中的功能，所述探針讀取模塊將所述探針進(jìn)行組合來(lái)檢測(cè)所述功能并進(jìn)行失效分析；

所述探針讀取模塊記錄所述探針組合的位置信息；

對(duì)下一個(gè)相同類型的產(chǎn)生缺陷的所述接觸孔，所述探針讀取模塊自動(dòng)調(diào)取所述探針組合的位置信息來(lái)控制所述探針進(jìn)行組合。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的靜態(tài)存儲(chǔ)器的在線失效分析方法，其特征在于，對(duì)同一批次的晶圓的失效分析完成后，所述探針讀取模塊控制所述探針恢復(fù)到原有位置。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的靜態(tài)存儲(chǔ)器的在線失效分析方法，其特征在于，在所述利用在線電子束檢測(cè)設(shè)備對(duì)所述接觸孔進(jìn)行掃描之前，或在所述探針讀取模塊根據(jù)所述產(chǎn)生缺陷的接觸孔的類型來(lái)選擇與之相對(duì)應(yīng)的所述探針之前，在所述探針讀取模塊中預(yù)存儲(chǔ)所述接觸孔的各個(gè)類型；所述探針讀取模塊根據(jù)所預(yù)存儲(chǔ)的所述接觸孔的類型，確定所述產(chǎn)生缺陷的接觸孔的類型。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靜態(tài)存儲(chǔ)器的在線失效分析方法，其特征在于，所述找出產(chǎn)生缺陷的接觸孔包括：首先，設(shè)定所述接觸孔的圖像信息中的最小重復(fù)單元；然后，比較所述最小重復(fù)單元中的各個(gè)接觸孔，同一位置上產(chǎn)生亮度變化的接觸孔即為所述產(chǎn)生缺陷的接觸孔。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靜態(tài)存儲(chǔ)器的在線失效分析方法，其特征在于，所述功能為存儲(chǔ)器功能，所述探針組合包括檢測(cè)所述存儲(chǔ)器功能的組合，所述探針組合與所述存儲(chǔ)器的電路等效。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靜態(tài)存儲(chǔ)器的在線失效分析方法，其特征在于，所述功能為反向器功能，所述探針組合包括檢測(cè)所述反向器功能的組合，所述探針組合與所述反向器的電路等效。

8.一種在線電子束檢測(cè)設(shè)備，其特征在于，所述在線電子束檢測(cè)設(shè)備包括：不同類型的探針，用于與晶圓上的靜態(tài)存儲(chǔ)器的接觸孔相接觸，或進(jìn)行組合后與所述接觸孔相接觸，利用該檢測(cè)設(shè)備對(duì)接觸孔進(jìn)行掃描并獲得靜態(tài)存儲(chǔ)器中的接觸孔的圖像信息，根據(jù)該圖像信息找出產(chǎn)生缺陷的接觸孔，根據(jù)產(chǎn)生缺陷的接觸孔的類型來(lái)選擇相應(yīng)的探針并控制所選擇的探針與產(chǎn)生缺陷的接觸孔相接觸，根據(jù)產(chǎn)生缺陷的接觸孔在靜態(tài)存儲(chǔ)器單元中的功能來(lái)將探針進(jìn)行組合以檢測(cè)該功能并進(jìn)行失效分析。