[發明專利]一種MEMS麥克風

有效

• 申請號: 201410374244.6
• 申請日: 2014-07-31
• 公開（公告）號: CN104105040A
• 公開（公告）日: 2014-10-15
• 發明（設計）人: 蔡孟錦;宋青林;潘昕
• 申請（專利權）人: 歌爾聲學股份有限公司
• 主分類號: H04R19/04
• 分類號: H04R19/04
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 王寶筠

1.一種MEMS麥克風，其特征在于，包括：

基底；

貫穿所述基底的聲腔；

設置在所述基底正面，位于所述聲腔四周的第一絕緣層；

設置在所述第一絕緣層表面，且覆蓋與所述聲腔相對的區域的設定形狀的振膜；

設置在所述振膜表面與所述第一絕緣層相對區域的第二絕緣層；

設置在所述第二絕緣層表面，且覆蓋所述振膜與所述聲腔相對區域的背極，所述背極形狀與所述振膜形狀相匹配；

其中，所述振膜的振動區域包括：加強筋區域以及包圍所述加強筋區域的紋膜區域；所述加強筋區域設置有與所述振動區域徑向平行的加強筋；所述紋膜區域設置有紋膜。

2.根據權利要求1所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述加強筋區域設置有多條加強筋，所述加強筋通過所述振動區域的中心，所述加強筋相對于所述中心對稱，且相鄰兩個加強筋之間的夾角相同。

3.根據權利要求1所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述加強筋區域設置有多條加強筋，所述加強筋的一端與所述振動區域的中心重合，任意相鄰兩個加強筋之間的夾角相同，任意兩條所述加強筋不在同一直線。

4.根據權利要求1所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述加強筋區域包括：中心圓形區域，所述中心圓形區域的圓心為所述振動區域的中心；所述加強筋區域設置有多條加強筋，所述加強筋的一端朝向所述中心且位于所述圓形區域的圓形邊緣，另一端背離所述中心；任意相鄰兩個加強筋之間的夾角相同。

5.根據權利要求4所述的MEMS麥克風，其特征在于，還包括：

設置在所述中心圓形區域的同心圓環結構加強筋。

6.根據權利要求1所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述加強筋是設置在所述振膜正面的加強筋凹槽，所述加強筋凹槽的延伸方向平行于所述振動區域徑向。

7.根據權利要求6所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述加強筋凹槽的寬度范圍為0.4μm-10μm，包括端點值；所述加強筋凹槽的深度范圍為0.1μm-20μm，包括端點值；所述加強筋凹槽之間的間距為0.4μm-10μm，包括端點值。

8.根據權利要求1所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述紋膜為設置在所述紋膜區域的紋膜凹槽。

9.根據權利要求8所述的MEMS麥克風，其特征在于，所述紋膜凹槽的寬度范圍為0.4μm-10μm，包括端點值；所述紋膜凹槽的深度范圍為0.1μm-20μm，包括端點值；所述紋膜凹槽的間距為0.4μm-10μm，包括端點值。