[發明專利]靶材加工裝置以及加工方法

有效

• 申請號: 201410369827.X
• 申請日: 2014-07-30
• 公開（公告）號: CN105331937B
• 公開（公告）日: 2018-04-13
• 發明（設計）人: 姚力軍;潘杰;相原俊夫;大巖一彥;王學澤;周建軍
• 申請（專利權）人: 合肥江豐電子材料有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司11227
• 代理人: 高靜,駱蘇華

1.一種靶材加工裝置，其特征在于，靶材包括一加工面以及相對于加工面的背面，所述靶材背面上開設有若干定位孔，所述靶材加工裝置包括：

夾具；

裝夾于夾具內的壓板，所述壓板包括與靶材的背面相配合的第一面，以及與所述第一面相對的第二面，所述第二面開設有貫穿所述壓板的固定孔，所述固定孔與至少一部分所述定位孔的位置相對應；

固定件，安置于所述壓板的第二面，用于通過所述固定孔和與所述固定孔相對應的定位孔將所述靶材固定于所述壓板上。

2.如權利要求1所述的靶材加工裝置，其特征在于，所述壓板的第一面設有若干用于放置于部分所述定位孔中以固定所述靶材的定位銷，其中，與所述定位銷位置相對應的定位孔為第一定位孔，與所述固定孔位置相對應的定位孔為第二定位孔。

3.如權利要求2所述的靶材加工裝置，其特征在于，所述第一定位孔設于所述靶材的邊緣。

4.如權利要求2所述的靶材加工裝置，其特征在于，所述靶材為三角形靶材，所述三角形靶材的角為圓角；所述第一定位孔設于所述三角形靶材的三個頂角。

5.如權利要求2所述的靶材加工裝置，其特征在于，所述位于第一定位孔中的定位銷以及位于固定孔和第二定位孔中的固定件不超出所述靶材的加工面。

6.如權利要求1所述的靶材加工裝置，其特征在于，所述壓板為矩形壓板。

7.如權利要求1所述的靶材加工裝置，其特征在于，所述固定孔為沉孔。

8.如權利要求1所述的靶材加工裝置，其特征在于，所述固定件為螺栓、鉚釘或者固定插銷。

9.一種靶材加工方法，其特征在于，所述靶材包括一加工面以及相對于加工面的背面，所述靶材背面上開設有若干孔，所述靶材加工方法包括：

提供壓板，定義壓板與靶材相配合的面為第一面，與所述第一面相對的一面為第二面；

在所述壓板的第二面開設固定孔，使所述固定孔的位置與所述靶材的至少一部分孔的位置相對應；

采用固定件通過所述固定孔和與所述固定孔相對應的定位孔將所述靶材固定于所述壓板；

對固定于壓板上的靶材進行加工。

10.如權利要求9所述的靶材加工方法，其特征在于，

提供壓板的步驟還包括：在所述第一面設置若干定位銷；

將所述靶材固定于所述壓板時，使所述定位銷位于靶材中與所述定位銷位置相對應的孔內。