[發(fā)明專利]涂膠設(shè)備及其框架

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410365925.6
• 申請日: 2014-07-29
• 公開（公告）號: CN105321842B
• 公開（公告）日: 2019-09-27
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 雷強;金一諾;張懷東;王堅;王暉
• 申請（專利權(quán)）人: 盛美半導體設(shè)備(上海)有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;G03F7/16
• 代理公司: 上海專利商標事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 張振軍

本發(fā)明提供了一種涂膠設(shè)備及其框架，所述框架的側(cè)壁、頂面和底面分別由多條橫梁和縱梁拼接而成，所述橫梁和縱梁相互垂直，所述設(shè)備框架內(nèi)具有用于支撐烘烤機的支撐架，所述框架的側(cè)壁上具有用于裝入所述烘烤機的安裝開口，該安裝開口的底邊位置與所述支撐架的位置相對，該安裝開口底邊位置處的橫梁是至少部分可拆卸的。本發(fā)明可以通過外部的起重設(shè)備將烘烤機放置在支撐架上，安裝更加方便、省力、省時。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導體加工設(shè)備，尤其涉及一種涂膠設(shè)備及其框架。

背景技術(shù)

在半導體工藝中，光刻是一種重要的工藝。在光刻工藝中，需要采用涂膠設(shè)備(coater)進行光刻膠的涂布，后續(xù)還需要對光刻膠進行烘、曝光、顯影等操作。為了提高設(shè)備集成度，現(xiàn)有技術(shù)中的涂膠設(shè)備往往集成有烘烤機(bake)。

目前的烘烤機的殼體通常是封閉的，其中設(shè)置有支撐架用于支撐烘烤機。在設(shè)備總裝時，需要通過人力將烘烤機抬起后放置在封閉殼體內(nèi)的支撐架上。但是，烘烤機的重量通常是非常大的，例如可以達到數(shù)百公斤，這就使得烘烤機的安裝過程比較費時、費力。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是提供一種涂膠設(shè)備及其框架，可以通過外部的起重設(shè)備將烘烤機放置在支撐架上，安裝更加方便、省力、省時。

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供了一種涂膠設(shè)備的框架，所述框架的側(cè)壁、頂面和底面分別由多條橫梁和縱梁拼接而成，所述橫梁和縱梁相互垂直，所述設(shè)備框架內(nèi)具有用于支撐烘烤機的支撐架，其中，所述框架的側(cè)壁上具有用于裝入所述烘烤機的安裝開口，該安裝開口的底邊位置與所述支撐架的位置相對，該安裝開口底邊位置處的橫梁是至少部分可拆卸的。

根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，所述支撐架的數(shù)量為多個，每一支撐架對應一個安裝開口。

根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，所述橫梁的可拆卸部分與其他部分之間的連接方式為螺接、鍵連接、卡扣連接中的一種。

本發(fā)明還提供了一種涂膠設(shè)備，包括：

框架，所述框架的側(cè)壁、頂面和底面分別由多條橫梁和縱梁拼接而成，所述橫梁和縱梁相互垂直，所述設(shè)備框架內(nèi)具有支撐架；

烘烤機，設(shè)置在所述支承架上；

其中，所述框架的側(cè)壁上具有用于裝入所述烘烤機的安裝開口，該安裝開口的底邊位置與所述支撐架的位置相對，該安裝開口底邊位置處的橫梁是至少部分可拆卸的。

根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，所述橫梁的可拆卸部分與其他部分之間的連接方式為螺接、鍵連接、卡扣連接中的一種。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有以下優(yōu)點：

本發(fā)明實施例的涂膠設(shè)備的框架為開放的框架式結(jié)構(gòu)，采用多條橫梁和縱梁拼接而成，其側(cè)壁具有安裝開口，該安裝開口的底邊位置與支撐架的位置相對，并且該開口底邊位置處的橫梁至少部分可拆卸。在安裝烘烤機時，可以將可拆卸的部分拆卸下來，利用鏟車等外部起重設(shè)備直接將烘烤機放置在支撐架上，無需人力，更加省時、省力。

附圖說明

圖1是本發(fā)明實施例的涂膠設(shè)備的框架的立體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本發(fā)明實施例的涂膠設(shè)備的框架改換另一視角的立體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是本發(fā)明實施例的涂膠設(shè)備的立體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4是本發(fā)明實施例的涂膠設(shè)備的改換另一視角的立體結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

下面結(jié)合具體實施例和附圖對本發(fā)明作進一步說明，但不應以此限制本發(fā)明的保護范圍。