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[發(fā)明專利]涂膠設備及其框架有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201410365925.6 申請日: 2014-07-29
公開(公告)號: CN105321842B 公開(公告)日: 2019-09-27
發(fā)明(設計)人: 雷強;金一諾;張懷東;王堅;王暉 申請(專利權)人: 盛美半導體設備(上海)有限公司
主分類號: H01L21/67 分類號: H01L21/67;G03F7/16
代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100 代理人: 張振軍
地址: 201203 上海市浦東新*** 國省代碼: 上海;31
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摘要:
搜索關鍵詞: 涂膠 設備 及其 框架
【權利要求書】:

1.一種涂膠設備的框架,所述框架的側(cè)壁、頂面和底面分別由多條橫梁和縱梁拼接而成,所述橫梁和縱梁相互垂直,所述設備框架內(nèi)具有用于支撐烘烤機的支撐架,其特征在于,

所述框架的側(cè)壁上具有用于裝入所述烘烤機的安裝開口,該安裝開口的底邊位置與所述支撐架的位置相對,該安裝開口底邊位置處的橫梁是至少部分可拆卸的。

2.根據(jù)權利要求1所述的框架,其特征在于,所述支撐架的數(shù)量為多個,每一支撐架對應一個安裝開口。

3.根據(jù)權利要求1所述的框架,其特征在于,所述橫梁的可拆卸部分與其他部分之間的連接方式為螺接、鍵連接、卡扣連接中的一種。

4.一種涂膠設備,其特征在于,包括:

框架,所述框架的側(cè)壁、頂面和底面分別由多條橫梁和縱梁拼接而成,所述橫梁和縱梁相互垂直,所述設備框架內(nèi)具有支撐架;

烘烤機,設置在所述支撐架上;

其中,所述框架的側(cè)壁上具有用于裝入所述烘烤機的安裝開口,該安裝開口的底邊位置與所述支撐架的位置相對,該安裝開口底邊位置處的橫梁是至少部分可拆卸的。

5.根據(jù)權利要求4所述的涂膠設備,其特征在于,所述橫梁的可拆卸部分與其他部分之間的連接方式為螺接、鍵連接、卡扣連接中的一種。

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說明:

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