[發(fā)明專利]基板分?jǐn)嘌b置及基板分?jǐn)嘌b置的基板搬送方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201410364825.1 | 申請日： | 2013-04-03 |
| 公開（公告）號： | CN104129910B | 公開（公告）日： | 2017-07-18 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 西尾仁孝 | 申請（專利權(quán)）人： | 三星鉆石工業(yè)股份有限公司 |
| 主分類號： | C03B33/02 | 分類號： | C03B33/02;C03B35/00 |
| 代理公司： | 北京中原華和知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司11019 | 代理人： | 壽寧,張華輝 |
| 地址： | 日本大阪府*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 基板分?jǐn)?/a> 裝置 基板搬送 方法 | ||
1.一種基板分?jǐn)嘌b置，其特征在于其包含：
第1傳送部及第2傳送部，在設(shè)置臺上，沿基板的搬送方向即第1方向相互地隔著間隔配置，且具備在載置該基板的狀態(tài)下卷繞于多個輥子而進(jìn)行旋轉(zhuǎn)移動的帶部；
刻劃單元，設(shè)置于該間隔并對該基板進(jìn)行刻劃；以及
跳動輥子單元，在該第1方向，設(shè)置在位于該第2傳送部的上游側(cè)的上游側(cè)第2傳送部與位于下游側(cè)的下游側(cè)第2傳送部之間，且至少具備一對第1輥子及第2輥子；
該第1輥子位于該第2傳送部的帶部外側(cè)，該第2輥子位于該第2傳送部的帶部內(nèi)側(cè)；
為了刻劃該基板，在將該第1傳送部的帶部上的基板越過該刻劃單元而往該上游側(cè)第2傳送部的帶部上移動的第1刻劃中，以與其連動的方式該第1輥子及第2輥子可在與該第1方向交叉的第2方向相互地往相反方向移動，在將該上游側(cè)第2傳送部的帶部上的基板越過該刻劃單元而往該第1傳送部的帶部上移動的第2刻劃中，以與其連動的方式該第1輥子及該第2輥子形成為可在該第2方向往與該第1刻劃的情形相反方向、且相互地往相反方向移動，且形成為一體的該上游側(cè)第2傳送部與該下游側(cè)第2傳送部，可成為互為不同的動作狀態(tài)。
2.如權(quán)利要求1所述的基板分?jǐn)嘌b置，其特征在于其中該第1輥子及第2輥子，在該第2方向相互地往相反方向移動時，該第1輥子的移動距離與該第2輥子的移動距離相同。
3.如權(quán)利要求1所述的基板分?jǐn)嘌b置，其特征在于其中該第1輥子及第2輥子的至少一者，一邊維持該第2傳送部的帶部張力，一邊與該帶部接觸。
4.如權(quán)利要求1所述的基板分?jǐn)嘌b置，其特征在于其中該第1輥子及第2輥子，在夾著與齒輪驅(qū)動馬達(dá)連結(jié)的小齒輪而相互地對向配置的狀態(tài)下，該第1輥子與嚙合于該小齒輪的第1齒條結(jié)合，該第2輥子與嚙合于該小齒輪的第2齒條結(jié)合。
5.如權(quán)利要求1所述的基板分?jǐn)嘌b置，其特征在于其中在該多個輥子中包含第3輥子，該第3輥子卷繞有該下游側(cè)第2傳送部的帶部，且該第3輥子連結(jié)帶部驅(qū)動馬達(dá)。
6.如權(quán)利要求1所述的基板分?jǐn)嘌b置，其特征在于其中在該跳動輥子單元中，設(shè)置有使該上游側(cè)第2傳送部的帶部的旋轉(zhuǎn)移動停止的第1制動器，以及使該下游側(cè)第2傳送部的帶部的旋轉(zhuǎn)移動停止的第2制動器。
7.一種基板搬送方法，在包含具備在設(shè)置臺上沿基板的搬送方向即第1方向相互地隔著間隔配置且在載置該基板的狀態(tài)下卷繞于多個輥子而進(jìn)行旋轉(zhuǎn)移動的帶部的第1傳送部及第2傳送部、以及設(shè)置于該間隔并對該基板進(jìn)行刻劃的刻劃單元的基板分?jǐn)嘌b置中，將載置于該第2傳送部的帶部上的基板往該第1方向進(jìn)行搬送，其特征在于：
在該基板分?jǐn)嘌b置中，具備跳動輥子單元，該跳動輥子單元在該第1方向，設(shè)置在位于該第2傳送部的上游側(cè)的上游側(cè)第2傳送部與位于下游側(cè)的下游側(cè)第2傳送部之間，具有設(shè)置成可在與該第1方向交叉的第2方向移動的至少一對第1輥子與第2輥子；
該第1輥子位于該第2傳送部的帶部外側(cè)，該第2輥子位于該第2傳送部的帶部內(nèi)側(cè)；
為了刻劃該基板，在將該第1傳送部的帶部上的基板越過該刻劃單元而往該上游側(cè)第2傳送部的帶部上移動的第1刻劃中，以與其連動的方式使該第1輥子及第2輥子在與該第1方向交叉的該第2方向相互地往相反方向移動，在將該上游側(cè)第2傳送部的帶部上的基板越過該刻劃單元而往該第1傳送部的帶部上移動的第2刻劃中，以與其連動的方式使該第1輥子與第2輥子在該第2方向往與該第1刻劃的情形相反方向、且相互地往相反方向移動，借此使形成為一體的該上游側(cè)第2傳送部與下游側(cè)第2傳送部以互為不同的方式動作。
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