[發(fā)明專利]膜剝離裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410363002.7
• 申請(qǐng)日: 2014-07-28
• 公開（公告）號(hào): CN104576306B
• 公開（公告）日: 2019-04-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李炳哲;金東述;樸宰奭;樸鎮(zhèn)翰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/00
• 分類號(hào): H01L21/00;H01L51/56
• 代理公司: 北京德琦知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11018
• 代理人: 劉釗;周艷玲

一種剝離附著于基底的膜的膜剝離裝置包括腔室、傳送單元和第一剝離輥。傳送單元被設(shè)置在腔室中以傳送基底。第一剝離輥被設(shè)置在腔室中，第一剝離輥的每一個(gè)均包括靜電吸盤，以吸附附著于基底的第一膜。第一剝離輥卷繞所吸附的第一膜，以從基底剝離第一膜。

技術(shù)領(lǐng)域

本公開涉及膜剝離裝置。更具體地說，本公開涉及能夠容易地剝落附著于基底的膜的膜剝離裝置。

背景技術(shù)

在平板顯示裝置中，有機(jī)發(fā)光顯示裝置自發(fā)光來顯示圖像。有機(jī)發(fā)光顯示裝置具有諸如低功耗、快響應(yīng)速度等優(yōu)點(diǎn)，因而有機(jī)發(fā)光顯示裝置逐漸取代液晶顯示器。有機(jī)發(fā)光顯示裝置包括設(shè)置在每個(gè)像素區(qū)域中的有機(jī)發(fā)光二極管，并且有機(jī)發(fā)光二極管包括陰極、陽極和插入在陰極與陽極之間的有機(jī)發(fā)光層。

同時(shí)，在制造有機(jī)發(fā)光顯示裝置的有機(jī)發(fā)光層時(shí)，廣泛使用沉積法或激光誘導(dǎo)熱成像法。根據(jù)激光誘導(dǎo)熱成像法，其上形成有機(jī)發(fā)光層的供體膜被附著到基底，并且激光束被照射到供體膜，從而使有機(jī)發(fā)光層從供體膜被轉(zhuǎn)印到基底。在有機(jī)發(fā)光層被轉(zhuǎn)印到基底之后，供體膜被從基底剝落。

發(fā)明內(nèi)容

本公開提供一種能夠容易地剝離附著于基底的膜的膜剝離裝置。

發(fā)明構(gòu)思的實(shí)施例提供了一種剝離附著于基底的膜的膜剝離裝置，包括腔室、傳送單元和第一剝離輥。傳送單元被設(shè)置在腔室中以傳送基底。第一剝離輥被設(shè)置在腔室中，第一剝離輥的每一個(gè)均包括靜電吸盤，以吸附附著于基底的第一膜。第一剝離輥卷繞所吸附的第一膜，以從基底剝離第一膜。

發(fā)明構(gòu)思的實(shí)施例提供了一種剝離附著于基底的膜的膜剝離裝置，包括腔室、傳送單元和第一剝離輥。傳送單元被設(shè)置在腔室中以傳送基底。第一剝離輥被設(shè)置在腔室中，卷繞附著于基底的第一膜，以從基底剝離第一膜。第一剝離輥包括氣體噴射部件，以向第一膜噴射氣體。

發(fā)明構(gòu)思的實(shí)施例提供了一種剝離附著于基底的膜的膜剝離裝置，包括腔室、傳送單元和第一剝離輥。傳送單元被設(shè)置在腔室中以傳送基底。第一剝離輥被設(shè)置在腔室中，并卷繞附著于基底的第一膜，以從基底剝離第一膜。第一剝離輥包括溫度控制件。

根據(jù)以上，用于剝離附著于基底的供體膜的輥包括靜電吸盤，因而供體膜與輥之間的吸附力由靜電吸盤所產(chǎn)生的靜電力充分地保證。因此，供體膜不被加壓到基底，并且即使輥在卷繞供體膜時(shí)與基底隔開，輥的旋轉(zhuǎn)力也容易被施加到供體膜，從而易于進(jìn)行膜剝離工藝。另外，可以防止有機(jī)發(fā)光層的轉(zhuǎn)印質(zhì)量由于由輥部分地施加到供體膜和基底的壓力而降低。

附圖說明

當(dāng)結(jié)合附圖考慮時(shí)，參照以下詳細(xì)描述本公開的以上和其它優(yōu)點(diǎn)將變得更顯而易見，附圖中：

圖1A是示出根據(jù)本公開的一示例性實(shí)施例的膜剝離裝置的視圖；

圖1B是示出圖1A中所示的第一輥的剖視圖；

圖2是示出圖1A中所示的膜剝離裝置的操作的視圖；

圖3是示出根據(jù)本公開的另一示例性實(shí)施例的膜剝離裝置的視圖；

圖4A是示出根據(jù)本公開的另一示例性實(shí)施例的膜剝離裝置的視圖；

圖4B是示出圖4A中所示的第一輥的剖視圖；

圖5是示出圖4A中所示的膜剝離裝置的操作的視圖；

圖6A是示出根據(jù)本公開的另一示例性實(shí)施例的膜剝離裝置的視圖；

圖6B是示出圖6A中所示的第一輥的剖視圖；

圖7是示出圖6A中所示的第一輥的操作的視圖；并且

圖8是示出根據(jù)本公開的另一示例性實(shí)施例的膜剝離裝置的視圖。

具體實(shí)施方式