[發明專利]真空泵

有效

• 申請號: 201410361083.7
• 申請日: 2014-07-25
• 公開（公告）號: CN104343699B
• 公開（公告）日: 2018-07-20
• 發明（設計）人: 米爾科·馬科塔;揚·霍夫曼;烏韋·萊布;米夏埃爾·席爾;伯恩哈德·科赫
• 申請（專利權）人: 普發真空有限公司
• 主分類號: F04D19/04
• 分類號: F04D19/04;F04D29/00
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 鄧云鵬

本發明涉及真空泵，一種真空泵，具有泵入口、泵出口、可繞旋轉軸旋轉的轉子、至少一個工藝氣體泵級、馬達空間和驅動馬達，工藝氣體泵級用于將泵入口處的工藝氣體從泵入口傳輸到泵出口，驅動馬達設置在馬達空間中，驅動馬達用于轉動地驅動轉子，并且包括馬達定子，提供至少一個用于工藝氣體的氣體路徑，所述氣體路徑為從所述泵入口到所述泵出口，所述氣體路徑通過馬達空間，并且至少部分地沿所述馬達定子或通過馬達定子。

本發明涉及真空泵，該真空泵具有泵入口、泵出口、可圍繞旋轉軸轉動的轉子以及至少一個用于傳輸泵入口處的工藝氣體的工藝氣體泵級。

真空泵應用于不同的技術領域，例如，在半導體制造領域，真空泵為相應的工藝提供所需的真空。真空泵通常包括馬達空間以及設置在馬達空間中的驅動馬達，驅動馬達用于轉動地驅動轉子，并且包括馬達定子。

在已知的真空泵中，工藝氣體從真空泵的入口被傳輸經過馬達空間到達真空泵的出口。為了傳輸該氣體，需要額外的傳輸機結構和進一步的措施，這些會增加泵結構的復雜性，以及制造真空泵所需要的工作量和真空泵的建造空間。

因此，本發明的目的在于提供具有簡單結構的真空泵，該真空泵能夠在小的建造空間內實現，并且需要的制造工作量也很少，該真空泵能夠同時的提供高吸入功率和高壓縮性。

通過具有權利要求1中的特征的真空泵來實現上述目標。

該真空泵包括泵入口、泵出口、能夠圍繞旋轉軸轉動的轉子以及至少一個工藝氣體泵級。該工藝氣體泵級用于將泵入口處的工藝氣體傳輸到泵出口，還包括馬達空間和設置在馬達空間中的驅動馬達。該驅動馬達用于轉動地驅動轉子，并且包含馬達定子。提供至少一個用于將工藝氣體從泵入口傳輸到泵出口的氣體路徑。該氣體路徑通過馬達空間，并且至少部分沿馬達定子或者通過馬達定子。

因為馬達空間本身是用作氣體傳導或者氣體傳輸結構，因而制造額外的氣體傳導結構的工作量減少了，所以穿過馬達空間并沿馬達定子或者穿過馬達定子的氣體傳導保證了真空泵更緊湊和更簡單的結構。另外，泵出口可以設置在遠離一個或者多個工藝氣體泵級的起泵作用的結構的真空泵側。原則上，在該處能夠獲得比在工藝氣體泵級側更自由的建造空間，從而能夠更好的利用空間以及能夠保證真空泵更緊湊的設計。

通過附屬權利要求、說明書和附圖來描述本發明有利的實施例。

在一個有利的實施例中，在馬達定子和馬達轉子之間提供中間空間。該至少一個氣體路徑優選地通過中間空間。因為工藝氣體傳導經過中間空間，并且沒有與轉子直接接觸，在該區間，在傳輸的工藝氣體和轉子之間的額外的摩擦力也能夠得到避免或者該摩擦力至少會減少，否則，由于中間空間的超薄設計以及轉子在該處的高速轉動，將導致吸力和壓縮的損害，并產生大量的熱以及會導致真空泵的高功耗。

傳導經過中間空間的部分氣體路徑優選地沿馬達定子延伸和/或通過馬達定子。從而中間空間不需要任何大量的額外的建造空間或者制造工作量，就實現經過中間空間的有利的氣體傳導。

原則上，除了提供穿過中間空間的氣體路徑外，還提供至少一個穿過中間空間的另一氣體路徑。如果傳輸通過馬達空間的工藝氣體的主要部分是傳輸經過中間空間，優選地是這種情況。

可以通過馬達定子和轉子相對側來限定中間空間。中間空間優選地包括馬達間隙，特別為徑向馬達間隙，該間隙優選地延伸通過位于軸向的馬達定子，即位于旋轉軸方向上。馬達定子和轉子能夠通過中間空間相互磁力影響，并通過中間空間傳輸驅動馬達產生的驅動扭矩給轉子。

氣體路徑優選地從馬達空間的入口延伸通過馬達空間并到達馬達空間的出口。在這方面，入口和出口可設置在位于馬達定子和轉子之間的中間空間的不同側。馬達空間的入口和出口能夠在軸向相互間隔，在這方面，特別地，可以為在軸向方向上設置于中間空間之上和之下。

延伸通過中間空間的氣體路徑可面向軸向或者至少有一個軸向分量，特別地，至少部分沿馬達延伸和/或穿過馬達定子。氣體路徑中延伸通過中間空間并沿馬達延伸和/或通過馬達定子的那一部分，優選地在馬達定子總的軸向長度上延伸。